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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2025-12-12 09:50 Wナノ突起電子源の形状に対する電子ビーム放射角の評価 ○志摩惇紀・堀川愁斗・岩田達夫・永井滋一（三重大）  ED2025-48 |
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| 抄録 | （和） | 電子顕微鏡をはじめとした顕微分析装置のさらなる空間分解能向上のために高輝度電子源の開発が求められている。本研究では、ソースサイズの縮小化とビーム放射角の狭小化の両立が期待されるナノ突起形状を有する電界放出型電子源の形状について、シミュレーションと実験から電子ビーム放射角を評価した。電子軌道計算により、ベース曲率半径とシャンク角が大きく、突起の高さが低いほど電子ビーム放射角が狭くなる傾向が得られた。この傾向は、電界誘起酸素エッチングで作製された W ナノ突起電子源の実験的観測とも対応し、突起の高さが低くなるほど電子ビーム放射角が狭くなる傾向が示唆された。 |
| （英） | The development of high brightness electron sources is required to further improve the spatial resolution ofmicroanalysis instruments, including electron microscopes. In this study, we evaluated the dependence of the electron beamdivergence through simulations and experiments for geometry of field emitters with nano-protrusion, which are expected toachieve both a smaller source size and narrower beam divergence. Electron trajectory calculations revealed a tendency for theelectron beam divergence to narrow as the base radius of curvature and shank angle increase and the protrusion height decrease.This tendency corresponds to experimental observations of W nano-protrusion emitter fabricated by field-assisted oxygenetching, suggesting to decrease as the protrusion height decreases. | |
| キーワード | （和） | 電界誘起酸素エッチング / 電子源 / 電界放出顕微鏡 / / / / / |
| （英） | Field-assisted oxygen etching / Electron source / Field electron microscope / / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 125, no. 287, ED2025-48, pp. 24-26, 2025年12月. | |
| 資料番号 | ED2025-48 | |
| 発行日 | 2025-12-04 (ED) | |
| ISSN | Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | ED2025-48 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | ED |
| 開催期間 | 2025-12-11 - 2025-12-12 |
| 開催地（和） | ウインクあいち（愛知県産業労働センター） |
| 開催地（英） | WINC AICHI |
| テーマ（和） | 電子・イオンビーム応用 |
| テーマ（英） | Applications of electron and ion beam |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | ED |
| 会議コード | 2025-12-ED |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | Wナノ突起電子源の形状に対する電子ビーム放射角の評価 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Evaluation of electron beam angle for shape of W nano-protrusion emitters |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 電界誘起酸素エッチング / Field-assisted oxygen etching |
| キーワード(2)（和/英） | 電子源 / Electron source |
| キーワード(3)（和/英） | 電界放出顕微鏡 / Field electron microscope |
| キーワード(4)（和/英） | / |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 志摩 惇紀 / Junki Shima / シマ ジュンキ |
| 第1著者 所属（和/英） | 三重大学 (略称： 三重大) Mie University (略称： Mie Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 堀川 愁斗 / Shuto Horikawa / シュウト ホリカワ |
| 第2著者 所属（和/英） | 三重大学 (略称： 三重大) Mie University (略称： Mie Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 岩田 達夫 / Tatsuo Iwata / イワタ タツオ |
| 第3著者 所属（和/英） | 三重大学 (略称： 三重大) Mie University (略称： Mie Univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 永井 滋一 / Shigekazu Nagai / ナガイ シゲカズ |
| 第4著者 所属（和/英） | 三重大学 (略称： 三重大) Mie University (略称： Mie Univ.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2025-12-12 09:50:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | ED |
| 資料番号 | ED2025-48 |
| 巻番号（vol） | vol.125 |
| 号番号（no） | no.287 |
| ページ範囲 | pp.24-26 |
| ページ数 | 3 |
| 発行日 | 2025-12-04 (ED) |
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