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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2025-12-12 09:00 TiNコーティングを施したボルケーノ構造フィールドエミッタアレイの加熱処理前後の評価 ○川﨑祐輔・村田英一（名城大）・村田博雅・長尾昌善（産総研）  ED2025-46 |
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| 抄録 | （和） | 加熱やエージング処理といった表面処理がFEAの放出電流の均一性に及ぼす影響への定量評価は困難であり、動作tip数を観察することで評価している。今回の観察においてマルチエミッタ評価装置とその装置に導入されている回折絞り・制限視野絞り・ファラデーカップを用いて、FEAの個々のtipの放出電流を計測し、エミッション電流全体に占める割合を算出することによって、放出電流値の均一性を定量的に評価することが可能となった。そして加熱処理やエージング処理によってFEAの放出電流の均一性や安定性が向上することが分かった。 |
| （英） | It is generally difficult to quantitatively evaluate the effect of surface treatments, such as heating and aging, on the emission-current uniformity of FEAs, and such evaluations are typically performed by observing the number of active tips. In this study, by using a multi-emitter evaluation system equipped with a diffraction aperture, a selector aperture, and a Faraday cup, we measured the emission current of each individual tip and calculated its contribution ratio to the total emission current. This enabled a quantitative assessment of the emission-current uniformity. The results revealed that the thermal and aging treatments improved both the uniformity and stability of the emission current in the FEA. | |
| キーワード | （和） | ボルケーノ構造フィールドエミッタアレイ / TiN / LEEM/PEEM装置 / / / / / |
| （英） | Volcano-structured field emitter array / TiN / LEEM/PEEM / / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 125, no. 287, ED2025-46, pp. 18-21, 2025年12月. | |
| 資料番号 | ED2025-46 | |
| 発行日 | 2025-12-04 (ED) | |
| ISSN | Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | ED2025-46 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | ED |
| 開催期間 | 2025-12-11 - 2025-12-12 |
| 開催地（和） | ウインクあいち（愛知県産業労働センター） |
| 開催地（英） | WINC AICHI |
| テーマ（和） | 電子・イオンビーム応用 |
| テーマ（英） | Applications of electron and ion beam |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | ED |
| 会議コード | 2025-12-ED |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | TiNコーティングを施したボルケーノ構造フィールドエミッタアレイの加熱処理前後の評価 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Evaluation of TiN coated volcano-structured field emitter array before and after thermal treatment |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | ボルケーノ構造フィールドエミッタアレイ / Volcano-structured field emitter array |
| キーワード(2)（和/英） | TiN / TiN |
| キーワード(3)（和/英） | LEEM/PEEM装置 / LEEM/PEEM |
| キーワード(4)（和/英） | / |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 川﨑 祐輔 / Yusuke Kawasaki / カワサキ ユウスケ |
| 第1著者 所属（和/英） | 名城大学 (略称： 名城大) Meijo University (略称： Meijo Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 村田 英一 / Hidekazu Murata / ムラタ ヒデカズ |
| 第2著者 所属（和/英） | 名城大学 (略称： 名城大) Meijo University (略称： Meijo Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 村田 博雅 / Hiromasa Murata / ムラタ ヒロマサ |
| 第3著者 所属（和/英） | 産業技術総合研究所 (略称： 産総研) National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (略称： AIST) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 長尾 昌善 / Masayoshi Nagao / ナガオ マサヨシ |
| 第4著者 所属（和/英） | 産業技術総合研究所 (略称： 産総研) National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (略称： AIST) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2025-12-12 09:00:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | ED |
| 資料番号 | ED2025-46 |
| 巻番号（vol） | vol.125 |
| 号番号（no） | no.287 |
| ページ範囲 | pp.18-21 |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2025-12-04 (ED) |
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