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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2025-12-27 10:00 モード変換型パルスマイクロ波プラズマCVDによるダイヤモンド合成におけるパルス発振が及ぼす影響 ○中村優菜・伊豆優汰・坂本幸弘（千葉工大）  OME2025-46 |
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| 抄録 | （和） | CVDによりダイヤモンドは合成可能であるが、広範囲への均一な成膜が困難であることや成膜速度が遅いといったデメリットが挙げられる。そこでパルス発振を用いることで高出力での合成が可能になるため成膜速度や核生成密度の向上が期待されている。しかしモード変換型パルスマイクロ波プラズマCVDを用いた研究は少なくダイヤモンド合成に適したパルス周波数は断定されていない。 本研究では、モード変換型パルスマイクロ波プラズマCVDによるダイヤモンド合成におけるパルス周波数の影響について検討した。その結果、パルス発振を用いることでCWよりも発光強度が強くなること、パルス周波数が低いほど電子温度も低くなる傾向が認められた。 |
| （英） | Diamond can be synthesized by CVD but it is difficult to grow uniform films on large area and slow growth rate. Using pulse oscillation, can improve the film growth rate and the nucleation density because it enable high power synthesis. However, appropriate pulse oscillation on diamond synthesis has not been determined using mode conversion type pulse microwave plasma CVD. In this study, we investigated the effect of pulse oscillation on diamond synthesis using mode conversion type pulse microwave plasma CVD. As a result, pulse oscillation make stronger emission intensity than CW, and that lower pulse frequencies tend to result lower electronic temperatures. |
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| キーワード | （和） | ダイヤモンド / モード変換型 / パルス / マイクロ波プラズマ / CVD / / / |
| （英） | Diamond / Mode conversion type / pulse / microwave plasma / CVD / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 125, no. 309, OME2025-46, pp. 24-28, 2025年12月. | |
| 資料番号 | OME2025-46 | |
| 発行日 | 2025-12-19 (OME) | |
| ISSN | Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | OME2025-46 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | OME |
| 開催期間 | 2025-12-26 - 2025-12-27 |
| 開催地（和） | 沖縄県青年会館 |
| 開催地（英） | OKINAWAKEN SEINENKAIKAN |
| テーマ（和） | バイオテクノロジー、表面界面、計測技術、エレクトロニクス、その他 |
| テーマ（英） | biotechnology, surface and interfacial phenomena, measurement technology, electronics, etc. |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | OME |
| 会議コード | 2025-12-OME |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | モード変換型パルスマイクロ波プラズマCVDによるダイヤモンド合成におけるパルス発振が及ぼす影響 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Effects of pulse oscillation on diamond synthesis using mode conversion type pulse microwave plasma CVD |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | ダイヤモンド / Diamond |
| キーワード(2)（和/英） | モード変換型 / Mode conversion type |
| キーワード(3)（和/英） | パルス / pulse |
| キーワード(4)（和/英） | マイクロ波プラズマ / microwave plasma |
| キーワード(5)（和/英） | CVD / CVD |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 中村 優菜 / Yuna Nakamura / ナカムラ ユナ |
| 第1著者 所属（和/英） | 千葉工業大学 (略称： 千葉工大) Chiba Institute of Technology (略称： CIT) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 伊豆 優汰 / Yuta Izu / イズ ユウタ |
| 第2著者 所属（和/英） | 千葉工業大学大学院 (略称： 千葉工大) Chiba Institute of Technology (略称： CIT) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 坂本 幸弘 / Yukihiro Sakamoto / サカモト ユキヒロ |
| 第3著者 所属（和/英） | 千葉工業大学 (略称： 千葉工大) Chiba Institute of Technology (略称： CIT) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2025-12-27 10:00:00 |
| 発表時間 | 15分 |
| 申込先研究会 | OME |
| 資料番号 | OME2025-46 |
| 巻番号（vol） | vol.125 |
| 号番号（no） | no.309 |
| ページ範囲 | pp.24-28 |
| ページ数 | 5 |
| 発行日 | 2025-12-19 (OME) |
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