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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2026-05-12 15:25 周期的空隙を有する圧電基板上の厚みすべり振動の共振解析 ○中島 輝・小林駿平・鈴木雅視・垣尾省司（山梨大）  US2026-8 |
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| 抄録 | （和） | 当研究グループではLiNbO3(LN)薄板と支持基板との境界に周期的な空隙を有する接合構造を提案し，LN薄板単体の板波に近い共振特性が得られることを明らかにしている．本研究では，120°Y-LNを用いた平行電界励振厚みすべり振動子(XBAR)に周期的空隙を有する接合構造を適用し，その共振特性を有限要素法により解析した．LNと周期的空隙を有する支持基板の接合構造では，空隙の幅wと電極ピッチpの比w/pの増加に伴い，XBARの共振特性に漸近することを明らかにした．支持基板をAT90°X-Qz，あるいはSiO2に設定するとスプリアスの少ない応答が得られた．また，LNと4H-SiCの境界面にSiO2層を設けると，支持基板に4H-SiCを用いた場合と比較してスプリアスが抑圧され，アドミタンス比，実効的電気機械結合係数が増加した． |
| （英） | The bonded structure with periodic voids at the interface between a LiNbO3(LN) thin plate and a supporting substrate, proposed by our research group, has been shown to exhibit resonance properties close to plate waves on an LN thin plate. In this study, the bonded structure with periodic voids was applied to a laterally-excited bulk-wave resonator (XBAR) using 120°Y-cut LN, and its resonance properties were analyzed using the finite element method (FEM). For the bonded structure comprising of LN and a supporting substrate with periodic voids, the resonance properties were found to approach those of an XBAR with increasing ratio of the void width w to the electrode pitch p (w/p). In addition, by employing AT90°X-Qz and SiO2 as supporting substrates, responses with reduced spurious modes were obtained. Furthermore, by introducing a SiO2 layer at the interface between LN and 4H-SiC, spurious responses were suppressed compared to the case with a 4H-SiC substrate, while the admittance ratio and the effective electromechanical coupling factor were improved. | |
| キーワード | （和） | バルク波 / 厚みすべり振動子 / XBAR / 周期的空隙 / / / / |
| （英） | bulk acoustic wave / thickness-shear mode resonator / XBAR / periodec voids / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 126, no. 14, US2026-8, pp. 37-40, 2026年5月. | |
| 資料番号 | US2026-8 | |
| 発行日 | 2026-05-05 (US) | |
| ISSN | Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | US2026-8 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | US |
| 開催期間 | 2026-05-12 - 2026-05-12 |
| 開催地（和） | 日本大学 駿河台キャンパス |
| 開催地（英） | Surugadai Campus, Nihon University |
| テーマ（和） | 非線形音響，強力超音波，超音波一般 (共催：非線形音響研究会) |
| テーマ（英） | Nonlinear acoustics, Ultrasonics, etc. |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | US |
| 会議コード | 2026-05-US |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 周期的空隙を有する圧電基板上の厚みすべり振動の共振解析 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Analysis of thickness-shear mode resonance properties on piezoelectric substrates with periodic voids |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | バルク波 / bulk acoustic wave |
| キーワード(2)（和/英） | 厚みすべり振動子 / thickness-shear mode resonator |
| キーワード(3)（和/英） | XBAR / XBAR |
| キーワード(4)（和/英） | 周期的空隙 / periodec voids |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 中島 輝 / Hikaru Nakajima / ナカジマ ヒカル |
| 第1著者 所属（和/英） | 山梨大学 (略称： 山梨大) University of Yamanashi (略称： Univ. of Yamanashi) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 小林 駿平 / Shumpei Kobayashi / コバヤシ シュンペイ |
| 第2著者 所属（和/英） | 山梨大学 (略称： 山梨大) University of Yamanashi (略称： Univ. of Yamanashi) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 鈴木 雅視 / Masashi Suzuki / スズキ マサシ |
| 第3著者 所属（和/英） | 山梨大学 (略称： 山梨大) University of Yamanashi (略称： Univ. of Yamanashi) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 垣尾 省司 / Shoji Kakio / カキオ ショウジ |
| 第4著者 所属（和/英） | 山梨大学 (略称： 山梨大) University of Yamanashi (略称： Univ. of Yamanashi) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2026-05-12 15:25:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | US |
| 資料番号 | US2026-8 |
| 巻番号（vol） | vol.126 |
| 号番号（no） | no.14 |
| ページ範囲 | pp.37-40 |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2026-05-05 (US) |
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