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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2026-07-15 14:40 ECRスパッタ法で作製したMoOx/Siヘテロ接合界面のコンダクタンス法及びCole-Coleプロットによる評価 ○三浦颯太・今井楓大・渡邊良祐（弘前大）  CPM2026-11 |
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| 抄録 | （和） | シリコンヘテロ接合太陽電池の正孔輸送層として期待される酸化モリブデン薄膜をECRスパッタ法にて製膜し，コンダクタンス法およびCole-Coleプロットを用いて界面特性を評価した．測定データから，Cole-Coleプロットのインピーダンス軌跡に，直流印加バイアス電圧に依存した3つの半円が観測された．今回の印加バイアス電圧範囲，また1 MHzまでの周波数領域において，試料の電気的応答が3組のRC並列回路を直列に接続した等価回路モデルで記述できる可能性が示唆された．また，コンダクタンス法で算出した界面準位密度Ditは10の12乗台と見積もられた．コンダクタンス法評価におけるG_p/ωのピーク周波数が，Cole-Coleプロット上のどの応答に対応するかを検証し，コンダクタンス法評価の妥当性について検討を行った． |
| （英） | (Not available yet) | |
| キーワード | （和） | ECRスパッタ / 酸化モリブデン / コンダクタンス法 / Cole-Coleプロット / シリコン太陽電池 / ヘテロ接合 / / |
| （英） | ECR Sputtering / Molybdenum Oxide / Conductance Method / Cole-Cole Plot / Silicon Solar Cells / Heterojunction / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 126, no. 113, CPM2026-11, pp. 5-8, 2026年7月. | |
| 資料番号 | CPM2026-11 | |
| 発行日 | 2026-07-08 (CPM) | |
| ISSN | Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | CPM2026-11 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | CPM |
| 開催期間 | 2026-07-15 - 2026-07-16 |
| 開催地（和） | 弘前大学創立50周年記念会館 |
| 開催地（英） | 50th Anniversary Auditorium |
| テーマ（和） | 電子部品・材料，一般 |
| テーマ（英） | Component Parts and Materials, etc. |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | CPM |
| 会議コード | 2026-07-CPM |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | ECRスパッタ法で作製したMoOx/Siヘテロ接合界面のコンダクタンス法及びCole-Coleプロットによる評価 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Evaluation of MoOx/Si heterojunction interfaces fabricated by ECR sputtering using conductance method and Cole-Cole plot. |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | ECRスパッタ / ECR Sputtering |
| キーワード(2)（和/英） | 酸化モリブデン / Molybdenum Oxide |
| キーワード(3)（和/英） | コンダクタンス法 / Conductance Method |
| キーワード(4)（和/英） | Cole-Coleプロット / Cole-Cole Plot |
| キーワード(5)（和/英） | シリコン太陽電池 / Silicon Solar Cells |
| キーワード(6)（和/英） | ヘテロ接合 / Heterojunction |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 三浦 颯太 / Sota Miura / ミウラ ソウタ |
| 第1著者 所属（和/英） | 弘前大学 (略称： 弘前大) Hirosaki University (略称： Hirosaki Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 今井 楓大 / Futa Imai / イマイ フウタ |
| 第2著者 所属（和/英） | 弘前大学 (略称： 弘前大) Hirosaki University (略称： Hirosaki Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 渡邊 良祐 / Ryosuke Watanabe / ワタナベ リョウスケ |
| 第3著者 所属（和/英） | 弘前大学 (略称： 弘前大) Hirosaki University (略称： Hirosaki Univ.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2026-07-15 14:40:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | CPM |
| 資料番号 | CPM2026-11 |
| 巻番号（vol） | vol.126 |
| 号番号（no） | no.113 |
| ページ範囲 | pp.5-8 |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2026-07-08 (CPM) |
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