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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2026-09-10 14:10 オンウエハミリ波測定におけるTRL/SOLT校正の比較評価と基板材料依存性 ○早坂淳一（電磁研）・吉田 信（シーデックス）  MW2026-71 |
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| 抄録 | （和） | 近年，通信システムの高周波化やミリ波センシング技術の高度化に伴い，高精度な校正技術が求められている．本研究では，基板材料・線路構造およびTRL/SOLT校正法がミリ波測定に及ぼす影響を明らかにするため，アルミナ，石英および窒化アルミニウム基板上にTRL校正器を設計・試作し，均一伝送線路，Stepped Impedance線路および低域通過フィルタ（LPF）を比較評価した．その結果，石英基板では44 GHzにおけるThru標準の挿入損失が−0.004 dBと極めて小さく，最も平滑な周波数特性が得られた．一方，窒化アルミニウム基板では30 GHz以上で位相および群遅延の変動が認められた．またTRL校正法とSOLT校正法によるLPFの3 dB遮断周波数差は最大0.11 GHz（約0.5 %）と小さかった．これらの結果は，ミリ波帯オンウエハ測定におけるTRL校正器の設計および基板・線路構造の検討に有用な知見を提供する． |
| （英） | The effects of substrate materials, transmission-line structures, and TRL/SOLT calibration methods on millimeter-wave on-wafer measurements are investigated. TRL calibration standards were designed and fabricated on alumina, quartz, and aluminum nitride substrates, and uniform transmission lines, stepped-impedance lines, and low-pass filters were evaluated. Quartz exhibited the lowest insertion loss of −0.004 dB at 44 GHz and the smoothest frequency response, whereas aluminum nitride showed noticeable phase and group-delay fluctuations above 30 GHz. The maximum difference in the 3-dB cutoff frequency between TRL and SOLT calibrations was 0.11 GHz (0.5%). These results clarify the respective effects of substrate materials, transmission-line structures, and calibration methods, providing useful guidelines for the design of TRL calibration standards and the selection of substrate materials and transmission-line structures for millimeter-wave on-wafer measurements. | |
| キーワード | （和） | TRL校正 / オンウェハ測定 / ミリ波測定 / アルミナ基板 / 石英基板 / 窒化アルミニウム基板 / RFフィルタ / |
| （英） | TRL Calibration / On-Wafer Measurement / Millimeter-Wave Measurement / Alumina Substrate / Quartz Substrate / Aluminum Nitride Substrate / RF Filter / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 126, no. 173, MW2026-71, pp. 18-23, 2026年9月. | |
| 資料番号 | MW2026-71 | |
| 発行日 | 2026-09-03 (MW) | |
| ISSN | Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | MW2026-71 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | MW AP |
| 開催期間 | 2026-09-09 - 2026-09-11 |
| 開催地（和） | 石川県立図書館 |
| 開催地（英） | Ishikawa Prefectural Library |
| テーマ（和） | ミリ波/マイクロ波, 電波伝搬, ⼀般 |
| テーマ（英） | Microwave, Millimeter wave, Radio propagation, Antennas and Propagation |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | MW |
| 会議コード | 2026-09-MW-AP |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | オンウエハミリ波測定におけるTRL/SOLT校正の比較評価と基板材料依存性 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Comparative Evaluation of TRL and SOLT Calibrations for On-Wafer Millimeter-Wave Measurements and the Effects of Substrate Materials |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | TRL校正 / TRL Calibration |
| キーワード(2)（和/英） | オンウェハ測定 / On-Wafer Measurement |
| キーワード(3)（和/英） | ミリ波測定 / Millimeter-Wave Measurement |
| キーワード(4)（和/英） | アルミナ基板 / Alumina Substrate |
| キーワード(5)（和/英） | 石英基板 / Quartz Substrate |
| キーワード(6)（和/英） | 窒化アルミニウム基板 / Aluminum Nitride Substrate |
| キーワード(7)（和/英） | RFフィルタ / RF Filter |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 早坂 淳一 / Junichi Hayasaka / ハヤサカ ジュンイチ |
| 第1著者 所属（和/英） | 公益財団法人電磁材料研究所 (略称： 電磁研) Research Institute for Electromagnetic Materials (略称： Denjiken) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 吉田 信 / Makoto Yoshida / ヨシダ マコト |
| 第2著者 所属（和/英） | 株式会社シーデックス (略称： シーデックス) CDEX, Co., Ltd. (略称： CDEX) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2026-09-10 14:10:00 |
| 発表時間 | 20分 |
| 申込先研究会 | MW |
| 資料番号 | MW2026-71 |
| 巻番号（vol） | vol.126 |
| 号番号（no） | no.173 |
| ページ範囲 | pp.18-23 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2026-09-03 (MW) |
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