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| 研究会 | 発表日時 | 開催地 | タイトル・著者 | 抄録 | 資料番号 | |
| EMCJ, MW, EST (共催) IEE-EMC (連催) [詳細] |
2013-10-24 13:25 |
宮城 | 東北大 青葉山キャンパス | 低抵抗導電性樹脂を用いた樹脂製ホーンアンテナの試作評価 ○石井雄也・須賀良介（青学大）・西村 剛・小野寺真吾（出光興産）・橋本 修（青学大）  EMCJ2013-68 MW2013-108 EST2013-60 |
一般的に導波管，共振器やホーンアンテナは導電率が高く，低損失な金属で製作されている．しかし，これらは酸化による特性劣化や... [more] | EMCJ2013-68 MW2013-108 EST2013-60 pp.47-51 |
| CPM | 2013-08-02 11:15 |
北海道 | 釧路生涯学習センターまなぼっと幣舞 | Cu/SiコンタクトにおけるTaWN3元合金膜のバリヤ特性 ○武山真弓・佐藤 勝・野矢 厚（北見工大） CPM2013-52 |
Si-LSIの分野においては、高い信頼性のCu配線を実現するために、高い熱的安定性と構造安定性を持つバリヤ材料が求められ... [more] | CPM2013-52 pp.69-72 |
| CPM | 2011-08-10 15:20 |
青森 | 弘前大学 文京町キャンパス | 組成を変化させたZrBx薄膜の特性評価 ○武山真弓・佐藤 勝・野矢 厚（北見工大） CPM2011-61 |
我々は、先に検討したZrB2薄膜に固有の電気的・化学的特性が非化学量論組成の薄膜においても保持されるのかどうかを検討する... [more] | CPM2011-61 pp.27-30 |
| MW | 2010-09-10 11:35 |
東京 | 東京工業大学 | 低抵抗Si基板上のCBCPW線路の裏面導体構造の検討 ○富山 渉・清水隆志・古神義則（宇都宮大） MW2010-81 |
近年、ミリ波応用の実現に向けてSi CMOS回路の研究開発が推進されている。Si CMOS回路に低抵抗Si基板を用いる場... [more] | MW2010-81 pp.81-84 |
| CPM | 2009-08-11 10:50 |
青森 | 弘前大学 | ZrBx薄膜の特性評価とCu多層配線への応用 ○武山真弓・佐藤 勝（北見工大）・早坂祐一郎・青柳英二（東北大）・野矢 厚（北見工大） CPM2009-43 |
先に我々は、ZrB2 という新たな材料の基本的な特性を評価したが、その際ZrB2 膜は、下地基板の導電性によって、その抵... [more] | CPM2009-43 pp.51-55 |
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