| 講演抄録／キーワード |
| 講演名 |
2006-08-08 10:20
厚膜Sm2O3バッファ層上に成長したEuBa2Cu3O7-d薄膜の超伝導特性
○木村 豊・太田靖之・宇沼裕也・道上 修（岩手大） |
| 抄録 |
（和） |
R-${\rm Al_2O_3 \backslash CeO_2}$上にRFマグネトロンスパッタ法を用いて${\rm Sm_2O_3}$を堆積させ${\rm Sm_2O_3}$バッファ層の表面性状、結晶性に対するガス圧と膜厚($t_{\rm Sm}$)依存性を調べた。
2~Paのガス圧では最も表面粗さが小さくなった。
$t_{\rm Sm}$ =~2000~\AA{}までは円形のグレインが観察されたが、
それよりも厚くすると${\rm Sm_2O_3}$バッファ層の表面には竹状のグレインが観察された。
${\rm Sm_2O_3}$バッファ層上にDCマグネトロンスパッタ法を用いて${\rm EuBa_2Cu_3O_{7-\delta}}$(EBCO)を堆積させ、EBCO薄膜の表面性状、配向性、超伝導特性に対する$t_{\rm Sm}$依存性を調べ、厚膜${\rm CeO_2}$バッファ層上EBCO薄膜と比較した。 |
| （英） |
The effects of the total gas pressure and ${\rm Sm_2O_3}$ buffer layer thickness ($t_{\rm Sm}$) on surface morphology and crystallinity in ${\rm Sm_2O_3}$ buffer layers deposited on R-${\rm Al_2O_3 \backslash CeO_2}$ using RF magnetron sputtering were examined.
Surface roughness of ${\rm Sm_2O_3}$ buffer layers became smoothest at 2~Pa.
Circular grains were observed up to $t_{\rm Sm}$ =~2000~\AA{}, bamboo-like grains grew at ${\rm Sm_2O_3}$ buffer layer surface at more than $t_{\rm Sm}$ =~2000~\AA{}.
We investigated that the influence of $t_{\rm Sm}$ on surface morphology, orientation and superconducting properties of ${\rm EuBa_2Cu_3O_{7-\delta}}$(EBCO) thin films deposited on the ${\rm Sm_2O_3}$ buffer layers using DC magnetron sputtering and the difference in properties compared with EBCO thin films prepared on thick ${\rm CeO_2}$ buffer layers. |
| キーワード |
（和） |
${\rm EuBa_2Cu_3O_{7-\delta}}$ / thick ${\rm Sm_2O_3}$ / sputtering / / / / / |
| （英） |
${\rm EuBa_2Cu_3O_{7-\delta}}$ / thick ${\rm Sm_2O_3}$ / sputtering / / / / / |
| 文献情報 |
信学技報, vol. 106, no. 203, CPM2006-50, pp. 53-56, 2006年8月. |
| 資料番号 |
CPM2006-50 |
| 発行日 |
2006-07-31 (CPM) |
| ISSN |
Print edition: ISSN 0913-5685 |
| PDFダウンロード |
|
| 研究会情報 |
| 研究会 |
CPM |
| 開催期間 |
2006-08-07 - 2006-08-08 |
| 開催地（和） |
岩手大学 |
| 開催地（英） |
Iwate Univ. |
| テーマ（和） |
電子部品・材料，一般 |
| テーマ（英） |
Electronic Component Parts and Materials, etc. |
| 講演論文情報の詳細 |
| 申込み研究会 |
CPM |
| 会議コード |
2006-08-CPM |
| 本文の言語 |
日本語 |
| タイトル（和） |
厚膜Sm2O3バッファ層上に成長したEuBa2Cu3O7-d薄膜の超伝導特性 |
| サブタイトル（和） |
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| タイトル（英） |
Superconducting properties of EuBa2Cu3O7-d thin films grown on thick Sm2O3 buffer layers |
| サブタイトル（英） |
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| キーワード(1)（和/英） |
${\rm EuBa_2Cu_3O_{7-\delta}}$ / ${\rm EuBa_2Cu_3O_{7-\delta}}$ |
| キーワード(2)（和/英） |
thick ${\rm Sm_2O_3}$ / thick ${\rm Sm_2O_3}$ |
| キーワード(3)（和/英） |
sputtering / sputtering |
| キーワード(4)（和/英） |
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| キーワード(5)（和/英） |
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| キーワード(6)（和/英） |
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| キーワード(7)（和/英） |
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| キーワード(8)（和/英） |
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| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） |
木村 豊 / Yutaka Kimura / キムラ ユタカ |
| 第1著者 所属（和/英） |
岩手大学 (略称： 岩手大)
Iwate University (略称： Iwate Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） |
太田 靖之 / Yasuyuki Ota / オオタ ヤスユキ |
| 第2著者 所属（和/英） |
岩手大学 (略称： 岩手大)
Iwate University (略称： Iwate Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） |
宇沼 裕也 / Yuya Unuma / ウヌマ ユウヤ |
| 第3著者 所属（和/英） |
岩手大学 (略称： 岩手大)
Iwate University (略称： Iwate Univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） |
道上 修 / Osamu Michikami / ミチカミ オサム |
| 第4著者 所属（和/英） |
岩手大学 (略称： 岩手大)
Iwate University (略称： Iwate Univ.) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） |
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| 講演者 |
第1著者 |
| 発表日時 |
2006-08-08 10:20:00 |
| 発表時間 |
25分 |
| 申込先研究会 |
CPM |
| 資料番号 |
CPM2006-50 |
| 巻番号（vol） |
vol.106 |
| 号番号（no） |
no.203 |
| ページ範囲 |
pp.53-56 |
| ページ数 |
4 |
| 発行日 |
2006-07-31 (CPM) |