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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2009-08-10 16:30 原子状水素照射によるダイヤモンドライクカーボン膜の化学結合状態の変化 ○遲澤遼一・中澤日出樹・奥崎知秀・佐藤直之・遠田義晴（弘前大）・末光眞希（東北大）  CPM2009-37 |
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| 抄録 | （和） | KrFエキシマレーザーを用いたレーザーアブレーション法によりSi基板上にダイヤモンドライクカーボン（diamond-like carbon; DLC）膜を作製し、原子状水素を照射して膜表面の化学結合・電子状態および構造の変化を調べた。膜表面の化学結合・電子状態および構造は、それぞれシンクロトロン放射光を用いた光電子分光（photoelectron spectroscopy; PES）およびラマン分光により調べた。C 1s および価電子帯PESスペクトルから、原子状水素の照射時間の増加に伴い基板温度400$^{\circ}$Cでは膜表面のsp$^3$成分は増加し、700$^{\circ}$Cではsp$^3$ 成分は減少することがわかった。また、400$^{\circ}$Cにおいても表面近傍の膜内部ではsp$^2$炭素のクラスタリングが進行していることがわかった。 |
| （英） | We have deposited diamond-like carbon (DLC) films on Si substrate by pulsed laser deposition using KrF excimer laser, and investigated the effects of atomic-hydrogen irradiation on the chemical bonding and electronic states and the structure of the films by photoelectron spectroscopy (PES) using synchrotron radiation and Raman spectroscopy. The fraction of sp$^3$ bonds at the film surface, as evaluated from C1s and valence-band PES spectra, increased at a substrate temperature of 400$^{\circ}$C with increasing atomic-hydrogen exposure time, whereas the sp$^3$ fraction decreased at 700$^{\circ}$C with the exposure time. The Raman spectrum for the film exposed to atomic hydrogen at 400$^{\circ}$C showed that the clustering of sp$^2$ carbon progressed in the film near the surface at the low temperature. | |
| キーワード | （和） | ダイヤモンドライクカーボン / 光電子分光 / 原子状水素 / / / / / |
| （英） | Diamond-like carbon / Photoelectron spectroscopy / Atomic hydrogen / / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 109, no. 171, CPM2009-37, pp. 19-24, 2009年8月. | |
| 資料番号 | CPM2009-37 | |
| 発行日 | 2009-08-03 (CPM) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | CPM2009-37 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | CPM |
| 開催期間 | 2009-08-10 - 2009-08-11 |
| 開催地（和） | 弘前大学 |
| 開催地（英） | Hirosaki Univ. |
| テーマ（和） | 電子部品・材料，一般 |
| テーマ（英） | Electronic Component Parts and Materials, etc. |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | CPM |
| 会議コード | 2009-08-CPM |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 原子状水素照射によるダイヤモンドライクカーボン膜の化学結合状態の変化 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Changes in Chemical Bonding States of Diamond-Like Carbon Films by Atomic Hydrogen Irradiation |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | ダイヤモンドライクカーボン / Diamond-like carbon |
| キーワード(2)（和/英） | 光電子分光 / Photoelectron spectroscopy |
| キーワード(3)（和/英） | 原子状水素 / Atomic hydrogen |
| キーワード(4)（和/英） | / |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 遲澤 遼一 / Ryoichi Osozawa / オソザワ リョウイチ |
| 第1著者 所属（和/英） | 弘前大学 (略称： 弘前大) Hirosaki University (略称： Hirosaki Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 中澤 日出樹 / Hideki Nakazawa / ナカザワ ヒデキ |
| 第2著者 所属（和/英） | 弘前大学 (略称： 弘前大) Hirosaki University (略称： Hirosaki Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 奥崎 知秀 / Tomohide Okuzaki / オクザキ トモヒデ |
| 第3著者 所属（和/英） | 弘前大学 (略称： 弘前大) Hirosaki University (略称： Hirosaki Univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 佐藤 直之 / Naoyuki Satoh / サトウ ナオユキ |
| 第4著者 所属（和/英） | 弘前大学 (略称： 弘前大) Hirosaki University (略称： Hirosaki Univ.) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 遠田 義晴 / Yoshiharu Enta / エンタ ヨシハル |
| 第5著者 所属（和/英） | 弘前大学 (略称： 弘前大) Hirosaki University (略称： Hirosaki Univ.) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） | 末光 眞希 / Maki Suemitsu / スエミツ マキ |
| 第6著者 所属（和/英） | 東北大学 (略称： 東北大) Tohoku University (略称： Tohoku Univ.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2009-08-10 16:30:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | CPM |
| 資料番号 | CPM2009-37 |
| 巻番号（vol） | vol.109 |
| 号番号（no） | no.171 |
| ページ範囲 | pp.19-24 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2009-08-03 (CPM) |
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