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講演抄録／キーワード
講演名 2012-06-27 17:15
Crystallization of a-Si Films with Smooth Surface Using Blue-Multi-Laser-Diode-Annealing
○Tatsuya Okada・Jean de Dieu Mugiraneza・Katsuya Shirai・Takuma Nishinohara・Tomoyuki Mukae・Keisuke Yagi・Takashi Noguchi（Univ. Ryukyus）   エレソ技報アーカイブはこちら
抄録 （和） (まだ登録されていません) 
（英） Crystallization of 50-nm-thick a-Si was achieved with smooth surface using Blue Multi-Laser Diode Annealing (BLDA). The a-Si films were deposited by RF sputtering or chemical vapor deposition, and annealed by BLDA of CW mode. After annealing in relatively lower laser power, RMS value was slightly increased, but smoothness was kept even if the condition that the films were crystallized. BLDA has a potential to realize a next generation poly-Si TFTs.
キーワード （和） / / / / / / /  
（英） Blue Multi-Laser Diode Annealing / Crystallization / TFT / / / / /  
文献情報 信学技報
資料番号  
発行日  
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研究会情報
研究会 SDM ED  
開催期間 2012-06-27 - 2012-06-29 
開催地（和） 沖縄県青年会館 
開催地（英） Okinawa Seinen-kaikan 
テーマ（和） 2012 先端半導体デバイスの基礎と応用に関するアジア太平洋ワークショップ 
テーマ（英） 2012 Asia-Pacific Workshop on Fundamentals and Applications of Advanced Semiconductor Devices 
講演論文情報の詳細
申込み研究会 SDM 
会議コード 2012-06-SDM-ED 
本文の言語 英語 
タイトル（和）  
サブタイトル（和）  
タイトル（英） Crystallization of a-Si Films with Smooth Surface Using Blue-Multi-Laser-Diode-Annealing 
サブタイトル（英）  
キーワード(1)（和/英） / Blue Multi-Laser Diode Annealing  
キーワード(2)（和/英） / Crystallization  
キーワード(3)（和/英） / TFT  
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第1著者 氏名（和/英/ヨミ） 岡田 竜弥 / Tatsuya Okada / オカダ タツヤ
第1著者 所属（和/英） 琉球大学 (略称： 琉球大)
University of the Ryukyus (略称： Univ. Ryukyus)
第2著者 氏名（和/英/ヨミ） ムジラネザ ジャン ドュ デュ / Jean de Dieu Mugiraneza / ムジラネザ ジャン ドュ デュ
第2著者 所属（和/英） 琉球大学 (略称： 琉球大)
University of the Ryukyus (略称： Univ. Ryukyus)
第3著者 氏名（和/英/ヨミ） 白井 克弥 / Katsuya Shirai / シライ カツヤ
第3著者 所属（和/英） 琉球大学 (略称： 琉球大)
University of the Ryukyus (略称： Univ. Ryukyus)
第4著者 氏名（和/英/ヨミ） 西ノ原 拓磨 / Takuma Nishinohara / ニシノハラ タクマ
第4著者 所属（和/英） 琉球大学 (略称： 琉球大)
University of the Ryukyus (略称： Univ. Ryukyus)
第5著者 氏名（和/英/ヨミ） 向 智之 / Tomoyuki Mukae / ムカエ トモユキ
第5著者 所属（和/英） 琉球大学 (略称： 琉球大)
University of the Ryukyus (略称： Univ. Ryukyus)
第6著者 氏名（和/英/ヨミ） 屋? 佳佑 / Keisuke Yagi / ヤギ ケイスケ
第6著者 所属（和/英） 琉球大学 (略称： 琉球大)
University of the Ryukyus (略称： Univ. Ryukyus)
第7著者 氏名（和/英/ヨミ） 野口 隆 / Takashi Noguchi / ノグチ タカシ
第7著者 所属（和/英） 琉球大学 (略称： 琉球大)
University of the Ryukyus (略称： Univ. Ryukyus)
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講演者 第1著者 
発表日時 2012-06-27 17:15:00 
発表時間 15分 
申込先研究会 SDM 
資料番号  
巻番号（vol） vol. 
号番号（no）  
ページ範囲  
ページ数  
発行日  

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