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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2012-10-27 10:00 プラスチック基板上に作製したITO膜及び有機EL素子の機械的特性 ○松井博章・清水英彦・岩野春男・福嶋康夫・永田向太郎・坪井 望・野本隆宏（新潟大）  CPM2012-106 エレソ技報アーカイブへのリンク：CPM2012-106 |
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| 抄録 | （和） | 本研究では，PEN基板上に様々な条件で作製したITO膜や有機EL素子を用いて機械的特性の検討を行った。その結果，ITO膜の表面には亀裂が生じており，これにより抵抗率が上昇した。また，膜厚，RF投入電力，ターゲット組成を変化させることで変形を行った後の膜表面の亀裂や抵抗率の変化が異なることから，膜堆積に用いるターゲットや膜作製条件を調整することにより，機械的に試料を変形させた場合の変化を抑制できる可能性があると考えられた。また，PEN基板上に有機EL素子を作製し，機械的に変形を複数回行うと，素子特性が大きく劣化することが分かった。 |
| （英） | In order to examine that mechanical properties of OLEDs with ITO thin films deposited on PEN substrates at low temperature, form of prepared OLEDs and ITO thin films was transformed mechanically. As a result, by mechanical transformation, the surface of the ITO films was cracked and the resistivity of ITO films was increased. It may be possible to suppress crack of ITO films surface and resistivity increase of ITO films with mechanical transformation by changing the thickness of ITO film, RF input power and composition of ITO targets. By the mechanical transformation, we understood that the OLED on the PEN substrate had bad properties. | |
| キーワード | （和） | フレキシブル / 低温成膜ITO膜 / 有機EL素子 / / / / / |
| （英） | flexible / ITO thin films deposited at low temperature / OLEDs / / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 112, no. 265, CPM2012-106, pp. 71-76, 2012年10月. | |
| 資料番号 | CPM2012-106 | |
| 発行日 | 2012-10-19 (CPM) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | CPM2012-106 エレソ技報アーカイブへのリンク：CPM2012-106 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | CPM |
| 開催期間 | 2012-10-26 - 2012-10-27 |
| 開催地（和） | まちなかキャンパス長岡 |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | 薄膜プロセス・材料，一般 |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | CPM |
| 会議コード | 2012-10-CPM |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | プラスチック基板上に作製したITO膜及び有機EL素子の機械的特性 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Mechanical Properties of the OLEDs and ITO Films Prepared on Plastic Substrates |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | フレキシブル / flexible |
| キーワード(2)（和/英） | 低温成膜ITO膜 / ITO thin films deposited at low temperature |
| キーワード(3)（和/英） | 有機EL素子 / OLEDs |
| キーワード(4)（和/英） | / |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 松井 博章 / Hiroaki Matsui / マツイ ヒロアキ |
| 第1著者 所属（和/英） | 新潟大学 (略称： 新潟大) Niigata University (略称： Niigata Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 清水 英彦 / Hidehiko Shimizu / シミズ ヒデヒコ |
| 第2著者 所属（和/英） | 新潟大学 (略称： 新潟大) Niigata University (略称： Niigata Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 岩野 春男 / Haruo Iwano / イワノ ハルオ |
| 第3著者 所属（和/英） | 新潟大学 (略称： 新潟大) Niigata University (略称： Niigata Univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 福嶋 康夫 / Yasuo Fukushima / フクシマ ヤスオ |
| 第4著者 所属（和/英） | 新潟大学 (略称： 新潟大) Niigata University (略称： Niigata Univ.) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 永田 向太郎 / Kotaro Nagata / ナガタ コウタロウ |
| 第5著者 所属（和/英） | 新潟大学 (略称： 新潟大) Niigata University (略称： Niigata Univ.) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） | 坪井 望 / Nozomu Tsuboi / ツボイ ノゾム |
| 第6著者 所属（和/英） | 新潟大学 (略称： 新潟大) Niigata University (略称： Niigata Univ.) |
| 第7著者 氏名（和/英/ヨミ） | 野本 隆宏 / Takahiro Nomoto / ノモト タカヒロ |
| 第7著者 所属（和/英） | 新潟大学 (略称： 新潟大) Niigata University (略称： Niigata Univ.) |
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| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2012-10-27 10:00:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | CPM |
| 資料番号 | CPM2012-106 |
| 巻番号（vol） | vol.112 |
| 号番号（no） | no.265 |
| ページ範囲 | pp.71-76 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2012-10-19 (CPM) |
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