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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2013-06-21 16:55 触媒反応生成高エネルギーH2Oを用いたZnO膜の成長 ～ ガラス基板上堆積膜の特性改善の試み ～ ○竹澤和樹・中村友紀・小柳貴寛・加藤孝弘（長岡技科大）・片桐裕則・大石耕一郎・神保和夫（長岡高専）・安井寛治（長岡技科大）  EMD2013-23 CPM2013-38 OME2013-46 エレソ技報アーカイブへのリンク：EMD2013-23 CPM2013-38 OME2013-46 |
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| 抄録 | （和） | 白金ナノ粒子表面での水素と酸素の自己発熱反応を利用して高エネルギーH2Oを生成、アルキル亜鉛ガスと反応させ形成した高エネルギーZnOプリカーサを基板に供給、ガラス基板上にZnO結晶膜を成長させた。サファイア基板上への成長膜とは異なりガラス基板上への直接成長では結晶配向性、表面モフォロジーそしてホール移動度が大きく悪化したため、バッファー層の挿入により特性が改善出来ないか調べた。その結果、同じCVD法により低温バッファー層を挿入することでホール移動度の増大が見られ、この増大とバンド端の揺らぎを示す経験的パラメータE0との間に明確な相関が見られた。 |
| （英） | ZnO thin films were grown on glass substrates through a reaction between dimethylzinc and high-energy H2O. The latter was produced by a Pt-catalyzed H2O2 reaction. Although the ZnO films grown on a-sapphire substrates showed excellent electrical properties, those grown on glass substrates showed poor electrical properties. For the application of transparent conductive thin films, the improvement of the optical and electrical properties of the ZnO films on the glass substrates were tried by a insertion of low temperature buffer layer. Although crystal orientation along c-axis was not improved by the buffer layer, Hall mobility was improved. The improvement of the Hall mobility was correlated well with an empirical parameter E0 estimated from the absorption coefficients at sub-bandgap energy. | |
| キーワード | （和） | 酸化亜鉛 / 触媒反応 / 化学気相堆積法 / 表面モフォロジー / 光透過率 / Hall移動度 / / |
| （英） | ZnO / catalytic reaction / CVD / surface morphology / optical transmittance / Hall mobility / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 113, no. 97, CPM2013-38, pp. 89-94, 2013年6月. | |
| 資料番号 | CPM2013-38 | |
| 発行日 | 2013-06-14 (EMD, CPM, OME) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | EMD2013-23 CPM2013-38 OME2013-46 エレソ技報アーカイブへのリンク：EMD2013-23 CPM2013-38 OME2013-46 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | EMD CPM OME |
| 開催期間 | 2013-06-21 - 2013-06-21 |
| 開催地（和） | 機械振興会館 |
| 開催地（英） | Kikai-Shinko-Kaikan Bldg. |
| テーマ（和） | 材料デバイスサマーミーティング |
| テーマ（英） | Summer meeting for materials and devices |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | CPM |
| 会議コード | 2013-06-EMD-CPM-OME |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 触媒反応生成高エネルギーH2Oを用いたZnO膜の成長 |
| サブタイトル（和） | ガラス基板上堆積膜の特性改善の試み |
| タイトル（英） | ZnO film growth using high-energy H2O generated by a catalytic reaction |
| サブタイトル（英） | Effect of low-temperature buffer layer |
| キーワード(1)（和/英） | 酸化亜鉛 / ZnO |
| キーワード(2)（和/英） | 触媒反応 / catalytic reaction |
| キーワード(3)（和/英） | 化学気相堆積法 / CVD |
| キーワード(4)（和/英） | 表面モフォロジー / surface morphology |
| キーワード(5)（和/英） | 光透過率 / optical transmittance |
| キーワード(6)（和/英） | Hall移動度 / Hall mobility |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 竹澤 和樹 / Kazuki Takezawa / タケザワ カズキ |
| 第1著者 所属（和/英） | 長岡技術科学大学 (略称： 長岡技科大) Nagaoka University of Technology (略称： Nagaoka Univ. of Tech.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 中村 友紀 / Tomoki Nakamura / ナカムラ トモキ |
| 第2著者 所属（和/英） | 長岡技術科学大学 (略称： 長岡技科大) Nagaoka University of Technology (略称： Nagaoka Univ. of Tech.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 小柳 貴寛 / Takahiro Oyanagi / オヤナギ タカヒロ |
| 第3著者 所属（和/英） | 長岡技術科学大学 (略称： 長岡技科大) Nagaoka University of Technology (略称： Nagaoka Univ. of Tech.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 加藤 孝弘 / Takahiro Kato / カトウ タカヒロ |
| 第4著者 所属（和/英） | 長岡技術科学大学 (略称： 長岡技科大) Nagaoka University of Technology (略称： Nagaoka Univ. of Tech.) |
| 第5著者 氏名（和/英/ヨミ） | 片桐 裕則 / Hironori Katagiri / カタギリ ヒロノリ |
| 第5著者 所属（和/英） | 長岡工業高等専門学校 (略称： 長岡高専) Nagaoka National College of Technologu (略称： Nagaoka. Nat. Coll. Technol.) |
| 第6著者 氏名（和/英/ヨミ） | 大石 耕一郎 / Koichiro Oishi / オオイシ コウイチロウ |
| 第6著者 所属（和/英） | 長岡工業高等専門学校 (略称： 長岡高専) Nagaoka National College of Technologu (略称： Nagaoka. Nat. Coll. Technol.) |
| 第7著者 氏名（和/英/ヨミ） | 神保 和夫 / Kazuo Jimbo / ジンボ カズオ |
| 第7著者 所属（和/英） | 長岡工業高等専門学校 (略称： 長岡高専) Nagaoka National College of Technologu (略称： Nagaoka. Nat. Coll. Technol.) |
| 第8著者 氏名（和/英/ヨミ） | 安井 寛治 / Kanji Yasui / ヤスイ カンジ |
| 第8著者 所属（和/英） | 長岡技術科学大学 (略称： 長岡技科大) Nagaoka University of Technology (略称： Nagaoka Univ. of Tech.) |
| 第9著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
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| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2013-06-21 16:55:00 |
| 発表時間 | 20分 |
| 申込先研究会 | CPM |
| 資料番号 | EMD2013-23, CPM2013-38, OME2013-46 |
| 巻番号（vol） | vol.113 |
| 号番号（no） | no.96(EMD), no.97(CPM), no.98(OME) |
| ページ範囲 | pp.89-94 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2013-06-14 (EMD, CPM, OME) |
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