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講演抄録/キーワード
講演名 2014-09-05 09:30
減圧MOCVD法による非極性窒化ガリウム膜の成長とその特性
寺口祐介三宅祐介西山智哉長岡技科大)・大石耕一郎片桐裕則長岡高専)・玉山泰宏・○安井寛治長岡技科大CPM2014-83
抄録 (和) 減圧MOCVD法を用いてr面サファア基板上に非極性GaN結晶膜を成長させた。低温バッファー層を挿入した二段階成長、更に中温度バッファー層を挿入した三段階成長プロセスを用いて結晶性、配向性をそして発光特性に優れた非極性GaN結晶膜の成長条件をしらべた。同じ方法で成長したc面サファイア基板上への極性GaNの特性と比較し、極性面による特性の違いについて考察した。 
(英) No-polar GaN films were grown on r-planesapphire substrates using low pressure chemical vapor depsition. The GaN fiilms were grown by two-step growth and three-step growth, and their crystalinity, crstal orientation and photoluminescence properties were measured. Comparing the properties with polar GaN films grown on c-plane sapphire substrates, the differences in their properties by the film polarity were considered.
キーワード (和) 窒化ガリウム / 減圧CVD / X線回折 / フォトルミネッセンス / / / /  
(英) GaN / LPCVD / x-ray diffraction / photoluminescence / / / /  
文献情報 信学技報, vol. 114, no. 202, CPM2014-83, pp. 43-47, 2014年9月.
資料番号 CPM2014-83 
発行日 2014-08-28 (CPM) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685    Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
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PDFダウンロード CPM2014-83

研究会情報
研究会 CPM  
開催期間 2014-09-04 - 2014-09-05 
開催地(和) 山形大学工学部百年周年記念会館 セミナールーム1,2,3 
開催地(英) The 100th Anniversary Hall, Yamagata University 
テーマ(和) 電子部品・材料、一般 
テーマ(英)  
講演論文情報の詳細
申込み研究会 CPM 
会議コード 2014-09-CPM 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) 減圧MOCVD法による非極性窒化ガリウム膜の成長とその特性 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Growth of nonpolar GaN films by low-pressure chemical vapor deposition and their properties 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) 窒化ガリウム / GaN  
キーワード(2)(和/英) 減圧CVD / LPCVD  
キーワード(3)(和/英) X線回折 / x-ray diffraction  
キーワード(4)(和/英) フォトルミネッセンス / photoluminescence  
キーワード(5)(和/英) /  
キーワード(6)(和/英) /  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 寺口 祐介 / Yusuke Teraguchi / テラグチ ユウスケ
第1著者 所属(和/英) 長岡技術科学大学 (略称: 長岡技科大)
Nagaoka University of Technology (略称: Nagaoka Univ. Technol.)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 三宅 祐介 / Yuusuke Miyake / ミヤケ ユウスケ
第2著者 所属(和/英) 長岡技術科学大学 (略称: 長岡技科大)
Nagaoka University of Technology (略称: Nagaoka Univ. Technol.)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 西山 智哉 / Tomoya Nishiyama / ニシヤマ トモヤ
第3著者 所属(和/英) 長岡技術科学大学 (略称: 長岡技科大)
Nagaoka University of Technology (略称: Nagaoka Univ. Technol.)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 大石 耕一郎 / Koichiro Oishi / オオイシ コウイチロウ
第4著者 所属(和/英) 長岡工業高等専門学校 (略称: 長岡高専)
Nagaoka National College of Technology (略称: Nagaoka Nat. Coll. Technol.)
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) 片桐 裕則 / Hironori Katagiri / カタギリ ヒロノリ
第5著者 所属(和/英) 長岡工業高等専門学校 (略称: 長岡高専)
Nagaoka National College of Technology (略称: Nagaoka Nat. Coll. Technol.)
第6著者 氏名(和/英/ヨミ) 玉山 泰宏 / Yasuhiro Tamayama / タマヤマ ヤスヒロ
第6著者 所属(和/英) 長岡技術科学大学 (略称: 長岡技科大)
Nagaoka University of Technology (略称: Nagaoka Univ. Technol.)
第7著者 氏名(和/英/ヨミ) 安井 寛治 / Kanji Yasui / ヤスイ カンジ
第7著者 所属(和/英) 長岡技術科学大学 (略称: 長岡技科大)
Nagaoka University of Technology (略称: Nagaoka Univ. Technol.)
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講演者 第7著者 
発表日時 2014-09-05 09:30:00 
発表時間 25分 
申込先研究会 CPM 
資料番号 CPM2014-83 
巻番号(vol) vol.114 
号番号(no) no.202 
ページ範囲 pp.43-47 
ページ数
発行日 2014-08-28 (CPM) 


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