お知らせ 研究会の開催と会場に参加される皆様へのお願い(2022年6月開催~)
電子情報通信学会 研究会発表申込システム
講演論文 詳細
技報閲覧サービス
[ログイン]
技報アーカイブ
 トップに戻る 前のページに戻る   [Japanese] / [English] 

講演抄録/キーワード
講演名 2014-09-05 09:30
減圧MOCVD法による非極性窒化ガリウム膜の成長とその特性
寺口祐介三宅祐介西山智哉長岡技科大)・大石耕一郎片桐裕則長岡高専)・玉山泰宏・○安井寛治長岡技科大CPM2014-83 エレソ技報アーカイブへのリンク:CPM2014-83
抄録 (和) 減圧MOCVD法を用いてr面サファア基板上に非極性GaN結晶膜を成長させた。低温バッファー層を挿入した二段階成長、更に中温度バッファー層を挿入した三段階成長プロセスを用いて結晶性、配向性をそして発光特性に優れた非極性GaN結晶膜の成長条件をしらべた。同じ方法で成長したc面サファイア基板上への極性GaNの特性と比較し、極性面による特性の違いについて考察した。 
(英) No-polar GaN films were grown on r-planesapphire substrates using low pressure chemical vapor depsition. The GaN fiilms were grown by two-step growth and three-step growth, and their crystalinity, crstal orientation and photoluminescence properties were measured. Comparing the properties with polar GaN films grown on c-plane sapphire substrates, the differences in their properties by the film polarity were considered.
キーワード (和) 窒化ガリウム / 減圧CVD / X線回折 / フォトルミネッセンス / / / /  
(英) GaN / LPCVD / x-ray diffraction / photoluminescence / / / /  
文献情報 信学技報, vol. 114, no. 202, CPM2014-83, pp. 43-47, 2014年9月.
資料番号 CPM2014-83 
発行日 2014-08-28 (CPM) 
ISSN Print edition: ISSN 0913-5685  Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034)
PDFダウンロード CPM2014-83 エレソ技報アーカイブへのリンク:CPM2014-83

研究会情報
研究会 CPM  
開催期間 2014-09-04 - 2014-09-05 
開催地(和) 山形大学工学部百年周年記念会館 セミナールーム1,2,3 
開催地(英) The 100th Anniversary Hall, Yamagata University 
テーマ(和) 電子部品・材料、一般 
テーマ(英)  
講演論文情報の詳細
申込み研究会 CPM 
会議コード 2014-09-CPM 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) 減圧MOCVD法による非極性窒化ガリウム膜の成長とその特性 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Growth of nonpolar GaN films by low-pressure chemical vapor deposition and their properties 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) 窒化ガリウム / GaN  
キーワード(2)(和/英) 減圧CVD / LPCVD  
キーワード(3)(和/英) X線回折 / x-ray diffraction  
キーワード(4)(和/英) フォトルミネッセンス / photoluminescence  
キーワード(5)(和/英) /  
キーワード(6)(和/英) /  
キーワード(7)(和/英) /  
キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 寺口 祐介 / Yusuke Teraguchi / テラグチ ユウスケ
第1著者 所属(和/英) 長岡技術科学大学 (略称: 長岡技科大)
Nagaoka University of Technology (略称: Nagaoka Univ. Technol.)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 三宅 祐介 / Yuusuke Miyake / ミヤケ ユウスケ
第2著者 所属(和/英) 長岡技術科学大学 (略称: 長岡技科大)
Nagaoka University of Technology (略称: Nagaoka Univ. Technol.)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 西山 智哉 / Tomoya Nishiyama / ニシヤマ トモヤ
第3著者 所属(和/英) 長岡技術科学大学 (略称: 長岡技科大)
Nagaoka University of Technology (略称: Nagaoka Univ. Technol.)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 大石 耕一郎 / Koichiro Oishi / オオイシ コウイチロウ
第4著者 所属(和/英) 長岡工業高等専門学校 (略称: 長岡高専)
Nagaoka National College of Technology (略称: Nagaoka Nat. Coll. Technol.)
第5著者 氏名(和/英/ヨミ) 片桐 裕則 / Hironori Katagiri / カタギリ ヒロノリ
第5著者 所属(和/英) 長岡工業高等専門学校 (略称: 長岡高専)
Nagaoka National College of Technology (略称: Nagaoka Nat. Coll. Technol.)
第6著者 氏名(和/英/ヨミ) 玉山 泰宏 / Yasuhiro Tamayama / タマヤマ ヤスヒロ
第6著者 所属(和/英) 長岡技術科学大学 (略称: 長岡技科大)
Nagaoka University of Technology (略称: Nagaoka Univ. Technol.)
第7著者 氏名(和/英/ヨミ) 安井 寛治 / Kanji Yasui / ヤスイ カンジ
第7著者 所属(和/英) 長岡技術科学大学 (略称: 長岡技科大)
Nagaoka University of Technology (略称: Nagaoka Univ. Technol.)
第8著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
第8著者 所属(和/英) (略称: )
(略称: )
第9著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
第9著者 所属(和/英) (略称: )
(略称: )
第10著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
第10著者 所属(和/英) (略称: )
(略称: )
第11著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
第11著者 所属(和/英) (略称: )
(略称: )
第12著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
第12著者 所属(和/英) (略称: )
(略称: )
第13著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
第13著者 所属(和/英) (略称: )
(略称: )
第14著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
第14著者 所属(和/英) (略称: )
(略称: )
第15著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
第15著者 所属(和/英) (略称: )
(略称: )
第16著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
第16著者 所属(和/英) (略称: )
(略称: )
第17著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
第17著者 所属(和/英) (略称: )
(略称: )
第18著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
第18著者 所属(和/英) (略称: )
(略称: )
第19著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
第19著者 所属(和/英) (略称: )
(略称: )
第20著者 氏名(和/英/ヨミ) / /
第20著者 所属(和/英) (略称: )
(略称: )
講演者 第7著者 
発表日時 2014-09-05 09:30:00 
発表時間 25分 
申込先研究会 CPM 
資料番号 CPM2014-83 
巻番号(vol) vol.114 
号番号(no) no.202 
ページ範囲 pp.43-47 
ページ数
発行日 2014-08-28 (CPM) 


[研究会発表申込システムのトップページに戻る]

[電子情報通信学会ホームページ]


IEICE / 電子情報通信学会