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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2015-06-19 14:30 大気圧CVD法による酸化スズ及び酸化ガリウムナノワイヤーの成長 ○寺迫智昭・倉重利規（愛媛大）・矢木正和（香川高専）  EMD2015-14 CPM2015-24 OME2015-27 |
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| 抄録 | （和） | 金属(スズもしくはガリウム)と水を原料，金(Au)を触媒に用いた大気圧化学気相堆積(CVD)法で成長温度，原料供給比及び成長時間をパラメータとして酸化スズ(SnO$_2$)ナノワイヤー(NWs)及び単斜晶酸化ガリウム($beta$-Ga$_2$O$_3$)ナノ構造の成長実験を行った．ナノ構造のモフォロジーは，昇温時のAuナノ粒子同士の合体や気相-液相-固相(VLS)機構と気相-固相(VS)機構の競合の度合に依存して変化することが明らかになった．SnO$_2$ NWsとGa$_2$O$_3$ ナノ構造のフォトルミネッセンススペクトルでは，化学量論組成からの逸脱によって導入された真性欠陥が関与すると考えられるブロードな可視発光が支配的であった． |
| （英） | Growth experiments of SnO$_2$ nanowires (NWs) and $beta$-Ga$_2$O$_3$ nanostructures were performed by atmospheric-pressure CVD using Sn powder or Ga beads and water as sources and Au film as catalyst in terms of growth temperature, source supply ratio and growth time. Morphologies of both the SnO$_2$ NWs and $beta$-Ga$_2$O$_3$ nanostructures were found to be changed by the enhancement of the Au particle sizes due to the temperature rise and the degree of the competition between vapor-liquid-solid (VLS) and vapor-solid (VS) growth mechanisms. Photoluminescence spectra from these nanostructures were dominated by the visible-region broad emissions related to the native defects introduced by the deviation from the stoichiometric composition. | |
| キーワード | （和） | 酸化スズ / 酸化ガリウム / 化学気相堆積法 / ナノワイヤー / 気相-液相-固相成長機構 / / / |
| （英） | SnO$_2$ / Ga$_2$O$_3$ / Chemical vapor deposition / Nanowire / Vapor-liquid-solid growth mechanism / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 115, no. 104, CPM2015-24, pp. 17-22, 2015年6月. | |
| 資料番号 | CPM2015-24 | |
| 発行日 | 2015-06-12 (EMD, CPM, OME) | |
| ISSN | Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | EMD2015-14 CPM2015-24 OME2015-27 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | EMD CPM OME |
| 開催期間 | 2015-06-19 - 2015-06-19 |
| 開催地（和） | 機械振興会館 |
| 開催地（英） | Kikai-Shinko-Kaikan Bldg. |
| テーマ（和） | 材料デバイスサマーミーティング |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | CPM |
| 会議コード | 2015-06-EMD-CPM-OME |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 大気圧CVD法による酸化スズ及び酸化ガリウムナノワイヤーの成長 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Growth of SnO2 and Ga2O3 Nanowires by Atmospheric-pressure CVD |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 酸化スズ / SnO$_2$ |
| キーワード(2)（和/英） | 酸化ガリウム / Ga$_2$O$_3$ |
| キーワード(3)（和/英） | 化学気相堆積法 / Chemical vapor deposition |
| キーワード(4)（和/英） | ナノワイヤー / Nanowire |
| キーワード(5)（和/英） | 気相-液相-固相成長機構 / Vapor-liquid-solid growth mechanism |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 寺迫 智昭 / Tomoaki Terasako / テラサコ トモアキ |
| 第1著者 所属（和/英） | 愛媛大学 (略称： 愛媛大) Ehime University (略称： Ehime Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 倉重 利規 / Toshiki Kurashige / クラシゲ トシキ |
| 第2著者 所属（和/英） | 愛媛大学 (略称： 愛媛大) Ehime University (略称： Ehime Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 矢木 正和 / Masakazu Yagi / ヤギ マサカズ |
| 第3著者 所属（和/英） | 香川高等専門学校 (略称： 香川高専) National Institute of Technology, Kagawa College (略称： Natl. Inst. Technol., Kagawa Coll.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2015-06-19 14:30:00 |
| 発表時間 | 25分 |
| 申込先研究会 | CPM |
| 資料番号 | EMD2015-14, CPM2015-24, OME2015-27 |
| 巻番号（vol） | vol.115 |
| 号番号（no） | no.103(EMD), no.104(CPM), no.105(OME) |
| ページ範囲 | pp.17-22 |
| ページ数 | 6 |
| 発行日 | 2015-06-12 (EMD, CPM, OME) |
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