お知らせ
2023年度・2024年度 学生員 会費割引キャンペーン実施中です
お知らせ
技術研究報告と和文論文誌Cの同時投稿施策(掲載料1割引き)について
お知らせ
電子情報通信学会における研究会開催について
お知らせ NEW
参加費の返金について
電子情報通信学会 研究会発表申込システム
講演論文 詳細
技報閲覧サービス
[ログイン]
技報アーカイブ
トップに戻る
前のページに戻る
[Japanese]
/
[English]
講演抄録/キーワード
講演名
2020-10-29 15:10
マグネトロンスパッタ法を用いて作製したBCN膜特性への水素の効果
○
谷口 颯
・
郡山春人
・
小林康之
・
遠田義晴
(
弘前大
)・
吹留博一
(
東北大
)・
中澤日出樹
(
弘前大
)
CPM2020-17
エレソ技報アーカイブへのリンク:
CPM2020-17
抄録
(和)
(まだ登録されていません)
(英)
(Not available yet)
キーワード
(和)
/ / / / / / /
(英)
/ / / / / / /
文献情報
信学技報, vol. 120, no. 217, CPM2020-17, pp. 23-26, 2020年10月.
資料番号
CPM2020-17
発行日
2020-10-22 (CPM)
ISSN
Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034)
PDFダウンロード
CPM2020-17
エレソ技報アーカイブへのリンク:
CPM2020-17
研究会情報
研究会
CPM
開催期間
2020-10-29 - 2020-10-29
開催地(和)
オンライン開催
開催地(英)
Online
テーマ(和)
機能性材料(半導体、磁性体、誘電体、透明導電体・半導体、等)薄膜プロセス/材料/デバイス,一般
テーマ(英)
講演論文情報の詳細
申込み研究会
CPM
会議コード
2020-10-CPM
本文の言語
日本語
タイトル(和)
マグネトロンスパッタ法を用いて作製したBCN膜特性への水素の効果
サブタイトル(和)
タイトル(英)
Hydrogen effects on the properties of BCN films deposited by magnetron sputtering
サブタイトル(英)
キーワード(1)(和/英)
/
キーワード(2)(和/英)
/
キーワード(3)(和/英)
/
キーワード(4)(和/英)
/
キーワード(5)(和/英)
/
キーワード(6)(和/英)
/
キーワード(7)(和/英)
/
キーワード(8)(和/英)
/
第1著者 氏名(和/英/ヨミ)
谷口 颯
/
Ryu Taniguchi
/
タニグチ リュウ
第1著者 所属(和/英)
弘前大学
(略称:
弘前大
)
Hirosaki University
(略称:
Hirosaki Univ.
)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ)
郡山 春人
/
Haruto Koriyama
/
コオリヤマ ハルト
第2著者 所属(和/英)
弘前大学
(略称:
弘前大
)
Hirosaki University
(略称:
Hirosaki Univ.
)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ)
小林 康之
/
Yasuyuki Kobayashi
/
コバヤシ ヤスユキ
第3著者 所属(和/英)
弘前大学
(略称:
弘前大
)
Hirosaki University
(略称:
Hirosaki Univ.
)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ)
遠田 義晴
/
Yoshiharu Enta
/
エンタ ヨシハル
第4著者 所属(和/英)
弘前大学
(略称:
弘前大
)
Hirosaki University
(略称:
Hirosaki Univ.
)
第5著者 氏名(和/英/ヨミ)
吹留 博一
/
Hirokazu Fukidome
/
フキドメ ヒロカズ
第5著者 所属(和/英)
東北大学
(略称:
東北大
)
Tohoku University
(略称:
Tohoku Univ.
)
第6著者 氏名(和/英/ヨミ)
中澤 日出樹
/
Hideki Nakazawa
/
ナカザワ ヒデキ
第6著者 所属(和/英)
弘前大学
(略称:
弘前大
)
Hirosaki University
(略称:
Hirosaki Univ.
)
第7著者 氏名(和/英/ヨミ)
/ /
第7著者 所属(和/英)
(略称: )
(略称: )
第8著者 氏名(和/英/ヨミ)
/ /
第8著者 所属(和/英)
(略称: )
(略称: )
第9著者 氏名(和/英/ヨミ)
/ /
第9著者 所属(和/英)
(略称: )
(略称: )
第10著者 氏名(和/英/ヨミ)
/ /
第10著者 所属(和/英)
(略称: )
(略称: )
第11著者 氏名(和/英/ヨミ)
/ /
第11著者 所属(和/英)
(略称: )
(略称: )
第12著者 氏名(和/英/ヨミ)
/ /
第12著者 所属(和/英)
(略称: )
(略称: )
第13著者 氏名(和/英/ヨミ)
/ /
第13著者 所属(和/英)
(略称: )
(略称: )
第14著者 氏名(和/英/ヨミ)
/ /
第14著者 所属(和/英)
(略称: )
(略称: )
第15著者 氏名(和/英/ヨミ)
/ /
第15著者 所属(和/英)
(略称: )
(略称: )
第16著者 氏名(和/英/ヨミ)
/ /
第16著者 所属(和/英)
(略称: )
(略称: )
第17著者 氏名(和/英/ヨミ)
/ /
第17著者 所属(和/英)
(略称: )
(略称: )
第18著者 氏名(和/英/ヨミ)
/ /
第18著者 所属(和/英)
(略称: )
(略称: )
第19著者 氏名(和/英/ヨミ)
/ /
第19著者 所属(和/英)
(略称: )
(略称: )
第20著者 氏名(和/英/ヨミ)
/ /
第20著者 所属(和/英)
(略称: )
(略称: )
講演者
第1著者
発表日時
2020-10-29 15:10:00
発表時間
20分
申込先研究会
CPM
資料番号
CPM2020-17
巻番号(vol)
vol.120
号番号(no)
no.217
ページ範囲
pp.23-26
ページ数
4
発行日
2020-10-22 (CPM)
[研究会発表申込システムのトップページに戻る]
[電子情報通信学会ホームページ]
IEICE / 電子情報通信学会