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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2023-07-31 14:40 誘電体樹脂材料のVUV光による表面改質における真空紫外線の吸収特性の評価 ○遠藤真一・石川有紀（阪府大）・白樫陽菜・齊藤丈靖（阪公立大）  CPM2023-13 |
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| 抄録 | （和） | 樹脂は一般に紫外線をよく吸収するため、樹脂内部への真空紫外（VUV）線の到達はごく表面に限定されると考えられている。しかしながら実際の樹脂材料の真空紫外線の吸収透過特性については報告例がほとんどない。本研究において、我々は実際の電子部品の絶縁材料として用いられるエポキシ樹脂を試料とし、真空紫外分光器を用いて140-220nm域の分光透過率を測定した。エポキシ樹脂に真空紫外線を照射し、樹脂表層のエーテル結合1100cm-1の変化をFTIR-ATRで分析した。エポキシ樹脂の真空紫外線の吸収係数からエキシマランプが放射するVUV光（中心波長172nm）の樹脂の深さ方向への浸透性を評価した。 |
| （英） | Since resin generally absorbs vacuum ultraviolet (VUV) light well, it is thought that the VUV light reaching the inside of the resin are limited to the very surface. However, there are almost no reports on the absorption and transmission characteristics of VUV light in actual resin materials. In this study, we measured the spectral transmittance of the epoxy resin in the 140-220 nm region using a vacuum ultraviolet spectrometer, which is used as an insulating material for actual electronic devices, as a work. Epoxy resin was irradiated with some VUV doses and the surface condition was analyzed by XPS and FTIR-ATR. Based on the absorption coefficient, we evaluated the penetration of the VUV light (center wavelength 172 nm) emitted by the excimer lamp in the depth direction of the resin. | |
| キーワード | （和） | エポキシ樹脂 / エキシマランプ / 真空紫外分光器 / 吸収係数 / / / / |
| （英） | Epoxy resin / excimer lamp / VUV spectrometer / absorption coefficient / / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 123, no. 142, CPM2023-13, pp. 7-10, 2023年7月. | |
| 資料番号 | CPM2023-13 | |
| 発行日 | 2023-07-24 (CPM) | |
| ISSN | Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | CPM2023-13 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | CPM |
| 開催期間 | 2023-07-31 - 2023-08-01 |
| 開催地（和） | 北見工業大学 |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | 電子部品・材料，一般 |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | CPM |
| 会議コード | 2023-07-CPM |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 誘電体樹脂材料のVUV光による表面改質における真空紫外線の吸収特性の評価 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Evaluation of VUV Absorption Characteristics in Surface Modification of Dielectric Resin Materials by VUV Light |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | エポキシ樹脂 / Epoxy resin |
| キーワード(2)（和/英） | エキシマランプ / excimer lamp |
| キーワード(3)（和/英） | 真空紫外分光器 / VUV spectrometer |
| キーワード(4)（和/英） | 吸収係数 / absorption coefficient |
| キーワード(5)（和/英） | / |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 遠藤 真一 / Shinichi Endo / エンドウ シンイチ |
| 第1著者 所属（和/英） | 大阪府立大学大学院 (略称： 阪府大) Osaka Prefecture University (略称： Osaka Prefecture University) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 石川 有紀 / Yuki Ishikawa / イシカワ ユキ |
| 第2著者 所属（和/英） | 大阪府立大学大学院 (略称： 阪府大) Osaka Prefecture University (略称： Osaka Prefecture University) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 白樫 陽菜 / Hina Shirakashi / シラカシ ヒナ |
| 第3著者 所属（和/英） | 大阪公立大学大学院 (略称： 阪公立大) Osaka Metropolitan University (略称： Osaka Metropolitan univ.) |
| 第4著者 氏名（和/英/ヨミ） | 齊藤 丈靖 / Takeyasu Saito / サイトウ タケヤス |
| 第4著者 所属（和/英） | 大阪公立大学大学院 (略称： 阪公立大) Osaka Metropolitan University (略称： Osaka Metropolitan univ.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2023-07-31 14:40:00 |
| 発表時間 | 30分 |
| 申込先研究会 | CPM |
| 資料番号 | CPM2023-13 |
| 巻番号（vol） | vol.123 |
| 号番号（no） | no.142 |
| ページ範囲 | pp.7-10 |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2023-07-24 (CPM) |
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