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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2023-08-01 10:40 金属／GaNショットキー電極評価の変遷 ○塩島謙次（福井大）  CPM2023-21 |
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| 抄録 | （和） | 本講演では著者が黎明期から携わってきた金属／GaNショットキー接触に関する実験結果を紹介し、結晶品質、プロセス技術、および電極特性の理解の進展を振り返る.（i）高耐熱電極を模索していた時期の熱劣化過程の評価、（ii）GaNの代表的な結晶欠陥である転位と電極特性の相関、（iii）低Mgドーピングによるp-GaNショットキー接触の実現、及び表面欠陥の評価、（iv）理想的な特性の実現（劈開面の利用、表面処理、電極堆積後アニールの効果）、（v）我々のオリジナルな手法である界面顕微光応答法による電極界面の２次元評価について述べる． |
| （英） | This paper reviews innovation of metal/GaN contacts from the aspects of crystal quality, process technique, and basic understanding of the electrical characteristics. Five topics; (i) thermal degradation of refractory metal contacts, (ii) correlation between dislocations and electrical characteristics, (iii) large-barrier p-GaN Schottky contacts by reducing Mg doping level, (iv) exploring ideal metal/GaN interfaces by cleaving, surface treatment, and post metallization annealing, (v) two-dimensional characterization using our original method: scanning internal photoemission microscopy will be presented. | |
| キーワード | （和） | GaN / ショットキー接触 / 結晶欠陥 / 二次元評価 / 界面顕微光応答法 / / / |
| （英） | GaN / Schottky contacts / Crystal defects / Two-dimensional characterization / Scanning internal photoemission microscopy / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 123, no. 142, CPM2023-21, pp. 36-39, 2023年7月. | |
| 資料番号 | CPM2023-21 | |
| 発行日 | 2023-07-24 (CPM) | |
| ISSN | Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | CPM2023-21 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | CPM |
| 開催期間 | 2023-07-31 - 2023-08-01 |
| 開催地（和） | 北見工業大学 |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | 電子部品・材料，一般 |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | CPM |
| 会議コード | 2023-07-CPM |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 金属／GaNショットキー電極評価の変遷 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | Review of Characterization of Metal/GaN Schottky Contacts |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | GaN / GaN |
| キーワード(2)（和/英） | ショットキー接触 / Schottky contacts |
| キーワード(3)（和/英） | 結晶欠陥 / Crystal defects |
| キーワード(4)（和/英） | 二次元評価 / Two-dimensional characterization |
| キーワード(5)（和/英） | 界面顕微光応答法 / Scanning internal photoemission microscopy |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 塩島 謙次 / Kenji Shiojima / シオジマ ケンジ |
| 第1著者 所属（和/英） | 福井大学 (略称： 福井大) University of Fukui (略称： Univ. of Fukui) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | / / |
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| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2023-08-01 10:40:00 |
| 発表時間 | 30分 |
| 申込先研究会 | CPM |
| 資料番号 | CPM2023-21 |
| 巻番号（vol） | vol.123 |
| 号番号（no） | no.142 |
| ページ範囲 | pp.36-39 |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2023-07-24 (CPM) |
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