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講演抄録/キーワード
講演名 2024-02-29 11:15
酸化亜鉛薄膜トランジスタを用いたアルコール分子の検出
野口竜之介三浦正範有馬ボシールアハンマド廣瀬文彦山形大CPM2023-101
抄録 (和) 近年、室温動作で低コスト、高感度で選択性のあるVOCを検出するためのガスセンサーの開発に焦点を当てた研究が盛んに行われている。我々は、室温原子層堆積法により成膜した酸化亜鉛薄膜を用いて酸化亜鉛薄膜トランジスタを作製し、エタノールを導入することで出力電流が変化することを確認した。本結果により、アルコールセンサーへの応用が期待できる。 
(英) In recent years, much research has focused on the development of gas sensors for detecting VOCs with room temperature operation, low cost, and high sensitivity and selectivity. We have fabricated zinc oxide thin-film transistors using zinc oxide thin films deposited by room temperature atomic layer deposition and observed that the output current changes when ethanol is introduced. This result is expected to be applied to alcohol sensors.
キーワード (和) 酸化亜鉛 / 薄膜トランジスタ / アルコールセンサー / / / / /  
(英) Zinc oxide / Thin film transistor / Alcohol sensor / / / / /  
文献情報 信学技報, vol. 123, no. 395, CPM2023-101, pp. 19-22, 2024年2月.
資料番号 CPM2023-101 
発行日 2024-02-22 (CPM) 
ISSN Online edition: ISSN 2432-6380
著作権に
ついて
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034)
PDFダウンロード CPM2023-101

研究会情報
研究会 CPM  
開催期間 2024-02-29 - 2024-02-29 
開催地(和) 山形大学工学部 
開催地(英) Yamagata University 
テーマ(和) 若手ミーティング (電子・部品・材料・一般) 
テーマ(英)  
講演論文情報の詳細
申込み研究会 CPM 
会議コード 2024-02-CPM 
本文の言語 日本語 
タイトル(和) 酸化亜鉛薄膜トランジスタを用いたアルコール分子の検出 
サブタイトル(和)  
タイトル(英) Detection of alcohol molecules using ZnO thin film transistor 
サブタイトル(英)  
キーワード(1)(和/英) 酸化亜鉛 / Zinc oxide  
キーワード(2)(和/英) 薄膜トランジスタ / Thin film transistor  
キーワード(3)(和/英) アルコールセンサー / Alcohol sensor  
キーワード(4)(和/英) /  
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キーワード(8)(和/英) /  
第1著者 氏名(和/英/ヨミ) 野口 竜之介 / Ryunosuke Noguchi / ノグチ リュウノスケ
第1著者 所属(和/英) 山形大学 (略称: 山形大)
Yamagata University (略称: Yamagata Univ.)
第2著者 氏名(和/英/ヨミ) 三浦 正範 / Masanori Miura / ミウラ マサノリ
第2著者 所属(和/英) 山形大学 (略称: 山形大)
Yamagata University (略称: Yamagata Univ.)
第3著者 氏名(和/英/ヨミ) 有馬 ボシールアハンマド / Bashir Ahmmad / アリマ ボシールアハンマド
第3著者 所属(和/英) 山形大学 (略称: 山形大)
Yamagata University (略称: Yamagata Univ.)
第4著者 氏名(和/英/ヨミ) 廣瀬 文彦 / Fumihiko Hirise / ヒロセ フミヒコ
第4著者 所属(和/英) 山形大学 (略称: 山形大)
Yamagata University (略称: Yamagata Univ.)
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講演者 第1著者 
発表日時 2024-02-29 11:15:00 
発表時間 15分 
申込先研究会 CPM 
資料番号 CPM2023-101 
巻番号(vol) vol.123 
号番号(no) no.395 
ページ範囲 pp.19-22 
ページ数
発行日 2024-02-22 (CPM) 


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