講演抄録/キーワード |
講演名 |
2024-02-29 11:15
酸化亜鉛薄膜トランジスタを用いたアルコール分子の検出 ○野口竜之介・三浦正範・有馬ボシールアハンマド・廣瀬文彦(山形大) CPM2023-101 |
抄録 |
(和) |
近年、室温動作で低コスト、高感度で選択性のあるVOCを検出するためのガスセンサーの開発に焦点を当てた研究が盛んに行われている。我々は、室温原子層堆積法により成膜した酸化亜鉛薄膜を用いて酸化亜鉛薄膜トランジスタを作製し、エタノールを導入することで出力電流が変化することを確認した。本結果により、アルコールセンサーへの応用が期待できる。 |
(英) |
In recent years, much research has focused on the development of gas sensors for detecting VOCs with room temperature operation, low cost, and high sensitivity and selectivity. We have fabricated zinc oxide thin-film transistors using zinc oxide thin films deposited by room temperature atomic layer deposition and observed that the output current changes when ethanol is introduced. This result is expected to be applied to alcohol sensors. |
キーワード |
(和) |
酸化亜鉛 / 薄膜トランジスタ / アルコールセンサー / / / / / |
(英) |
Zinc oxide / Thin film transistor / Alcohol sensor / / / / / |
文献情報 |
信学技報, vol. 123, no. 395, CPM2023-101, pp. 19-22, 2024年2月. |
資料番号 |
CPM2023-101 |
発行日 |
2024-02-22 (CPM) |
ISSN |
Online edition: ISSN 2432-6380 |
著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) |
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