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| 講演抄録／キーワード | ||
| 講演名 | 2024-06-25 15:45 ［ポスター講演］下部電極をフッ素樹脂で修飾することによるポリイミド容量式湿度センサの高速化 ○有賀康博・井口丞太郎・伊東栄次（信州大）  OME2024-11 |
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| 抄録 | （和） | ポリイミド容量式湿度センサは薄膜化に伴って下部電極と感湿膜の界面に吸脱着する水分子の影響により応答が悪化する問題がある.本研究ではフッ素樹脂で表面修飾したITO電極を下部電極とした縦型静電容量式湿度センサを作製し,界面の水分子の影響を低減して高速応答を目指した.下部電極表面の撥水性や感湿膜のフッ素含有量が異なる素子を作製し,感度や応答の比較を行った.感湿膜厚約300nmの素子では下部電極表面をCYTOPで被覆することで応答時間が約1.5倍に高速化した. |
| （英） | Thinner polyimide capacitive-type humidity sensors have a problem that the response deteriorates due to the influence of water molecules adsorbed at the interface between the bottom electrode and the sensing layer. In this study, a vertical polyimide capacitive-type humidity sensor with a thin CYTOP layer between the ITO bottom electrode and the sensing layer was fabricated to achieve a fast response by reducing the influence of water molecules. Devices with different water repellency of the bottom electrode surface and the sensing layer were fabricated and compared in terms of sensitivity and response. The addition of the CYTOP layer resulted in a 1.5 times faster response in a device with a sensing layer thickness of about 300 nm. | |
| キーワード | （和） | 容量式湿度センサ / 多層カーボンナノチューブ / 含フッ素ポリイミド / CYTOP / 界面 / / / |
| （英） | capacitive-type humidity sensor / multi-walled carbon nanotube / fluorinated polyimide / CYTOP / interface / / / | |
| 文献情報 | 信学技報, vol. 124, no. 89, OME2024-11, pp. 13-16, 2024年6月. | |
| 資料番号 | OME2024-11 | |
| 発行日 | 2024-06-18 (OME) | |
| ISSN | Online edition: ISSN 2432-6380 | |
| 著作権に ついて |
技術研究報告に掲載された論文の著作権は電子情報通信学会に帰属します．(許諾番号：10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034) | |
| PDFダウンロード | OME2024-11 |
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| 研究会情報 | |
| 研究会 | OME IEE-DEI |
| 開催期間 | 2024-06-25 - 2024-06-25 |
| 開催地（和） | 新潟大学 駅南キャンパスときめいと |
| 開催地（英） | |
| テーマ（和） | 国際会議報告，一般（誘電・絶縁材料，有機薄膜・デバイス） |
| テーマ（英） | |
| 講演論文情報の詳細 | |
| 申込み研究会 | OME |
| 会議コード | 2024-06-OME-DEI |
| 本文の言語 | 日本語 |
| タイトル（和） | 下部電極をフッ素樹脂で修飾することによるポリイミド容量式湿度センサの高速化 |
| サブタイトル（和） | |
| タイトル（英） | High-speed polyimide capacitive-type humidity sensors with thin CYTOP layer between sensing layer and bottom electrodes |
| サブタイトル（英） | |
| キーワード(1)（和/英） | 容量式湿度センサ / capacitive-type humidity sensor |
| キーワード(2)（和/英） | 多層カーボンナノチューブ / multi-walled carbon nanotube |
| キーワード(3)（和/英） | 含フッ素ポリイミド / fluorinated polyimide |
| キーワード(4)（和/英） | CYTOP / CYTOP |
| キーワード(5)（和/英） | 界面 / interface |
| キーワード(6)（和/英） | / |
| キーワード(7)（和/英） | / |
| キーワード(8)（和/英） | / |
| 第1著者 氏名（和/英/ヨミ） | 有賀 康博 / Yasuhiro Aruga / アルガ ヤスヒロ |
| 第1著者 所属（和/英） | 信州大学 (略称： 信州大) Shinshu University (略称： Shinshu Univ.) |
| 第2著者 氏名（和/英/ヨミ） | 井口 丞太郎 / Jotaro Iguchi / イグチ ジョウタロウ |
| 第2著者 所属（和/英） | 信州大学 (略称： 信州大) Shinshu University (略称： Shinshu Univ.) |
| 第3著者 氏名（和/英/ヨミ） | 伊東 栄次 / Eiji Itoh / イトウ エイジ |
| 第3著者 所属（和/英） | 信州大学 (略称： 信州大) Shinshu University (略称： Shinshu Univ.) |
| 講演者 | 第1著者 |
| 発表日時 | 2024-06-25 15:45:00 |
| 発表時間 | 75分 |
| 申込先研究会 | OME |
| 資料番号 | OME2024-11 |
| 巻番号（vol） | vol.124 |
| 号番号（no） | no.89 |
| ページ範囲 | pp.13-16 |
| ページ数 | 4 |
| 発行日 | 2024-06-18 (OME) |
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