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| 研究会 | 発表日時 | 開催地 | タイトル・著者 | 抄録 | 資料番号 | |
| SDM | 2023-10-13 16:00 |
宮城 | 東北大学未来情報産業研究館５Ｆ | 強度分布を有するエキシマレーザーアニールによる結晶粒径制御と低温ポリシリコン薄膜トランジスタ特性 ○西田 脩・片山慶太・中村大輔（九大）・後藤哲也（東北大）・池上 浩（高知工科大）  SDM2023-58 |
エキシマレーザーアニール（ELA）法で結晶化した低温ポリシリコン（LTPS）薄膜トランジスタ（TFT）は、アモルファスシ... [more] | SDM2023-58 pp.27-33 |
| SDM | 2018-10-17 15:20 |
宮城 | 東北大学未来情報産業研究館５Ｆ | Low-Temperature Formation of Ohmic Contact for Si TFT Fabrication by Excimer Laser Doping with Phosphoric Acid Coating ○Kaname Imokawa（Kyushu Univ）・Nozomu Tanaka（Kyushu Univ.）・Akira Suwa（Kyushu Univ）・Daisuke Nakamura・Taizoh Sadoh（Kyushu Univ.）・Tetsuya Goto（New Industry Creation Hatchery Center, Tohoku Univ.）・Hiroshi Ikenoue（Kyushu Univ） SDM2018-54 |
Si TFTのコンタクト抵抗形成には、イオン注入やCVDなどの真空、高温（～500度）のプロセスが必要とされ，プリンタブ... [more] | SDM2018-54 pp.11-14 |
| SDM, OME (共催) |
2008-04-11 11:25 |
沖縄 | 沖縄県青年会館 | UV/可視ラマン分光法によるレーザー結晶化ポリシリコン薄膜の応力・結晶性の評価 ○掛村康人・小瀬村大亮・小椋厚志（明大）・野口 隆（琉球大） SDM2008-6 OME2008-6 |
低温ポリシリコン（LTPS）薄膜はシステムオングラス実現のためのキーマテリアルである。我々は、高精度・高空間分解能をもつ... [more] | SDM2008-6 OME2008-6 pp.27-32 |
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