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| 研究会 | 発表日時 | 開催地 | タイトル・著者 | 抄録 | 資料番号 | |
| CPM | 2008-10-30 14:55 |
新潟 | 新潟大学 | SBD法を用いたAZO薄膜作製における特性の検討 ○本間拓也・佐藤 薫・下村健晴・邵 力捷・清水英彦・岩野春男（新潟大）・星 陽一（東京工芸大）  CPM2008-79 |
マグネトロンスパッタ（MS）法によりZnO 系透明導電膜を作製する場合の膜作製プロセスに起因する問題点を明らかにするため... [more] | CPM2008-79 pp.23-28 |
| CPM | 2008-10-31 09:50 |
新潟 | 新潟大学 | Arイオン衝撃によるITO薄膜への効果の検討 ○高橋沙季・二木雅斗・中村陽平・清水英彦・岩野春男・福嶋康夫・永田向太郎（新潟大）・星 陽一（東京工芸大） CPM2008-84 |
本研究では，RF-DC結合形スパッタ法に，基板バイアススパッタ法を組み合わせる方法を用いて，低温でITO膜を結晶化させる... [more] | CPM2008-84 pp.53-58 |
| CPM | 2008-10-31 11:45 |
新潟 | 新潟大学 | 反応性高速スパッタ法により作製したTiO2薄膜の構造と光触媒特性 ○星 陽一・石原太樹・境 哲也・雷 浩（東京工芸大）・清水英彦（新潟大） CPM2008-88 |
メタルモードで動作するTi原子供給用スパッタ源と、酸化物モードで動作する酸素ラジカル供給用のスパッタ源を組み合わせた反応... [more] | CPM2008-88 pp.75-79 |
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