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研究会 発表日時 開催地 タイトル・著者 抄録 資料番号
ED 2016-10-25
14:40
三重 三重大学 新産業創成研究拠点(旧VBL) シリコンフィールドエミッタの光応答性の評価(その2)
嶋脇秀隆八戸工大)・長尾昌善産総研)・根尾陽一郎三村秀典静岡大)・若家冨士男高井幹夫阪大ED2016-46
p型シリコンフィールドエミッタにバンドギャップ以上の光を照射するとエミッション電流が増大する。この特性を利用すると光パル... [more] ED2016-46
pp.13-15
ED 2010-10-25
13:25
京都 宇治おうばくプラザ(京都大学) 三フッ化メタンプラズマ処理したシリコン電界放出電子源の表面状態と電子放出特性
後藤康仁遠藤恵介辻 博司京大)・石川順三中部大)・酒井滋樹日新イオン機器ED2010-129
三フッ化メタンプラズマ処理を施したシリコン電界放出電子源の電子放出特性の経時変化の原因を調べる目的で、同じ処理を施したシ... [more] ED2010-129
pp.7-10
ED 2008-08-05
09:50
静岡 静岡大学浜松キャンパス シリコン微小電子源のイオンビーム空間電荷中和への応用
竹内光明JSTイノベーションプラザ京都)・後藤康仁辻 博司京大)・酒井滋樹日新イオン機器)・木本恒暢石川順三京大ED2008-119
半導体イオン注入用極低エネルギーイオンビームの発散抑制を目的として、シリコン微小電子源(Si-FEA)を用いたイオンビー... [more] ED2008-119
pp.49-52
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