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シリコン材料・デバイス研究会 (SDM) (検索条件: 2021年度)
「from:2022-02-04 to:2022-02-04」による検索結果
| 研究会 | 発表日時 | 開催地 | タイトル・著者 | 抄録 | 資料番号 | |
| SDM | 2022-02-04 09:05 |
ONLINE | オンライン開催 | ［招待講演］タイムラグ法を用いた極薄PVD-Co(W)薄膜の定量的バリア性評価 ○百瀬 健・金 泰雄・鄧 玉斌・出浦桃子（東大）・松尾 明・山口述夫（キヤノンアネルバ）・霜垣幸浩（東大）  SDM2021-74 |
半導体集積回路のCu配線における極薄バリアの開発には，バリア性を定量的かつ簡潔に評価する手法が不可欠である。そのため我々... [more] | SDM2021-74 pp.1-4 |
| SDM | 2022-02-04 09:45 |
ONLINE | オンライン開催 | ［招待講演］SAMを用いた次世代ダマシンインテグレーション ○永井洋之・岩下光秋・菊地裕樹（東京エレクトロン）・河崎洋章・ギアナ パッタナイク（TEL Technology Center, America）・藤田啓一（東京エレクトロン九州）・岩井和俊（Tokyo Electron America）・小松裕之・尾崎優貴（JSR） SDM2021-75 |
SAMを用いてCu拡散バリアを絶縁膜上へ選択的に成膜し、Cuダマシン配線を形成した。この構造ではVia底バリアメタルが無... [more] | SDM2021-75 pp.5-8 |
| SDM | 2022-02-04 10:40 |
ONLINE | オンライン開催 | ［招待講演］低温焼結塗布型シリカを用いた印刷エレクトロニクス ○三成剛生（物質・材料研究機構）・孫 晴晴（鄭州大）・李 玲穎（物質・材料研究機構）・李 万里（江南大）・劉 旭影（鄭州大） SDM2021-76 |
金属インクを塗布・印刷することで配線や電子素子を形成するプリンテッドエレクトロニクスは，フレキシブル基板上に低温・低コス... [more] | SDM2021-76 pp.9-12 |
| SDM | 2022-02-04 11:20 |
ONLINE | オンライン開催 | ［招待講演］3Dシーケンシャル技術を用いたCMOSイメージセンサー 中澤圭一・○山元純平・藤井宣年・上原睦雄・平松克規・熊野秀臣・森 茂貴・岡本晋太郎・清水暁人・馬場公一・大沼英寿・松本 晃・財津光一郎・田谷圭司・平野智之・岩元勇人（ソニーセミコンダクタソリューションズ） SDM2021-77 |
我々はフォトダイオードと画素トランジスタの層を別々の基板に形成し積層した“2層トランジスタ画素積層型CMOSイメージセン... [more] | SDM2021-77 pp.13-16 |
| SDM | 2022-02-04 13:00 |
ONLINE | オンライン開催 | ［招待講演］超伝導量子コンピュータ ～ スケーラブルな超伝導素子設計と課題 ～ ○田渕 豊（理研） SDM2021-78 |
固体素子を用いた量子コンピュータの研究開発が加速している．超伝導量子ビットやシリコン量子ビットなど固体素子は従来の半導体... [more] | SDM2021-78 pp.17-20 |
| SDM | 2022-02-04 13:40 |
ONLINE | オンライン開催 | ［招待講演］ダイヤモンドスピン量子コンピューターに向けた三次元集積技術 ○石原良一・Jeffrel Hermias・Shuichang Yu・King Y. Yu・Ye Li・Maurice van der Maas・Salahuddin Nur（デルフト工科大）・岩井俊樹・宮武哲也・河口研一・土肥義康・佐藤信太郎（富士通） SDM2021-79 |
ダイヤモンド中のスピンを用いた量子コンピューターは、比較的高い冷却温度（４K）で量子操作が行えること、光を介した量子もつ... [more] | SDM2021-79 pp.21-26 |
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