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シリコン材料・デバイス研究会(SDM) [schedule] [select]
専門委員長 大見 俊一郎 (東工大)
副委員長 宇佐美 達矢 (日本エーエスエム)
幹事 諏訪 智之 (東北大), 野田 泰史 (パナソニック)
幹事補佐 細井 卓治 (関西学院大), 二瀬 卓也 (サンディスク)

日時 2022年10月19日(水) 09:30 - 17:45
[変更あり]
議題 プロセス科学と新プロセス技術 
会場名 オンライン 
参加費に
ついて
この開催は「技報完全電子化」研究会です.参加費(SDM研究会)についてはこちらをご覧ください.
参加費支払い手続き期限 本研究会はオンライン開催です.準備の都合上,原則として開催の3日前までに受付を終了しますので,「参加費について」の聴講参加費または年間登録費のリンクからお早めにお手続きください.なお,会議用URLなどは研究会幹事からご案内します.

10月19日(水) 午前  チュートリアル [変更あり]
09:30 - 10:20 [変更あり]
  09:30-10:10
[変更あり]
「半導体製造における有機物汚染」 諏訪智之(東北大学) ( 40分 )
[変更あり]
  10:10-10:20
[変更あり]
休憩 ( 10分 )
10月19日(水) 午後  SDM 10月研究会「プロセス科学と新プロセス技術」 [変更あり]
10:20 - 17:45 [変更あり]
(1) 10:20-11:10
[変更あり]
[招待講演]エックス線光学素子のニーズ ~ 新プロセス技術への期待 ~ 矢代 航東北大
(2) 11:10-11:35
[変更あり]
次世代メモリ用薄膜の統計的解析を行う高精度・広範囲抵抗測定技術 光田薫未天満亮介間脇武蔵黒田理人東北大
(3)
[変更あり]
11:35-12:00
[変更あり]
A study on threshold voltage control of MFSFET with ultrathin ferroelectric nondoped HfO2 gate insulator for analog memory applications
[変更あり]
Joong-Won ShinMasakazu TanumaShun-ichiro OhmiTokyo Tech
[変更あり]
  12:00-13:15
[変更あり]
昼食 ( 75分 )
(4)
[変更あり]
13:15-14:05
[変更あり]
[招待講演]表面熱析出法を用いた単原子層h-BN薄膜/LaB6ヘテロ構造の作製とその評価 長岡克己相澤 俊大見俊一郎物質・材料研究機構
[変更あり]
(5)
[変更あり]
14:05-14:30
[変更あり]
強誘電体BiFeO3薄膜表面の評価と分析 今泉文伸小山高専
(6)
[変更あり]
14:30-14:55
[変更あり]
CrSiC薄膜抵抗体の微細構造が電気特性に与える影響 伊藤 望前川和義高橋裕治利根川 丘ルネサス エレクトロニクス
  14:55-15:15
[変更あり]
休憩 ( 20分 )
(7)
[変更あり]
15:15-16:05
[変更あり]
[招待講演]紙の基板を用いた有機強誘電体トランジスタの作製と有機太陽電池への応用 朴 炳垠ソウル市立大
(8)
[変更あり]
16:05-16:30
[変更あり]
A study on low-voltage operation of pentacene-based floating-gate memory utilizing Ar/N2-plasma nitridation with N-doped LaB6 metal and high-k LaBxNy insulator Eun-Ki HongShun-ichiro OhmiTokyo Tech.
(9)
[変更あり]
16:30-17:20
[変更あり]
[招待講演]CO2熱処理によるSiC MOSFETの信頼性向上 細井卓治関西学院大)・志村考功渡部平司阪大
(10)
[変更あり]
17:20-17:45
[変更あり]
強誘電性ノンドープHfO2薄膜を用いたMFSFETのしきい値電圧制御に関する検討
[変更あり]
田沼将一Joong-Won Shin大見俊一郎東工大
[変更あり]
  17:45-18:15
[変更あり]
意見交換会 ( 30分 )

講演時間
招待講演発表 40 分 + 質疑応答 10 分
一般講演発表 20 分 + 質疑応答 5 分

問合先と今後の予定
SDM シリコン材料・デバイス研究会(SDM)   [今後の予定はこちら]
問合先 SDM幹事:諏訪 智之 (東北大学)
電話 022-795-3977
E-Mail: b6 


Last modified: 2022-09-28 17:44:41


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