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| 研究会 | 発表日時 | 開催地 | タイトル・著者 | 抄録 | 資料番号 | |
| SDM | 2015-10-29 14:00 |
宮城 | 東北大学未来研 | ［招待講演］イオン注入技術の現状と課題 ○中島良樹・濱本成顕・酒井滋樹・おの田 博（日新イオン機器）  SDM2015-71 |
[more] | SDM2015-71 pp.1-6 |
| SDM, EID (共催) |
2014-12-12 11:00 |
京都 | 京都大学 | 炭素系多原子分子イオンのシリコンへの照射効果 ○竹内光明・林 恭平・龍頭啓充・高岡義寛（京大）・永山 勉・松田耕自（日新イオン機器） EID2014-17 SDM2014-112 |
炭化水素多原子分子イオンC$_{n}$H$_{n}^{+}$($n$=3, 7, 14)及びC$_{n}$H$_{2n+... [more] | EID2014-17 SDM2014-112 pp.21-24 |
| CPM, ED, SDM (共催) |
2014-05-29 14:00 |
愛知 | 名古屋大学VBL3階 | P - GaN by Mg Ion Implantation for Power Device Applications ○Zheng Sun・Marc Olsson（Nagoya Univ.）・Tsutomu Nagayama（Nissin Ion Equipment）・Yoshio Honda・Hiroshi Amano（Nagoya Univ.） ED2014-40 CPM2014-23 SDM2014-38 |
[more] | ED2014-40 CPM2014-23 SDM2014-38 pp.109-112 |
| ED | 2008-08-05 09:50 |
静岡 | 静岡大学浜松キャンパス | シリコン微小電子源のイオンビーム空間電荷中和への応用 ○竹内光明（JSTイノベーションプラザ京都）・後藤康仁・辻 博司（京大）・酒井滋樹（日新イオン機器）・木本恒暢・石川順三（京大） ED2008-119 |
半導体イオン注入用極低エネルギーイオンビームの発散抑制を目的として、シリコン微小電子源(Si-FEA)を用いたイオンビー... [more] | ED2008-119 pp.49-52 |
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