Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380
[TOP] | [2012] | [2013] | [2014] | [2015] | [2016] | [2017] | [2018] | [Japanese] / [English]
SDM2015-108
［招待講演］400万個のマイクロバンプ接続を有する1600画素3次元積層型イメージセンサの信頼性試験結果
○竹本良章・高澤直裕・月村光弘・齊藤晴久・近藤 亨・加藤秀樹・青木 潤・小林賢司・鈴木俊介・五味祐一・松田成介・只木芳隆（オリンパス）
pp. 1 - 4
SDM2015-109
［招待講演］常温12年応力変動の結果から銅配線のストレスマイグレーションメカニズムの再考
○松山英也（ソシオネクスト）・鈴木貴志・中村友二（富士通研）・塩津基樹・江原英郎（三重富士通セミコンダクター）
pp. 5 - 8
SDM2015-110
Copper Thin Film Growth using Cu(I) Amidinate Precursor in Supercritical Carbon Dioxide
○Md Rasadujjaman・Mitsuhiro Watanabe（Univ. Yamanashi）・Hiroshi Sudoh・Hideaki Machida（Gas phase growth）・Eiichi Kondoh（Univ. Yamanashi）
pp. 9 - 12
SDM2015-111
BTA-H2O2溶液中におけるCu表面のその場エリプソメトリ
○川上達也・近藤英一・渡邉満洋（山梨大）・濱田聡美・嶋 昇平・檜山浩國（荏原製作所）
pp. 13 - 15
SDM2015-112
［招待講演］低温作製された窒化物薄膜の特性
○武山真弓・佐藤 勝（北見工大）・小林靖志・中田義弘・中村友二（富士通研）・野矢 厚（北見工大）
pp. 17 - 20
SDM2015-113
ラジカル処理を用いた低温TiNx膜の特性評価
○佐藤 勝・武山真弓・野矢 厚（北見工大）
pp. 21 - 24
SDM2015-114
Fabrication of highly reliable Co(W) thin film by physical vapor deposition for next generation ULSI Cu interconnects
○Taewoong Kim・Kouta Tomita・Takeshi Momose（Univ. of Tokyo）・Takaaki Tsunoda・Takayuki Moriwaki（CANON ANELVA）・Yukihiro Shimogaki（Univ. of Tokyo）
pp. 25 - 28
SDM2015-115
Fabrication of Multilayer Graphene by Solid-Phase Precipitation with Current Stress
○MD Sahab Uddin・Hiroyasu Ichikawa・Shota Sano（SIT）・Kazuyoshi Ueno（SIT/RCGI）
pp. 29 - 32
SDM2015-116
［招待講演］バンプレスインターコネクトを用いた三次元積層デバイス向けのウエハ薄化評価結果
○金 永ソク・児玉祥一・水島賢子・中村友二・前田展秀・藤本興治（東工大）・川合章仁（ディスコ）・大場隆之（東工大）
pp. 33 - 37
SDM2015-117
［招待講演］Novel reconfigured wafer-to-wafer(W2W) hybrid bonding technology using ultra-high density nano-Cu filaments for exascale 2.5D/3D integration
○Kangwook Lee・Taksfumi Fukushima・Tetsu Tanaka・Mitsumasa Koyanagi（Tohoku Univ.）
pp. 39 - 43
SDM2015-118
［招待講演］2.5D/3D TSV用実装材料技術
○満倉一行・牧野竜也・畠山恵一（日立化成）・Kenneth June Rebibis・Andy Miller・Eric Beyne（IMEC）
pp. 45 - 47
SDM2015-119
［招待講演］印刷によるTSV形成技術の開発 ～ ナノ・ファンクション材料技術の展開 ～
○池田博明・関根重信・木村竜司・下川耕一・岡田圭二・進藤広明・大井達也・玉木玲衣（ナプラ）・永田 真（神戸大）
pp. 49 - 54
注： 本技術報告は査読を経ていない技術報告であり，推敲を加えられていずれかの場に発表されることがあります．