電子情報通信学会技術研究報告

Online edition: ISSN 2432-6380

Volume 123, Number 375

シリコン材料・デバイス

開催日 2024-01-31 / 発行日 2024-01-24

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目次

SDM2023-74
[招待講演]mK評価が明らかにするMOSFET極低温動作におけるバンド端準位の役割
○岡 博史・浅井栄大・稲葉 工・下方駿佑・由井 斉・更田裕司・飯塚将太・加藤公彦・中山隆史・森 貴洋(産総研)
pp. 1 - 4

SDM2023-75
[招待講演]プラズマ支援原子層堆積法で形成したAlN界面層を用いたAlSiO/p-GaN MOSFETの分極制御
○伊藤健治・成田哲生・井口紘子・岩崎四郎・菊田大悟(豊田中研)・狩野絵美・五十嵐信行・冨田一義・堀田昌宏・須田 淳(名大)
pp. 5 - 8

SDM2023-76
[招待講演]3D Flash Memory向けCMOS Directly Bonded to Array (CBA) 技術
○田上政由(キオクシア)
pp. 9 - 12

SDM2023-77
[招待講演]CBA(CMOS Directly Bonded to Array)技術を適用した、インターフェース速度3.2Gbps・プログラム速度205MB/sの高性能3次元フラッシュメモリ
○小林茂樹・田代健二・峯村洋一・中上恒平・有田幸司・大橋貴志(キオクシア)・舟山幸太・酒井久弥・虫賀満輝・岡部堅一・菅野善宏・清水 悟・藤倉栄一・中江彰宏・山口謙介(ウエスタンデジタル)・山脇秀之・中嶋一明・佐藤 充(キオクシア)
pp. 13 - 16

SDM2023-78
[招待講演]チャージトラップ制御によるHfO-FeFETのEndurance改善
○鈴木都文・佐久間 究・吉村瑶子・市原玲華・松尾和展・萩島大輔・藤原 実・齋藤真澄(キオクシア)
pp. 17 - 19

SDM2023-79
[招待講演]3次元構造強誘電体キャパシタを有する低電圧かつ高信頼性1T1C型FeRAM ~ IEDM2023報告内容 ~
○奥野 潤・国広恭史・周藤悠介・米内飛翔・小野 凌(ソニーセミコン)・ルーベン アルカーラ(ナムラボ)・マキシミリアン レダー・コンラッド ザイダル(フラウンホーファー)・トーマス ミコラジック・ウベ シュローダー(ナムラボ)・梅林 拓(ソニーセミコン)
pp. 20 - 23

SDM2023-80
[招待講演]HfZrO2系強誘電体FETを用いた物理リザバーコンピューティング
○高木信一・トープラサートポン カシディット・名幸瑛心・鈴木陸央・閔 信義・竹中 充・中根了昌(東大)
pp. 24 - 27

注: 本技術報告は査読を経ていない技術報告であり,推敲を加えられていずれかの場に発表されることがあります.


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