| 電子情報通信学会 研究会発表申込システム 研究会 開催スケジュール |
技報閲覧サービス [ログイン] 技報アーカイブ |
シリコン材料・デバイス研究会 (SDM) (検索条件: 2016年度)
「from:2016-10-26 to:2016-10-26」による検索結果
| 研究会 | 発表日時 | 開催地 | タイトル・著者 | 抄録 | 資料番号 | |
| SDM | 2016-10-26 14:00 |
宮城 | 東北大学未来研 | ［招待講演］最先端LSIプロセスにおける重金属汚染の制御 ○嵯峨幸一郎（ソニー）  SDM2016-69 |
半導体デバイスの多様化にともない、DRAMトレンチキャパシタ、CMOSイメージセンサ、高耐圧トランジスタなどSi基板の深... [more] | SDM2016-69 pp.1-8 |
| SDM | 2016-10-26 14:50 |
宮城 | 東北大学未来研 | 高濃度ドーピングされた（100）方位SOIウェーハに対するSi選択エピタキシャル成長後の平坦な表面形成技術 ○古川貴一・寺本章伸・黒田理人・諏訪智之・橋本圭市・須川成利（東北大）・鈴木大介・千葉洋一郎・石井勝利・清水 亮・長谷部一秀（東京エレクトロン東北） SDM2016-70 |
[more] | SDM2016-70 pp.9-14 |
| SDM | 2016-10-26 15:30 |
宮城 | 東北大学未来研 | ［招待講演］超低電圧0.4V動作SOTB-CMOS回路のダイ間遅延ばらつきを抑制する基板バイアス制御技術 ○槇山秀樹・山本芳樹・長谷川拓実・岡西 忍・前川径一・新川田裕樹・蒲原史朗・山口泰男（ルネサス エレクトロニクス）・杉井信之（日立）・石橋孝一郎（電通大）・水谷朋子・平本俊郎（東大） SDM2016-71 |
薄膜BOX-SOI(SOTB)デバイスのように低ばらつきのトランジスタは動作電圧の低減に有効である。しかし、超低電圧領域... [more] | SDM2016-71 pp.15-20 |
| SDM | 2016-10-26 16:10 |
宮城 | 東北大学未来研 | ［招待講演］基板バイアス技術を用いたSOTB 2Mbit SRAMの超低電圧動作 ○山本芳樹・槇山秀樹・長谷川拓実・岡西 忍・前川径一・新川田裕樹・蒲原史朗・山口泰男（ルネサス エレクトロニクス）・杉井信之（日立）・水谷朋子・平本俊郎（東大） SDM2016-72 |
薄膜BOX-SOI (SOTB: Silicon on Thin Buried oxide)を用いた6T-SRAMの超低... [more] | SDM2016-72 pp.21-25 |
| SDM | 2016-10-27 10:00 |
宮城 | 東北大学未来研 | 原子層堆積法で成膜したAl2O3膜界面に及ぼす酸化種の影響 ○齋藤雅也・諏訪智之・寺本章伸・黒田理人・幸田安真・杉田久哉・石井秀和・志波良信・白井泰雪・須川成利（東北大）・林 真里恵・土本淳一（キヤノンアネルバ） SDM2016-73 |
Al2O3はパワー半導体のゲート絶縁膜やMIM（Metal-Insulator-Metal）キャパシタへの応用が期待され... [more] | SDM2016-73 pp.27-30 |
| SDM | 2016-10-27 10:25 |
宮城 | 東北大学未来研 | SiO2上におけるウェットプロセスがペンタセン薄膜形成に与える影響 ○前田康貴・廣木瑞葉・大見俊一郎（東工大） SDM2016-74 |
フレキシブルデバイスやTFTなどへの応用が期待されている代表的なp型有機半導体のペンタセンは、薄膜の結晶性が下層材料の表... [more] | SDM2016-74 pp.31-34 |
| SDM | 2016-10-27 10:50 |
宮城 | 東北大学未来研 | 動作電圧変化時の過渡状態におけるランダムテレグラフノイズの挙動に関する研究 ○間脇武蔵・寺本章伸・黒田理人・市野真也・後藤哲也・諏訪智之・須川成利（東北大） SDM2016-75 |
MOSFETの微細化に伴い、RTN(Random Telegraph Noise)の影響が顕在化している。 RTNの発生... [more] | SDM2016-75 pp.35-38 |
| SDM | 2016-10-27 11:15 |
宮城 | 東北大学未来研 | Si基板表面平坦化によるHf系MONOS構造の電気特性向上に関する検討 ○工藤聡也・大見俊一郎（東工大） SDM2016-76 |
従来の浮遊ゲート型に代わる不揮発性メモリ構造として、高集積化に適したMONOS型不揮発性メモリが注目されている。本研究で... [more] | SDM2016-76 pp.39-44 |
| SDM | 2016-10-27 13:00 |
宮城 | 東北大学未来研 | ［招待講演］高NIR感度と高MTFを実現する新規積層フォトダイオード構造の開発 ○高橋広樹・田中浩司・小田真弘・安藤三善・新添真人（パナソニック・タワージャズセミコンダクター）・河合真一・浅野拓也・吉田 貢・山田 徹（PSCS） SDM2016-77 |
高い近赤外（NIR）感度と高い変調伝達関数（MTF）を同時に実現する為、2つのフォトダイオードを積層した新たな画素構造（... [more] | SDM2016-77 pp.45-48 |
| SDM | 2016-10-27 13:50 |
宮城 | 東北大学未来研 | ［招待講演］科学計測用CMOSイメージセンサのための低ノイズイメージングテクニック ○徐 珉雄・川人祥二（静岡大） SDM2016-78 |
[more] | SDM2016-78 pp.49-52 |
[研究会発表申込システムのトップページに戻る]