7月29日(木) 午後  13:30 - 16:40
(1)	13:30-13:55	RFスパッタリングによるCuInO2薄膜の作製と熱処理効果の検討	○小川　翼・横本拓也・林部林平・山上朋彦・阿部克也（信州大）
(2)	13:55-14:20	ガスフロースパッタ法によるFe3O4のGaAs上へのエピタキシャル成長 CPM2010-31	○佐久間洋志・設樂裕紀・鍵　康人・鈴木　涼・石井　清（宇都宮大）
(3)	14:20-14:45	室温にてスパッタ法により作製したAZO薄膜の特性の検討 CPM2010-32	○清水英彦・樫出　淳・岩野春男・川上貴浩・福嶋康夫・永田向太郎（新潟大）・星　陽一（東京工芸大）
	14:45-14:55	休憩　（ 10分 ）
(4)	14:55-15:20	触媒反応により生成した水分子ビームを用いたZnO結晶薄膜のエピタキシャル成長 CPM2010-33	田原将巳・三浦仁嗣・黒田朋義・西山　洋・○安井寛治（長岡技科大）
(5)	15:20-15:45	伝送線上のアイパターンを改善する技術の提案と実測評価 CPM2010-34	○石黒将巳・島内優希・相部範之（筑波大）・吉原郁夫（宮崎大）・安永守利（筑波大）
	15:45-15:50	休憩　（ 5分 ）
(6)	15:50-16:40	［招待講演］超臨界流体を用いた多孔質低誘電率薄膜プロセス ～ 細孔の評価と洗浄 ～ CPM2010-35	○近藤英一（山梨大）
7月30日(金) 午前  09:30 - 12:10
(7)	09:30-09:55	ラジカル反応を応用したZrNx膜の低温作製 CPM2010-36	○佐藤　勝・武山真弓（北見工大）・早坂祐一郎・青柳英二（東北大）・野矢　厚（北見工大）
(8)	09:55-10:20	TDEAV原料を用いたVNx膜のALD成膜 CPM2010-37	○武山真弓・佐藤　勝（北見工大）・須藤　弘・町田英明（気相成長）・伊藤　俊・青柳英二（東北大）・野矢　厚（北見工大）
(9)	10:20-10:45	レーザーアブレーション法によるSi基板上AlN薄膜の形成 CPM2010-38	○中澤日出樹・鈴木大樹・遲澤遼一・岡本　浩（弘前大）
	10:45-10:55	休憩　（ 10分 ）
(10)	10:55-11:20	水平配向したカーボンナノチューブからの電界電子放出 CPM2010-39	斉藤裕史・山上朋彦・林部林平・大池　匠・山下将弘・○上村喜一（信州大）
(11)	11:20-11:45	液液界面析出したC60の光励起ポリマー形成 CPM2010-40	小出大樹・加藤翔太・池田恵理・岩田展幸・○山本　寛（日大）
(12)	11:45-12:10	Snをドープしたシリカガラス薄膜の可視発光特性 CPM2010-41	○望月翔太・野毛　悟（沼津高専）

問合先と今後の予定
CPM	電子部品・材料研究会（CPM）   [今後の予定はこちら]
	問合先	CPM幹事補佐 阿部克也（信州大学） E-: abenshu-u

Last modified: 2010-06-24 09:15:46