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研究会 発表日時 開催地 タイトル・著者 抄録 資料番号
CPM 2013-08-02
10:55
北海道 釧路生涯学習センターまなぼっと幣舞 シリコン貫通ビアに適用可能なナノ結晶組織を有するHfNx膜のバリヤ特性
佐藤 勝武山真弓北見工大)・青柳英二東北大)・野矢 厚北見工大CPM2013-51
高性能な3次元LSIを実現するためには、シリコン貫通ビア配線(TSV)が重要な要素技術となる。我々は、TSVに適用できる... [more] CPM2013-51
pp.63-68
ED 2012-11-20
09:55
大阪 阪大中之島センター nc-Si MOS冷陰極からの電子放射における光照射効果
嶋脇秀隆八戸工大)・根尾陽一郎三村秀典静岡大)・若家冨士男高井幹夫阪大ED2012-61
微小電子源から高周波変調されたバンチビームを発生させることを目的として、p-Si基板を用いたnc-Si MOS冷陰極に光... [more] ED2012-61
pp.37-40
ED 2011-10-21
09:00
青森 八戸ポータルミュージアム はっち nc-Si MOS冷陰極からのレーザ支援による電子放射
嶋脇秀隆山崎勇人八戸工大)・根尾陽一郎三村秀典静岡大)・若家冨士男高井幹夫阪大ED2011-66
He-Neレーザ(出力1 mW、波長633 nm)をp-Si基板を用いたnc-Si MOS冷陰極に照射し、放射電流特性、... [more] ED2011-66
pp.33-36
ED 2008-08-04
14:15
静岡 静岡大学浜松キャンパス シリコン微結晶面放射型冷陰極の電子放射特性
嶋脇秀隆木田 庸八戸工大)・根尾陽一郎三村秀典静岡大)・村上勝久若家富士夫高井幹夫阪大ED2008-112
極薄酸化膜で被覆されたナノ結晶シリコン(nc-Si)からなる面放射型冷陰極を製作し、電子放射特性および放射電子のエネルギ... [more] ED2008-112
pp.15-20
SDM, OME
(共催)
2008-04-12
10:35
沖縄 沖縄県青年会館 Ge微結晶核を用いた多結晶Si薄膜形成
吉本千秋大参宏昌志村考功垣内弘章渡部平司安武 潔阪大SDM2008-18 OME2008-18
現在、薄膜トランジスタに代表される大面積電子デバイスの高性能化には、大粒径多結晶Si薄膜の形成が必要とされている。我々は... [more] SDM2008-18 OME2008-18
pp.89-94
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