Online edition: ISSN 2432-6380
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SDM2021-74
［招待講演］タイムラグ法を用いた極薄PVD-Co(W)薄膜の定量的バリア性評価
○百瀬 健・金 泰雄・鄧 玉斌・出浦桃子（東大）・松尾 明・山口述夫（キヤノンアネルバ）・霜垣幸浩（東大）
pp. 1 - 4
SDM2021-75
［招待講演］SAMを用いた次世代ダマシンインテグレーション
○永井洋之・岩下光秋・菊地裕樹（東京エレクトロン）・河崎洋章・ギアナ パッタナイク（TEL Technology Center, America）・藤田啓一（東京エレクトロン九州）・岩井和俊（Tokyo Electron America）・小松裕之・尾崎優貴（JSR）
pp. 5 - 8
SDM2021-76
［招待講演］低温焼結塗布型シリカを用いた印刷エレクトロニクス
○三成剛生（物質・材料研究機構）・孫 晴晴（鄭州大）・李 玲穎（物質・材料研究機構）・李 万里（江南大）・劉 旭影（鄭州大）
pp. 9 - 12
SDM2021-77
［招待講演］3Dシーケンシャル技術を用いたCMOSイメージセンサー
中澤圭一・○山元純平・藤井宣年・上原睦雄・平松克規・熊野秀臣・森 茂貴・岡本晋太郎・清水暁人・馬場公一・大沼英寿・松本 晃・財津光一郎・田谷圭司・平野智之・岩元勇人（ソニーセミコンダクタソリューションズ）
pp. 13 - 16
SDM2021-78
［招待講演］超伝導量子コンピュータ ～ スケーラブルな超伝導素子設計と課題 ～
○田渕 豊（理研）
pp. 17 - 20
SDM2021-79
［招待講演］ダイヤモンドスピン量子コンピューターに向けた三次元集積技術
○石原良一・Jeffrel Hermias・Shuichang Yu・King Y. Yu・Ye Li・Maurice van der Maas・Salahuddin Nur（デルフト工科大）・岩井俊樹・宮武哲也・河口研一・土肥義康・佐藤信太郎（富士通）
pp. 21 - 26
注： 本技術報告は査読を経ていない技術報告であり，推敲を加えられていずれかの場に発表されることがあります．