Online edition: ISSN 2432-6380
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ED2024-13
[招待講演]金属酸化物半導体薄膜デバイスによるニューロモーフィックシステム
○木村 睦(龍大)
pp. 1 - 4
ED2024-14
ナノ薄膜酸化チタンを用いた薄膜トランジスタのガス・UVセンサー としての応用
○廣瀬文彦(山形大院理工)
pp. 5 - 7
ED2024-15
エキシマ光アシストプロセスを用いた酸化インジウム薄膜トランジスタの作製と特性評価
○笠原綾祐・駒井伯成・和田英男・小山政俊・藤井彰彦(阪工大)・清水昭宏・竹添法隆・山口紫苑・伊藤寛泰(ウシオ電機)・前元利彦(阪工大)
pp. 8 - 11
ED2024-16
ミストCVD法による酸化亜鉛薄膜の成膜と熱処理の特性変化
○大橋亮介・岡田達樹・ヘテット ス ワイ・安岡龍哉・川原村敏幸(高知工科大)
pp. 12 - 14
ED2024-17
ミストCVD法によって成膜した非晶質Ga2O3薄膜の紫外線応答特性
○宮嵜愛実・山崎伊織・田中悠馬・小山政俊・藤井彰彦・前元利彦(阪工大)
pp. 15 - 18
ED2024-18
α-(AlxGa1-x)2O3バッファ層中の欠陥評価
○安岡龍哉・劉 麗・ダン タイジャン・川原村敏幸(高知工科大)
pp. 19 - 20
ED2024-19
ミストCVD法によって作製したCu薄膜とその特性
○岡田達樹・大橋亮介・安岡龍哉・す わい・川原村敏幸(高知工科大)
pp. 21 - 23
注: 本技術報告は査読を経ていない技術報告であり,推敲を加えられていずれかの場に発表されることがあります.