Online edition: ISSN 2432-6380
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SDM2026-16
[招待講演]ゲート・オール・アラウンド(GAA)構造を持つ積層シリコンナノシートトランジスタ試作に対応した300mm共有パイロットライン ~ 半導体構造パラダイムシフトへの対応 ~
○林 喜宏・入沢寿史(産総研)
pp. 1 - 4
SDM2026-17
[招待講演]Ge-on-Nothing構造に基づく高品質Ge-on-Insulator基板の作製
○山本圭介(熊本大)・王 冬(九大)・Roger Loo・Clément Porret・Valérie Depauw(imec)・Jinyoun Cho・Kristof Dessein(Umicore)
pp. 5 - 8
SDM2026-18
[招待講演]Sn系IV族混晶ヘテロ構造の結晶成長および量子物性制御
○中塚 理・柴山茂久・黒澤昌志・坂下満男(名大)
pp. 9 - 12
SDM2026-19
[招待講演]導電性AFMによるWSe2の選択的欠陥イメージング
○下村侑生・澤井悠太(NIMS/都立大)・榊原涼太郎・渡邊賢司・谷口 尚(NIMS)・吉田昭二(筑波大)・宮田耕充(NIMS/都立大)
pp. 13 - 15
SDM2026-20
[招待講演]スピン分解顕微ARPESの開発と多結晶材料への応用
○津田俊輔(NIMS)
p. 16
SDM2026-21
[招待講演]光電流顕微鏡による単一欠陥中心計測:ダイヤモンドNV中心の観測と空間分解能
○中村駿希(東北大)・森岡直也・水落憲和(京大)・水上成美・森下弘樹(東北大)
p. 17
注: 本技術報告は査読を経ていない技術報告であり,推敲を加えられていずれかの場に発表されることがあります.