Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380
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SDM2008-149
Evaluation of Post Cu-CMP Cleaning Chemicals for Non-Porous Ultra Low-k Dielectric Fluorocarbon Film
○Xun Gu・Takenao Nemoto・Akinobu Teramoto・Takashi Ito・Tadahiro Ohmi（Tohoku Univ.）
pp. 1 - 6
SDM2008-150
Investigation of Novel End-Point-Detection for Ta/Cu CMP
Xun Gu・○Takenao Nemoto（Tohoku Univ.）・Ara Philipossian・Yasa Adi Sampurno（Univ. of Arizona/Araca）・Jiang Cheng（Araca）・Yun Zhuang（Univ. of Arizona/Araca）・Akinobu Teramoto・Takashi Ito・Tadahiro Ohmi（Tohoku Univ.）
pp. 7 - 12
SDM2008-151
エタノール添加スラリーを用いたCMPによるCWレーザ結晶化Si薄膜の平坦化
○沼田雅之・黒木伸一郎・藤井俊太朗・小谷光司・伊藤隆司（東北大）
pp. 13 - 16
SDM2008-152
マルチスケール配線寿命予測シミュレータの開発とCu配線への応用
○坪井秀行・鈴木 愛・サヌーン リアド・古山通久・畠山 望・遠藤 明・高羽洋充・デルカルピオ カルロス・久保百司・宮本 明（東北大）
pp. 17 - 18
SDM2008-153
計算化学手法によるダイヤモンドライクカーボン(DLC)の摩擦特性・微細構造の検討
○栗秋貴謹・森田祐輔・小野寺 拓・鈴木 愛・Riadh Sahnoun・古山通久・坪井秀行・畠山 望・遠藤 明・高羽洋充・Carlos A. Del Carpio・久保百司・宮本 明（東北大）
pp. 19 - 20
SDM2008-154
Tight-Binding Quantum Chemistry Study on Excitation Properties of Perylene with Acrylic Acid on Anatas(001) Surface
○Chen Lv・Kei Ogiya・Ai Suzuki・Riadh Sahnoun・Michihisa Koyama・Hideyuki Tsuboi・Nozomu Hatakeyama・Akira Endou・Hiromitsu Takaba・Carlos A. Del Carpio・Momoji Kubo・Akira Miyamoto（Tohoku Univ.）
pp. 21 - 22
SDM2008-155
計算化学によるプラズマディスプレイ用電極保護膜材料の二次電子放出特性評価
○芹澤和実・山下 格・大沼宏彰（東北大）・菊地宏美（東北大/広島大）・北垣昌規（広島大）・鈴木 愛・Sahnoun Riadh・古山通久・坪井秀行・畠山 望・遠藤 明・高羽洋充・デルカルピオ カルロス・久保百司（東北大）・梶山博司（広島大）
pp. 23 - 24
SDM2008-156
超高速化量子分子動力学法に基づく構造解析・分光シミュレータの開発とシリコン半導体への応用
○遠藤 明・山下 格・芹澤和実・大沼宏彰・小野寺 拓・古山通久・坪井秀行・畠山 望・高羽洋充・Carlos A. Del Carpio・久保百司・宮本 明（東北大）
pp. 25 - 28
SDM2008-157
三次元多孔質構造に基づく色素増感TiO2電極の電子移動シミュレーション
○扇谷 恵・呂 晨・鈴木 愛・Riadh Sahnoun・古山通久・坪井秀行・畠山 望・遠藤 明・高羽洋充・Carlos A. Del Carpio・久保百司・宮本 明（東北大）
pp. 29 - 30
SDM2008-158
発光材料の構造とキャリア移動特性に関する計算化学的解析
○山下 格・大沼 宏彰/・芹澤和実・鈴木 愛・Sahnoun Riadh・古山通久・坪井秀行・畠山 望・遠藤 明・高羽洋充・Carlos A. Del Carpio・久保百司・宮本 明（東北大）
pp. 31 - 32
SDM2008-159
実験との融合を指向した計算化学手法による蛍光体の構造解析
○大沼宏彰・山下 格・芹澤和実・鈴木 愛・Sahnoun Riadh・古山通久・坪井秀行・畠山 望・遠藤 明・高羽洋充・Carlos A. Del Carpio・久保百司・宮本 明（東北大）
pp. 33 - 34
SDM2008-160
ペロブスカイト型BaTiO3の誘電特性解析のための超高速化量子分子動力学法の開発
○肖 紅君・平井 敬・鈴木 愛・Riadh Sahnoun・古山通久・坪井秀行・畠山 望・遠藤 明・高羽洋充・Carlos A. Del Carpio・久保百司・宮本 明（東北大）
pp. 35 - 36
SDM2008-161
B18H22注入のミリ秒アニールに対する適用性
○川崎洋司・遠藤誠一・北澤雅志・丸山祥輝・山下朋弘・黒井 隆・吉村秀文・米田昌弘（ルネサステクノロジ）
pp. 37 - 40
SDM2008-162
Hf混晶化PtSiの仕事関数変調機構の検討
○高 峻・石川純平・大見俊一郎（東工大）
pp. 41 - 44
SDM2008-163
MOSFET特性ばらつき、RTSノイズの統計的評価
○藤澤孝文・須川成利・渡部俊一・阿部健一・寺本章伸・大見忠弘（東北大）
pp. 45 - 50
SDM2008-164
Impact of Fully Depleted Silicon-On-Insulator Accumualation-mode CMOS on Si(110)
○Ching Foa Tye・Weitao Cheng・Akinobu Teramoto・Shigetoshi Sugawa・Tadahiro Ohmi（Tohoku Univ.）
pp. 51 - 56
SDM2008-165
Stress Induced Leakage CurrentとRandom Telegraph Signalノイズとの相関
○熊谷勇喜・寺本章伸・阿部健一・藤澤孝文・渡部俊一・諏訪智之・宮本直人・須川成利・大見忠弘（東北大）
pp. 57 - 62
SDM2008-166
シリコン酸化膜中に取り込まれたドーパントの影響
○永嶋賢史・赤堀浩史（東芝）
pp. 63 - 68
SDM2008-167
角度分解光電子分光法によるゲート絶縁膜/シリコン基板界面に形成される構造遷移層に関する研究
○諏訪智之（東北大）・荒谷 崇（信越化学）・樋口正顕（東芝）・須川成利（東北大）・池永英司（高輝度光科学研究センター）・牛尾二郎（日立）・野平博司（武蔵工大）・寺本章伸・大見忠弘・服部健雄（東北大）
pp. 69 - 74
SDM2008-168
原子オーダ平坦化シリコンウェハ表面のAFM評価手法及びデータ解析手法
○譽田正宏・寺本章伸・諏訪智之・黒田理人・大見忠弘（東北大）
pp. 75 - 78
今後、次の点を修正する予定です。(1)欠けている表紙画像・奥付画像を補完いたします。(2)欠けている発行日の情報を補完いたします。
注： 本技術報告は査読を経ていない技術報告であり，推敲を加えられていずれかの場に発表されることがあります．