Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380
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CPM2009-33
半導体工学教育用簡易MOSFET作製プロセス
○廣瀬文彦・宮城達郎・成田 克（山形大）
pp. 1 - 3
CPM2009-34
昇温脱離法と等温脱離法を用いたSi(100)表面からの水素脱離バリヤー評価
○成田 克（山形大）・安冨伍郎・右ノ子知恵・稲永征司・並木 章（九工大）
pp. 5 - 8
CPM2009-35
直接窒化膜を界面制御層に用いたSiCMIS構造の作製
鈴木真一郎・仙石 昌・辻 拓真・逸見充則・村田裕亮・山上朋彦・林部林平・○上村喜一（信州大）
pp. 9 - 12
CPM2009-36
有機シランを用いたプラズマCVD法によるダイヤモンドライクカーボン薄膜の膜特性評価
○三浦創史・中澤日出樹・西崎圭太（弘前大）・末光眞希（東北大）・安井寛治（長岡技科大）・伊藤 隆・遠藤哲郎（東北大）・成田 克（山形大）
pp. 13 - 18
CPM2009-37
原子状水素照射によるダイヤモンドライクカーボン膜の化学結合状態の変化
○遲澤遼一・中澤日出樹・奥崎知秀・佐藤直之・遠田義晴（弘前大）・末光眞希（東北大）
pp. 19 - 24
CPM2009-38
可視及び近赤外自由電子レーザー励起による単層カーボンナノチューブの成長中カイラリティ制御
○岩田展幸・石塚大祐・境 恵二郎・園村拓也・竹下弘毅（日大）・金木邦英・矢島博文（東京理科大）・山本 寛（日大）
pp. 25 - 28
CPM2009-39
β相水晶の圧電特性と温度センサへの応用
○田代博之・宇野武彦（神奈川工科大）・野毛 悟（沼津高専）
pp. 29 - 34
CPM2009-40
AuおよびAg微粒子、Au-Ag合金粒子と複合化した磁性ガーネット薄膜の磁気光学効果の変化
○水谷祐介（豊橋技科大）・内田裕久（東北工大）・Alexander Baryshev・井上光輝（豊橋技科大）
pp. 35 - 40
CPM2009-41
超構造薄膜光導波路の形成と特性
○笠原 慧・宇野武彦（神奈川工科大）・野毛 悟（沼津高専）
pp. 41 - 45
CPM2009-42
TSFZ法によるBi2Sr2Ca2Cu3O10単結晶の育成と評価
○櫛引治樹・渡辺孝夫・伊藤康仁（弘前大）・藤井武則（東大）
pp. 47 - 49
CPM2009-43
ZrBx薄膜の特性評価とCu多層配線への応用
○武山真弓・佐藤 勝（北見工大）・早坂祐一郎・青柳英二（東北大）・野矢 厚（北見工大）
pp. 51 - 55
CPM2009-44
3次元Si貫通ビアに適用可能なバリヤ膜の新規成膜手法の有用性 ～ 低温作製されたZrNx膜の特性評価 ～
○佐藤 勝・武山真弓（北見工大）・早坂祐一郎・青柳英二（東北大）・野矢 厚（北見工大）
pp. 57 - 60
CPM2009-45
間欠ガス供給を用いたホットメッシュCVD法によるSi上GaNエピタキシャル成長
齋藤 健・永田一樹（長岡技科大）・末光眞希・遠藤哲郎・伊藤 隆（東北大）・中澤日出樹（弘前大）・成田 克（山形大）・高田雅介・赤羽正志・○安井寛治（長岡技科大）
pp. 61 - 66
CPM2009-46
Biサーファクタントを用いた通信波長帯量子ドットの成長と評価
○岡本 浩（弘前大）・俵 毅彦・後藤秀樹・鎌田英彦・寒川哲臣（NTT）
pp. 67 - 72
CPM2009-47
4価元素をドープした石英薄膜における可視光スペクトル
○野毛 悟（沼津高専）・宇野武彦（神奈川工科大）・安井寛治（長岡技科大）
pp. 73 - 76
CPM2009-48
ウェーブパイプライン化ファイアウォールユニットのFPGA実装
○齊藤圭介・伊藤 慧・伊丸岡修哉・佐藤友暁・深瀬政秋（弘前大）
pp. 77 - 81
CPM2009-49
Stream Cipher Engine Chipの開発
○石原拓美・内海晴信・大隅裕介・深瀬政秋・佐藤友暁（弘前大）
pp. 83 - 88
注： 本技術報告は査読を経ていない技術報告であり，推敲を加えられていずれかの場に発表されることがあります．