3月2日(月) 午前  10:00 - 16:00
	10:00-10:05	開会の挨拶　（ 5分 ）
(1)	10:05-10:35	［招待講演］Bio-MEMS towards Single-Molecular Characterization SDM2014-162	○Momoko Kumemura・Hiroyuki Fujita（Univ. of Tokyo）
(2)	10:35-11:05	［招待講演］性能スケーラビリティと機能フレキシビリティを実現する三次元FPGAのためのインテグレーション技術 SDM2014-163	○武田健一・青木真由（日立）
(3)	11:05-11:35	［招待講演］チップ間光配線に向けた高密度・アサーマルシリコン光インターポーザ SDM2014-164	○中村隆宏・賣野　豊（光電子融合基盤技研）・荒川泰彦（東大）
(4)	11:35-12:05	［招待講演］エピタキシャル金属/ゲルマニウム接合の形成による界面電気伝導特性の制御 SDM2014-165	○中塚　理・鄧　云生・鈴木陽洋・坂下満男・田岡紀之・財満鎭明（名大）
	12:05-13:05	昼食　（ 60分 ）
(5)	13:05-13:35	［招待講演］双方向遷移モデルを用いた垂直磁化型STT-MRAMにおける熱安定性の面積依存性評価 SDM2014-166	○角田浩司・青木正樹・能代英之・射場義久・吉田親子・山崎裕一・高橋　厚・畑田明良・中林正明・杉井寿博（超低電圧デバイス技研組合）
(6)	13:35-14:05	［招待講演］選択成長を用いたCNTビアのインテグレーション SDM2014-167	磯林厚伸・和田　真・伊東　伴・斎藤達朗・西出大亮・石倉太志・片桐雅之・山崎雄一・松本貴士・北村政幸・渡邉勝仁・佐久間尚志・○梶田明広・酒井忠司（超低電圧デバイス技研組合）
	14:05-14:25	休憩　（ 20分 ）
(7)	14:25-14:55	［招待講演］インターカレーションによる低抵抗多層グラフェン配線の実現	○近藤大雄（産総研/富士通研）・中野美尚・周　波・井　亜希子（産総研）・林　賢二郎（産総研/富士通研）・高橋　誠（産総研）・佐藤信太郎・横山直樹（産総研/富士通研）
(8)	14:55-15:25	［招待講演］めっき銅薄膜配線マイグレーション耐性に及ぼす微細組織の影響 SDM2014-168	○鈴木　研・加藤武瑠・三浦英生（東北大）
(9)	15:25-15:55	［招待講演］CVD/ALDを用いたCu(Mn)/Co(W)配線システムの構築と3次元アトムプローブによるサブナノ構造・バリヤ性評価 SDM2014-169	○嶋　紘平（東大）・ツ ユアン・韓　斌・高見澤　悠（東北大）・清水秀治（東大）・清水康雄（東北大）・百瀬　健（東大）・井上耕治・永井康介（東北大）・霜垣幸浩（東大）
	15:55-16:00	閉会の挨拶　（ 5分 ）

問合先と今後の予定
SDM	シリコン材料・デバイス研究会（SDM）   [今後の予定はこちら]
	問合先	黒田 理人(東北大) Tel 022-795-4833 Fax 022-795-4834 E-: fffe

Last modified: 2015-01-21 23:42:50