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シリコン材料・デバイス研究会(SDM) [schedule] [select]
専門委員長 宇佐美 達矢 (ラピダス)
副委員長 池田 浩也 (静岡大)
幹事 細井 卓治 (関西学院大), 二瀬 卓也 (ウエスタンデジタル)
幹事補佐 岡田 浩 (豊橋技科大), 佐道 泰造 (九大)

日時 2024年10月24日(木) 10:00 - 17:00
議題 プロセス科学と新プロセス技術 
会場名 東北大学 未来科学技術共同研究センター 未来情報産業研究館5F大会議室 
住所 〒980-8579 仙台市青葉区荒巻字青葉6-6-10
交通案内 地下鉄東西線青葉山駅から徒歩2分
著作権に
ついて
以下の論文すべての著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034)
参加費に
ついて
この開催は「技報完全電子化」研究会です.参加費(SDM研究会)についてはこちらをご覧ください

10月24日(木) 午前  プロセス科学と新プロセス技術(1)
座長: 後藤哲也(東京エレクトロン テクノロジーソリューションズ株式会社)
10:00 - 11:40
(1) 10:00-10:40 [招待講演]グラフェンによる低抵抗微細配線の検討 松本貴士東京エレクトロン
(2) 10:40-11:00 Inhibitorを用いたメタル配線構造への絶縁膜選択成長 SDM2024-43 池 進一河野有美子東雲秀司柏木勇作東京エレクトロンテクノロジーソリューションズ
(3) 11:00-11:20 UVナノインプリントリソグラフィの欠陥低減 ~ 高速充填雰囲気ガスプロセスの開発 ~ SDM2024-44 伊藤俊樹キヤノン
(4) 11:20-11:40 高速・高SNR吸光イメージングシステムによる真空チャンバ内のガス濃度分布計測および解析 SDM2024-45 酒井勇志稲田貴郁間脇武蔵諏訪智之森本達郎白井泰雪須川成利黒田理人東北大
  11:40-13:00 お昼休憩 ( 80分 )
10月24日(木) 午後  プロセス科学と新プロセス技術(2)
座長: 諏訪智之(東北大)
13:00 - 14:20
(1) 13:00-13:40 [招待講演]窒化物半導体集積回路の作製プロセスの検討 SDM2024-46 岡田 浩豊橋技科大
(2) 13:40-14:20 [招待講演]絶縁膜上における多結晶半導体薄膜の高品位形成 SDM2024-47 橋本 隆梶原隆司茂藤健太山本圭介九大)・岡田竜弥野口 隆琉球大)・○佐道泰造九大
  14:20-14:30 休憩 ( 10分 )
10月24日(木) 午後  プロセス科学と新プロセス技術(3)
座長: 二瀬卓也(ウエスタンデジタル)
14:30 - 15:30
(3) 14:30-14:50 二段階成膜法を用いた強誘電性HfNxのSi(100)基板上への形成に関する検討 SDM2024-48 濵田海夢Li Kangbai大見俊一郎東工大
(4) 14:50-15:10 Investigation of post-metallization annealing condition on the ferroelectric HfN1.15 thin film formation SDM2024-49 Kangbai LiShun-ichiro OhmiTokyo Tech.
(5) 15:10-15:30 RFスパッタリングを用いて形成したサファイア基板上Ga2O3薄膜の面方位依存性 SDM2024-50 森田拓海今泉文伸小山高専
  15:30-15:40 休憩 ( 10分 )
10月24日(木) 午後  プロセス科学と新プロセス技術(4)
座長: 間脇武蔵(東北大)
15:40 - 17:00
(6) 15:40-16:20 [記念講演]ビットコスト低減と持続可能性に向けた極低温 7ビット セルフラッシュメモリの回復アニールによる再生利用 SDM2024-51 饗場悠太田中 瞳菊島史恵田中洋毅藤澤俊雄佐貫朋也キオクシア
(7) 16:20-16:40 インピーダンス計測プラットフォームを用いたSiトレンチキャパシタの統計的容量計測 SDM2024-52 西牧良弥齊藤宏河間脇武蔵黒田理人東北大
(8) 16:40-17:00 三次元集積デバイスの統計的容量・電流特性計測に向けたインピーダンス計測プラットフォーム SDM2024-53 齊藤宏河西牧良弥間脇武蔵黒田理人東北大

講演時間
一般講演発表 15 分 + 質疑応答 5 分
招待講演発表 30 分 + 質疑応答 10 分

問合先と今後の予定
SDM シリコン材料・デバイス研究会(SDM)   [今後の予定はこちら]
問合先 〒980-8579
仙台市青葉区荒巻字青葉6-6-10
東北大学 未来科学技術共同研究センター
助教 間脇 武蔵
TEL: 022-795-3977
FAX: 022-795-3986
Mail: zoc3 


Last modified: 2024-10-21 09:53:54


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