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| 研究会 | 発表日時 | 開催地 | タイトル・著者 | 抄録 | 資料番号 | |
| US | 2024-08-01 15:25 |
島根 | 松江テルサ | 多重エコー集約および誘電率の差を用いた圧電薄膜の電気機械結合係数推定法 ○島野耀康・浴田航平（早大）・矢田部浩平（東京農工大）・柳谷隆彦（早大） |
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| US | 2024-08-02 09:15 |
島根 | 松江テルサ | GHz帯パルスエコー法による音響多層膜単体の縦波および横波機械的通過損失の抽出 ○鈴木基嗣・柳谷隆彦（早大） |
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| US | 2024-08-02 11:35 |
島根 | 松江テルサ | エピタキシャルPbTiO3薄膜を用いたSMR型BAW共振子 ○下山 航・島野耀康・柳谷隆彦（早大） |
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| US | 2024-08-02 12:00 |
島根 | 松江テルサ | ScAlN薄膜と純AlN薄膜のGHz帯ヒステリシス特性 ○松村理司・花井彩香・柳谷隆彦（早大） |
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| MW, EMT, OPE, MWPTHz, EST (共催) IEE-EMT (連催) [詳細] |
2024-07-11 11:05 |
北海道 | 小樽市民会館 （ハイブリッド開催，主：現地開催，副：オンライン開催） |
RFフィルタ用圧電薄膜のGHz帯機械的品質係数Q<sub>m</sub>の新評価手法 ○島野耀康・柳谷隆彦（早大） |
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| MW, EMT, OPE, MWPTHz, EST (共催) IEE-EMT (連催) [詳細] |
2024-07-11 11:55 |
北海道 | 小樽市民会館 （ハイブリッド開催，主：現地開催，副：オンライン開催） |
GHz帯RLC電気共振を用いた圧電薄膜の電気機械結合係数k<sub>t</sub><sup>2</sup>の測定 ○内田拓希・浴田航平・島野耀康・柳谷隆彦（早大） |
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| MW, EMT, OPE, MWPTHz, EST (共催) IEE-EMT (連催) [詳細] |
2024-07-11 16:50 |
北海道 | 小樽市民会館 （ハイブリッド開催，主：現地開催，副：オンライン開催） |
GHz帯RFフィルタに向けたブラッグ反射器型PbTiO3エピ薄膜共振子 ○下山 航・島野耀康・柳谷隆彦（早大） |
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| EA, US (併催) |
2023-12-22 13:00 |
福岡 | 九州大学 大橋キャンパス デザインコモン 2階 | ［ポスター講演］積層電極によるScAlN多層薄膜SMRを用いた二重モード型BAWフィルタ(DMB) ○柴田真之・柳谷隆彦（早大）  US2023-56 |
現在スマートフォンのRFフィルタとして、弾性表面波を用いたSAW(Surface Acoustic Wave)フィルタと... [more] | US2023-56 pp.1-6 |
| EA, US (併催) |
2023-12-22 13:00 |
福岡 | 九州大学 大橋キャンパス デザインコモン 2階 | ［ポスター講演］エピタキシャルZnO犠牲層を用いたc軸傾斜エピタキシャルScAlN自立薄膜共振子 ○小林 栞・柳谷隆彦（早大） US2023-59 |
液体中で使用する薄膜共振子型センサやSH-SAWセンサのS/N比を向上するには高い擬似すべりモードの電気機械結合係数k´... [more] | US2023-59 pp.18-23 |
| EA, US (併催) |
2023-12-22 13:00 |
福岡 | 九州大学 大橋キャンパス デザインコモン 2階 | ［ポスター講演］エピ犠牲層エッチングを用いたエピ圧電層/音響ブラッグ反射器構造の作製 ○渡海 智・柳谷隆彦（早大） US2023-60 |
B AW (Bulk Acoustic 共振子の圧電層に単結晶薄膜を用いることで、Q 値や耐電力性が向上することが期待で... [more] | US2023-60 pp.24-29 |
| EA, US (併催) |
2023-12-22 15:20 |
福岡 | 九州大学 大橋キャンパス デザインコモン 2階 | ［ポスター講演］PbTiO3エピタキシャル自立薄膜共振子の電気機械結合係数ヒステリシスカーブ ○國信聡太・柳谷隆彦（早大） US2023-62 |
[more] | US2023-62 pp.35-40 |
| EA, US (併催) |
2023-12-22 15:20 |
福岡 | 九州大学 大橋キャンパス デザインコモン 2階 | ［ポスター講演］数百MHz帯超音波を用いた複素反射率測定による生体物質の相互作用の検出 ○茂木彩音・柳谷隆彦（早大） US2023-63 |
QCMは生体物質相互作用の検出に適している。しかし、共振周波数の低下が生体物質相互作用による質量付加効果によるものか表面... [more] | US2023-63 pp.41-46 |
| EA, US (併催) |
2023-12-22 15:20 |
福岡 | 九州大学 大橋キャンパス デザインコモン 2階 | ［ポスター講演］厚みすべりモードc軸ジグザグScAlN積層を用いたSMR型圧電トランス ○白岩和剛・柳谷隆彦（早大） US2023-64 |
RF信号はレクテナと呼ばれるアンテナとダイオードを用いてDC信号に変換することができる。しかし、長距離無線通信では、微弱... [more] | US2023-64 pp.47-52 |
| EA, US (併催) |
2023-12-22 15:20 |
福岡 | 九州大学 大橋キャンパス デザインコモン 2階 | ［ポスター講演］c軸傾斜Sc0.4Al0.6N薄膜の大面積成膜を目指した矩形カソードによる平行平板スパッタリング ○石井直輝・島野耀康・柳谷隆彦（早大） US2023-65 |
Sc濃度が40%を超えるc軸垂直ScAlN薄膜は高い厚み縦モード電気機械結合係数kt2値を持ちBAWフィルタやpMUTへ... [more] | US2023-65 pp.53-58 |
| US | 2023-11-27 10:50 |
静岡 | 静岡大学 | 高電力性向上を目的とした高次モード分極反転ScAlN薄膜SMR ○柴田真之・柳谷隆彦（早大） US2023-45 |
[more] | US2023-45 pp.11-16 |
| US | 2023-11-27 11:15 |
静岡 | 静岡大学 | c軸傾斜エピPbTiO3薄膜の高い擬似すべりモード電気機械結合係数 ○國信聡太・柳谷隆彦（早大） US2023-46 |
[more] | US2023-46 pp.17-22 |
| US | 2023-11-27 16:10 |
静岡 | 静岡大学 | 圧電層と基板の音響分離を目指した30層分極反転HBAR ○白岩和剛・柳谷隆彦（早大） US2023-54 |
現在普及しているBAW共振子は2種類あり、FBAR（自立薄膜共振子）とSMR（ブラッグ反射器付き共振子）である。これらの... [more] | US2023-54 pp.61-66 |
| US | 2023-11-27 16:35 |
静岡 | 静岡大学 | エピScAlN圧電薄膜／エピ音響ブラッグ反射器構造のSMR ○渡海 智・柳谷隆彦（早大） US2023-55 |
単結晶圧電薄膜は、多結晶の場合に比べ耐電力性やQ値が高いという特徴を持つ。しかし、SMR (Solidly Mounte... [more] | US2023-55 pp.67-72 |
| MIKA (第三種研究会) |
2023-10-10 15:35 |
沖縄 | 沖縄県市町村自治会館 （ハイブリッド開催，主：現地開催，副：オンライン開催） |
［ポスター講演］横波型RFフィルタを目指したPbTiO3圧電薄膜 ○國信聡太・柳谷隆彦（早大） |
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| MIKA (第三種研究会) |
2023-10-11 14:30 |
沖縄 | 沖縄県市町村自治会館 （ハイブリッド開催，主：現地開催，副：オンライン開催） |
［ポスター講演］RFフィルタ向け窒化物多層圧電薄膜のハイパワー特性 ○柴田真之・柳谷隆彦（早大） |
現在普及が進んでいる第5世代移動体通信システム(5G)やその先の6G以降において、無線通信に用いられる各素子の更なる高周... [more] | |
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