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| 研究会 | 発表日時 | 開催地 | タイトル・著者 | 抄録 | 資料番号 | |
| SDM, OME (共催) |
2023-04-22 10:05 |
沖縄 | 沖縄県青年会館 （ハイブリッド開催，主：現地開催，副：オンライン開催） |
Neを用いてガラス上にスパッタ堆積したInSb膜のRTAによる結晶化 ○岡田竜弥・チャリット ジャヤナダ コスワッタゲー（琉球大）・梶原隆司・佐道泰造（九大）・野口 隆（琉球大）  SDM2023-8 OME2023-8 |
安価な絶縁基板上への高結晶性InSb膜の形成に向けて、ArガスおよびNeガスを用いたRFスパッタリング法により製膜したI... [more] | SDM2023-8 OME2023-8 pp.30-31 |
| SDM, OME (共催) |
2023-04-22 10:30 |
沖縄 | 沖縄県青年会館 （ハイブリッド開催，主：現地開催，副：オンライン開催） |
スパッタ堆積InSb薄膜/ガラス基板の急速熱処理法による結晶成長 ○梶原隆司（九大）・岡田竜弥・チャリット ジャヤナダ コスワッタゲー・野口 隆（琉球大）・佐道泰造（九大） SDM2023-9 OME2023-9 |
高移動度InSb薄膜の低コストな形成プロセスの創出を目指し、ガラス基板上へArプラズマを用いてスパッタ成膜したInSb膜... [more] | SDM2023-9 OME2023-9 pp.32-33 |
| SDM | 2010-12-17 15:45 |
京都 | 京都大学(桂) | ホトルミネセンス法およびDLTS法によるシリコン極浅接合の再結晶化過程の評価 ○奥谷真士・高島周平・吉本昌広（京都工繊大）・Woo Sik Yoo（WaferMasters） SDM2010-198 |
ホトルミネセンス(PL)法を活用して，極浅接合の再結晶化に関する新しい知見を得た．イオン注入層の再結晶化に伴う10 oh... [more] | SDM2010-198 pp.73-78 |
| ED, SDM (共催) |
2010-02-22 15:15 |
沖縄 | 沖縄県青年会館 | SiOx薄膜への熱プラズマジェット照射ミリ秒熱処理によるSiナノ結晶形成とそのフローティングゲートメモリ応用 ○岡田竜弥（琉球大）・東 清一郎・牧原克典・広重康夫・宮崎誠一（広島大） ED2009-201 SDM2009-198 |
プラズマCVDにより成膜したSiOx膜(1.0 < x < 1.9)に熱プラズマジェット(TPJ)を照射しミリ秒熱処理を... [more] | ED2009-201 SDM2009-198 pp.29-33 |
| SDM | 2009-12-04 15:50 |
奈良 | 奈良先端大 物質創成科学研究科 | 熱プラズマジェット照射ミリ秒熱処理及びポストメタライゼーションアニールを用いた高品質SiO2膜及びSiO2/Si界面の形成 ○広重康夫・東 清一郎・宮崎祐介・松本和也・宮崎誠一（広島大） SDM2009-166 |
リモートプラズマCVD (RPECVD) により300 ℃で堆積したSiO2膜に熱プラズマジェット (TPJ) 照射ミリ... [more] | SDM2009-166 pp.79-82 |
| CPM, ED, SDM (共催) |
2008-05-15 13:50 |
愛知 | 名古屋工業大学 | ステップアニールによる青色EL素子用SrS:Cu薄膜の評価 ○山田典史・板倉巧周・倉地雄史・以西雅章（静岡大） ED2008-3 CPM2008-11 SDM2008-23 |
青色EL素子の高輝度化を目的として、SrS:Cu薄膜を生成し、結晶特性および発光特性の熱処理(ステップアニール)条件依存... [more] | ED2008-3 CPM2008-11 SDM2008-23 pp.11-14 |
| SDM | 2007-12-14 13:30 |
奈良 | 奈良先端科学技術大学院大学 | ミリ秒急速熱処理におけるSiウェハ内温度変化のその場観測 ○古川弘和・東 清一郎・岡田竜弥・加久博隆・村上秀樹・宮崎誠一（広島大） SDM2007-228 |
ミリ秒超急速熱処理(URTA)中のSiウェハ内温度変化を測定する技術を開発した。URTA中のSiウェハに赤外レーザーをプ... [more] | SDM2007-228 pp.27-29 |
| SCE, MW (共催) |
2006-04-20 10:25 |
東京 | 超電導工学研究所 (東雲) | MOD法によるBi-2212薄膜の面内配向性制御 ○内山哲治（東工大）・内田貴司（防衛大） |
高周波応用を目指し，誘電率の低いMgO基板上にBi2Sr2CaCu2Ox (Bi-2212)薄膜を有機金属分解（MOD）... [more] | SCE2006-4 MW2006-4 pp.19-24 |
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