電子情報通信学会技術研究報告

Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380

シリコン材料・デバイス

開催日 2012-06-21 / 発行日 2012-06-14

SDM2012-46
リステリアDpsを利用したナノドット型フローティングゲートメモリの作製
○上武央季（奈良先端大/JST）・小原孝介（奈良先端大）・上沼睦典・鄭　彬・石河泰明（奈良先端大/JST）・山下一郎（奈良先端大/JST/パナソニック）・浦岡行治（奈良先端大/JST）
pp. 17 - 21

SDM2012-47
極薄GeON膜を用いた高移動度Ge MOSFETの作製と電気特性評価
○箕浦佑也・糟谷篤志・細井卓治・志村考功・渡部平司（阪大）
pp. 23 - 26

SDM2012-48
Al2O3/Ge構造への酸素熱処理および酸素ラジカル処理による界面反応機構の解明
○柴山茂久（名大）・加藤公彦（名大/学振）・坂下満男・竹内和歌奈・田岡紀之・中塚　理・財満鎭明（名大）
pp. 27 - 32

SDM2012-49
TaOx層挿入によるHfO2/Ge界面反応制御
○村上秀樹・三嶋健斗・大田晃生・橋本邦明・東　清一郎（広島大）・宮崎誠一（名大）
pp. 33 - 36

SDM2012-50
ゲート電極の還元性がGe基板上Pr酸化膜のPr価数に与える影響
○加藤公彦（名大/学振）・坂下満男・竹内和歌奈・田岡紀之・中塚　理・財満鎭明（名大）
pp. 37 - 42

SDM2012-51
TiN電極中の酸素に起因したHf系High-kゲート絶縁膜の特性劣化
○細井卓治・大嶽祐輝・有村拓晃・力石薫介・北野尚武・志村考功・渡部平司（阪大）
pp. 43 - 46

SDM2012-52
第一原理計算によるGe表面でのドーパント不純物偏析挙動の解析
○飯島郁弥・澤野憲太郎（東京都市大）・牛尾二郎（日立）・丸泉琢也・白木靖寛（東京都市大）
pp. 47 - 51

SDM2012-53
極薄層挿入によるAl/Ge接合の伝導特性制御
○大田晃生・松井真史・村上秀樹・東　清一郎（広島大）・宮崎誠一（名大）
pp. 53 - 58

SDM2012-54
金属/(Si/Ge)界面の構造乱れとSBH変調の関係：第一原理計算による理論的検討
○小日向恭祐・中山隆史（千葉大）
pp. 59 - 62

SDM2012-55
As+イオン注入したゲルマニウム層の化学分析
○小野貴寛・大田晃生・村上秀樹・東　清一郎（広島大）・宮崎誠一（名大）
pp. 63 - 67

SDM2012-56
極浅接合における異なる化学結合状態を持つ不純物の検出とその深さ方向プロファイル評価
○筒井一生・金原　潤・宮田陽平（東工大）・野平博司（東京都市大）・泉　雄大・室　隆桂之・木下豊彦（高輝度光科学研究センター）・パールハットアヘメト・角嶋邦之・服部健雄・岩井　洋（東工大）
pp. 69 - 74

SDM2012-57
エピタキシャルNiSi2ソース／ドレインにおける原子層オーダーの接合位置制御及びドーパント偏析によるショットキーバリアハイトの低減
○水林　亘・右田真司・森田行則・太田裕之（産総研）
pp. 75 - 80

SDM2012-58
シリコンナノワイヤへの不純物ドーピングと不純物の挙動～熱酸化過程での偏析挙動～
○深田直樹（物質・材料研究機構）・滝口　亮・石田慎哉・横野茂樹（筑波大）・関口隆史（物質・材料研究機構）・村上浩一（筑波大）
pp. 81 - 85

SDM2012-59
微細3次元デバイスに向けたシリサイドショットキーS/Dの界面制御方法の提案
○田村雄太・吉原　亮・角嶋邦之・パールハットアヘメト・片岡好則・西山　彰・杉井信之・筒井一生・名取研二・服部健雄・岩井　洋（東工大）
pp. 87 - 92

SDM2012-60
微細InGaAs MOSFETに適用可能な極薄Ni-InGaAs合金コンタクトの形成とその熱的安定性
○入沢寿史・小田　穣・手塚　勉（産総研）
pp. 93 - 96

SDM2012-61
TiN/Geコンタクトに於けるフェルミレベルピンニング変調とMOSデバイスへの応用
○山本圭介・井餘田昌俊・王　冬・中島　寛（九大）
pp. 97 - 102

SDM2012-62
ダイヤモンド半導体/金属界面の電気特性制御～ p型・n型ダイヤモンドの現状と課題～
○松本　翼（筑波大）・加藤宙光・小倉政彦・竹内大輔・牧野俊晴・大串秀世・山崎　聡（産総研）
pp. 103 - 108

注：本技術報告は査読を経ていない技術報告であり，推敲を加えられていずれかの場に発表されることがあります．

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