Print edition: ISSN 0913-5685 Online edition: ISSN 2432-6380
[TOP] | [2011] | [2012] | [2013] | [2014] | [2015] | [2016] | [2017] | [Japanese] / [English]
SDM2014-162
［招待講演］Bio-MEMS towards Single-Molecular Characterization
○Momoko Kumemura・Hiroyuki Fujita（Univ. of Tokyo）
pp. 1 - 5
SDM2014-163
［招待講演］性能スケーラビリティと機能フレキシビリティを実現する三次元FPGAのためのインテグレーション技術
○武田健一・青木真由（日立）
pp. 7 - 11
SDM2014-164
［招待講演］チップ間光配線に向けた高密度・アサーマルシリコン光インターポーザ
○中村隆宏・賣野 豊（光電子融合基盤技研）・荒川泰彦（東大）
pp. 13 - 16
SDM2014-165
［招待講演］エピタキシャル金属/ゲルマニウム接合の形成による界面電気伝導特性の制御
○中塚 理・鄧 云生・鈴木陽洋・坂下満男・田岡紀之・財満鎭明（名大）
pp. 17 - 22
SDM2014-166
［招待講演］双方向遷移モデルを用いた垂直磁化型STT-MRAMにおける熱安定性の面積依存性評価
○角田浩司・青木正樹・能代英之・射場義久・吉田親子・山崎裕一・高橋 厚・畑田明良・中林正明・杉井寿博（超低電圧デバイス技研組合）
pp. 23 - 28
SDM2014-167
［招待講演］選択成長を用いたCNTビアのインテグレーション
磯林厚伸・和田 真・伊東 伴・斎藤達朗・西出大亮・石倉太志・片桐雅之・山崎雄一・松本貴士・北村政幸・渡邉勝仁・佐久間尚志・○梶田明広・酒井忠司（超低電圧デバイス技研組合）
pp. 29 - 32
SDM2014-168
［招待講演］めっき銅薄膜配線マイグレーション耐性に及ぼす微細組織の影響
○鈴木 研・加藤武瑠・三浦英生（東北大）
pp. 33 - 38
SDM2014-169
［招待講演］CVD/ALDを用いたCu(Mn)/Co(W)配線システムの構築と3次元アトムプローブによるサブナノ構造・バリヤ性評価
○嶋 紘平（東大）・ツ ユアン・韓 斌・高見澤 悠（東北大）・清水秀治（東大）・清水康雄（東北大）・百瀬 健（東大）・井上耕治・永井康介（東北大）・霜垣幸浩（東大）
pp. 39 - 44
注： 本技術報告は査読を経ていない技術報告であり，推敲を加えられていずれかの場に発表されることがあります．