電子情報通信学会技術研究報告

Print edition: ISSN 0913-5685      Online edition: ISSN 2432-6380

Volume 107, Number 388

シリコン材料・デバイス

開催日 2007-12-14 / 発行日 2007-12-07

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目次

SDM2007-222
パルス急速熱処理によるNi内包フェリチンを用いた結晶成長速度の向上
○越知誠弘・菅原祐太・三浦篤志・浦岡行治・冬木 隆(奈良先端大)・山下一郎(奈良先端大/松下電器)
pp. 1 - 4

SDM2007-223
半導体レーザ加熱処理による浅い接合形成
○鮫島俊之(東京農工大)・佐野直樹(ハイテックシステムズ)・内藤勝男(日新イオン機器)
pp. 5 - 8

SDM2007-224
レーザプラズマ軟X線照射がエキシマ・レーザによるa-Si膜の結晶化に与える効果
高梨泰幸・○松尾直人・上拾石和也・部家 彰・天野 壮・宮本修治・望月孝晏(兵庫県立大)
pp. 9 - 13

SDM2007-225
Poly-Si TFTにおける容量-電圧特性のシミュレーションによる解析
○葛岡 毅・辻 博史・桐原正治・鎌倉良成・谷口研二(阪大)
pp. 15 - 18

SDM2007-226
抵抗変化型不揮発性メモリ用NiO薄膜における電気伝導特性
○鈴木亮太・須田 淳・木本恒暢(京大)
pp. 19 - 22

SDM2007-227
Effective Activation of Phosphorus atom in Si film using ELA
○Takashi Noguchi(Univ. of Ryukyus)
pp. 23 - 26

SDM2007-228
ミリ秒急速熱処理におけるSiウェハ内温度変化のその場観測
○古川弘和・東 清一郎・岡田竜弥・加久博隆・村上秀樹・宮崎誠一(広島大)
pp. 27 - 29

SDM2007-229
光散乱法を利用した薄膜Si1-xGex/Siの転位運動の観測
○原 明人(東北学院大)・田村直義・中村友二(富士通研)
pp. 31 - 34

SDM2007-230
Fe3Si/Ge(111)ヘテロエピタキシャル成長の軸配向性の評価
○平岩佑介(京大)・安藤裕一郎・熊野 守・上田公二・佐道泰造・宮尾正信(九大)・鳴海一雅(原子力機構)・前田佳均(京大)
pp. 35 - 38

SDM2007-231
共役反転格子フォトニック結晶での導波解析
○國松俊佑(京大)・寺井慶和(阪大)・前田佳均(京大)
pp. 39 - 42

SDM2007-232
シリコン太陽電池用SiNxパッシベーション膜におけるNH3プラズマ界面改質効果
○岸山友紀・高橋 優・大鐘章義・Athapol Kitiyanan・浦岡行治・冬木 隆(奈良先端大)
pp. 43 - 46

SDM2007-233
傾斜メサ構造とJTE領域を有する10 kV SiC PiNダイオード
○日吉 透(京大)・堀 勉(日立)・須田 淳・木本恒暢(京大)
pp. 47 - 50

SDM2007-234
4H-SiC nMOSFETおよびpMOSFETに対するチャージポンピング測定
○岡本 大・矢野裕司・畑山智亮・浦岡行治・冬木 隆(奈良先端大)
pp. 51 - 54

SDM2007-235
Poly-Si TFTを用いたデバイスレベルのニューラルネットワーク
○小野寺 亮・笠川知洋・小嶋明樹・木村 睦(龍谷大)・原 弘幸・井上 聡(セイコーエプソン)
pp. 55 - 58

SDM2007-236
アルコール系溶液による強誘電体薄膜特性の焼成条件依存性
○山口正樹(芝浦工大)・増田陽一郎(八戸工大)
pp. 59 - 62

SDM2007-237
磁気光学空間光変調器のPoly-Si TFTによるアクティブマトリクス駆動の動作検討
○大井秀夫・木村 睦(龍谷大)・鈴木洋一・石川省吾・梅澤浩光(FDK)・高木宏幸・金 周映・内田裕久・井上光輝(豊橋技科大)
pp. 63 - 66

今後、次の点を修正する予定です。(1)欠けている表紙画像・奥付画像を補完いたします。(2)欠けている発行日の情報を補完いたします。

注: 本技術報告は査読を経ていない技術報告であり,推敲を加えられていずれかの場に発表されることがあります.


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