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シリコン材料・デバイス研究会(SDM)
[schedule]
[select]
専門委員長
奈良 安雄
副委員長
大野 裕三 (筑波大)
幹事
笹子 佳孝 (日立)
幹事補佐
黒田 理人 (東北大)
日時
2013年12月13日(金) 09:00 - 18:00
議題
シリコン関連材料の作製と評価
会場名
奈良先端科学技術大学院大学 物質創成科学研究科 大講義室
住所
奈良県生駒市高山町8916-5
交通案内
学研北生駒から徒歩20分またはバスで5分、高の原駅からバス20分
http://www.naist.jp/accessmap/index_j.html
会場世話人
連絡先
奈良先端科学技術大学院大学 物質創成科学研究科 浦岡行治
0743-72-6060
他の共催
◆応用物理学会共催
著作権に
ついて
以下の論文すべての著作権は電子情報通信学会に帰属します.(許諾番号:10GA0019/12GB0052/13GB0056/17GB0034/18GB0034)
12月13日(金) 午前
09:00 - 18:00
(1)
09:00-09:20
パルス電圧ストレス下における酸化物TFTの発熱劣化解析
SDM2013-116
○
木瀬香保利
(
奈良先端大
)・
苫井重和
(
出光興産
)・
上岡義弘
・
山崎はるか
・
浦川 哲
(
奈良先端大
)・
矢野公規
(
出光興産
)・
Dapeng Wang
・
古田 守
(
高知工科大
)・
堀田昌宏
・
石河泰明
・
浦岡行治
(
奈良先端大
)
(2)
09:20-09:40
高圧水蒸気処理を施したn-GaN上ALD-Al2O3ゲート絶縁膜の電気的特性
SDM2013-117
○
吉嗣晃治
・
梅原智明
・
堀田昌宏
・
石河泰明
・
浦岡行治
(
奈良先端大
)
(3)
09:40-10:00
多結晶シリコン薄膜デバイスによるフォトセンサ
SDM2013-118
○
大山翔平
・
松村 篤
・
門目尭之
・
田中 匠
・
松田時宜
・
木村 睦
(
龍谷大
)
(4)
10:00-10:20
インジウムを介したVapor-Liquid-Solid機構に基づくシリコンナノワイヤーの形成と評価
SDM2013-119
○
福永圭吾
・
畑山智亮
・
矢野裕司
・
岡本尚文
・
谷 あゆみ
・
石河泰明
・
冬木 隆
(
奈良先端大
)
(5)
10:20-10:40
キャリア再結合抑制効果を持つ電界効果型薄膜太陽電池
SDM2013-120
○
若宮彰太
・
小林孝裕
・
松尾直人
・
部家 彰
(
兵庫県立大
)
(6)
10:40-11:00
レーザープロセスを用いたボロンドーピングによるn型単結晶シリコン太陽電池の作製
SDM2013-121
○
山本悠貴
・
西村英紀
・
岡村隆徳
・
福永圭吾
・
冬木 隆
(
奈良先端大
)
(7)
11:00-11:20
リンドープのシリコンナノインクを用いたレーザードーピングによる単結晶シリコン太陽電池の作製
SDM2013-122
○
岡村隆徳
・
西村英紀
・
冬木 隆
(
奈良先端大
)・
富澤由香
・
池田吉紀
(
帝人
)
(8)
11:20-11:40
Poly-Si TFTを用いたGate Arrayの設計開発
SDM2013-123
○
井上雅志
・
松田時宜
・
木村 睦
(
龍谷大
)
(9)
11:40-12:00
スパッタリングより形成したAl2O3膜をゲート絶縁膜とするCLC低温poly-Si TFT
SDM2013-124
○
目黒達也
・
原 明人
(
東北学院大
)
12:00-13:00
休憩 ( 60分 )
(10)
13:00-13:30
[招待講演]
BLDA(青色半導体ダイオードアニール)によるSi薄膜結晶化と応用
SDM2013-125
○
野口 隆
・
岡田竜弥
(
琉球大
)
(11)
13:30-13:50
軟X線照射による半導体薄膜の低温結晶化 ~ 光子エネルギー依存性とSiGe多層膜のTEM観察 ~
SDM2013-126
○
草壁 史
・
丸山裕樹
・
部家 彰
・
松尾直人
・
神田一浩
・
望月孝晏
(
兵庫県立大
)・
伊藤和博
・
高橋 誠
(
阪大
)
(12)
13:50-14:10
軟X線源を用いたSi中B原子の低温活性化技術の開発
SDM2013-127
○
部家 彰
・
草壁 史
・
丸山裕樹
・
松尾直人
・
神田一浩
(
兵庫県立大
)・
野口 隆
(
琉球大
)
(13)
14:10-14:40
[招待講演]
抵抗変化メモリにおける動作特性制御法としての「細孔エンジニアリング」の提案
○
木下健太郎
(
鳥取大/TEDREC
)・
長谷川 祥
(
鳥取大
)
(14)
14:40-15:00
Cu/HfO2/Pt構造CB-RAMの動作特性に対する溶媒置換の影響
SDM2013-129
○
長谷川 祥
・
榎本雄太郎
・
片田直伸
・
伊藤敏幸
・
岸田 悟
・
木下健太郎
(
鳥取大
)
15:00-15:10
休憩 ( 10分 )
(15)
15:10-15:40
[招待講演]
グラフェン誘導体表面に構築したオンチップ型FRETアプタセンサ
SDM2013-128
○
上野祐子
・
古川一暁
(
NTT
)
(16)
15:40-16:00
第一原理分子動力学法を用いたConducting-Bridge Memory (CB-RAM)における金属拡散機構の解明
○
由良 翔
(
鳥取大
)・
山崎隆浩
(
物質・材料研究機構
)・
中田謙吾
・
石井 晃
(
鳥取大
)・
岸田 悟
・
木下健太郎
(
鳥取大/TEDREC
)
(17)
16:00-16:20
遷移金属酸化物抵抗変化メモリのデータリテンション特性
○
吉原幹貴
・
緒方涼介
・
村山直寛
(
鳥取大
)・
岸田 悟
・
木下健太郎
(
鳥取大/TEDREC
)
(18)
16:20-16:40
誘電体厚膜の形成とプロトンビームによる直接パターニング
SDM2013-130
○
渡辺和貴
・
山口正樹
・
西川宏之
(
芝浦工大
)
(19)
16:40-17:00
長方形断面Geナノワイヤの電子移動度の断面形状およびサイズ依存性
SDM2013-131
○
田中 一
・
森 誠悟
・
森岡直也
・
須田 淳
・
木本恒暢
(
京大
)
(20)
17:00-17:20
界面にリンおよび窒素を導入した4H-SiC MOSFETのしきい値電圧不安定性の考察
SDM2013-132
○
金藤夏子
・
矢野裕司
・
大澤 愛
・
畑山智亮
・
冬木 隆
(
奈良先端大
)
(21)
17:20-17:40
コンダクタンス法を用いた面方位の異なるSiC MOS構造の界面準位の評価
SDM2013-133
○
中澤成哉
・
南園悠一郎
・
須田 淳
・
木本恒暢
(
京大
)
(22)
17:40-18:00
三フッ化塩素(ClF3)を用いた炭化珪素(SiC)表面の形状変化
SDM2013-134
○
堀 良太
・
畑山智亮
・
矢野裕司
・
冬木 隆
(
奈良先端大
)
講演時間
一般講演(20)
発表 15 分 + 質疑応答 5 分
招待講演(30)
発表 25 分 + 質疑応答 5 分
問合先と今後の予定
SDM
シリコン材料・デバイス研究会(SDM)
[今後の予定はこちら]
問合先
小野 行徳(NTT)
Tel 046-240-2641 Fax 046-240-4317
E-
: o
Last modified: 2013-11-30 22:00:50
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