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| 研究会 | 発表日時 | 開催地 | タイトル・著者 | 抄録 | 資料番号 | |
| SDM | 2023-06-26 14:50 |
広島 | 広島大学 ナノデバイス研究所 | ［招待講演］加熱その場高分解能TEMを用いた薄膜Si固相結晶化過程の原子スケールリアルタイム観察 ～ 多結晶Siチャネル高性能化に向けて ～ ○手面 学・浅野孝典・高石理一郎・富田充裕・齋藤真澄・田中洋毅（キオクシア）  SDM2023-34 |
加熱その場高分解能TEMを用いて，多結晶Siチャネルを模した薄膜Si内で微結晶Siと結晶化していないアモルファス領域の局... [more] | SDM2023-34 pp.28-30 |
| SDM, OME (共催) |
2023-04-22 13:35 |
沖縄 | 沖縄県青年会館 （ハイブリッド開催，主：現地開催，副：オンライン開催） |
［招待講演］エキシマレーザアニールによるSi薄膜の結晶化技術 ～ 温故知新になる事を期待して ～ ○栗山博之（高砂熱学） SDM2023-13 OME2023-13 |
エキシマレーザによるSi薄膜の結晶化技術はスマートフォン等に用いられている低温ポリシリコン（LTPS）液晶ディスプレイの... [more] | SDM2023-13 OME2023-13 pp.48-51 |
| OME, SDM (共催) |
2022-04-23 11:50 |
宮崎 | 高千穂ホール（宮崎市） （ハイブリッド開催，主：現地開催，副：オンライン開催） |
［招待講演］固相結晶化In2O3:Hによる薄膜トランジスタの高移動度化(>100 cm2V-1s-1) ○曲 勇作（島根大）・片岡大樹（高知工科大）・葉 文昌（島根大）・古田 守（高知工科大） SDM2022-13 OME2022-13 |
本研究では低温で固相結晶化した水素化多結晶酸化インジウム（In2O3:H）薄膜の金属から半導体への転移に成功し、酸化物半... [more] | SDM2022-13 OME2022-13 pp.61-64 |
| OME, IEE-DEI (連催) |
2021-03-01 16:30 |
ONLINE | オンライン開催 | 結晶化した低分子型有機薄膜太陽電池の暗電流のダイオード解析 ○嘉治寿彦・榎戸風花・森 承宇・余語正輝・阿部優樹・片山美樹雅（東京農工大） OME2020-25 |
共蒸発分子誘起結晶化法で結晶化した様々な有機薄膜太陽電池、例えば、超厚膜の低分子型有機薄膜太陽電池や低ドナー濃度型の有機... [more] | OME2020-25 pp.26-27 |
| EID, SDM (共催) ITE-IDY (連催) [詳細] |
2018-12-25 11:00 |
京都 | 龍谷大学 響都ホール 校友会館 | プラスチック基板上のダブルゲートCu-MIC多結晶ゲルマニウム薄膜トランジスタ ○内海大樹（東北学院大）・北原邦紀・塚田真也（島根大）・鈴木仁志・原 明人（東北学院大） EID2018-4 SDM2018-77 |
塗布型ポリイミド(PI)上に銅(Cu)を利用した金属誘起結晶化(MIC)を用いて, ダブルゲート(DG)構造の多結晶ゲル... [more] | EID2018-4 SDM2018-77 pp.1-4 |
| EID, SDM (共催) ITE-IDY (連催) [詳細] |
2018-12-25 13:15 |
京都 | 龍谷大学 響都ホール 校友会館 | Ge薄膜のFLA結晶化におけるキャップ層の効果(Ⅱ) ○秋田佳輝・松尾直人（兵庫県立大）・小濱和之・伊藤和博（阪大） EID2018-5 SDM2018-78 |
本研究では，Ge膜のFLA結晶化時にSiOxキャップ膜が及ぼす影響を調査した．FLA結晶化におけるpoly-Ge膜の結晶... [more] | EID2018-5 SDM2018-78 pp.17-20 |
| SDM | 2018-10-17 16:35 |
宮城 | 東北大学未来情報産業研究館５Ｆ | ［招待講演］低抵抗アモルファス相と高抵抗結晶相を有するCr2Ge2Te6を用いた相変化メモリ ○畑山祥吾・須藤祐司・安藤大輔・小池淳一（東北大） SDM2018-56 |
相変化メモリは次世代型の不揮発性メモリとして注目されている. 現在, 実用化されている相変化材料はGe-Sb-Te化合物... [more] | SDM2018-56 pp.21-26 |
| OME, IEE-DEI (連催) |
2015-07-29 16:30 |
富山 | 富山大学工学部 | 静電塗布法における溶媒蒸発時間が有機薄膜太陽電池の特性に与える影響 戸田明日来・鈴木勝己・○福田武司（埼玉大） OME2015-40 |
静電塗布法は任意の有機層の積層化やナノファイバーの形成が可能であり、新しい有機薄膜太陽電池の作製技術として期待されている... [more] | OME2015-40 pp.43-46 |
| OME, SDM (共催) |
2015-04-30 13:25 |
沖縄 | 大濱信泉記念館多目的ホール | 青色半導体レーザアニール中Si膜の温度分布解析 ○岡田竜弥・神村盛太・野口 隆（琉球大） SDM2015-14 OME2015-14 |
これまでに我々は、青色半導体レーザアニール法(BLDA)を用いることで20－500 nm 厚のa-Si 膜が結晶化可能で... [more] | SDM2015-14 OME2015-14 pp.53-55 |
| SDM, EID (共催) |
2014-12-12 13:30 |
京都 | 京都大学 | スパッタリングにより形成したHfO2膜をゲート絶縁膜とするCLC低温Poly-Si TFT ○目黒達也・原 明人（東北学院大） EID2014-23 SDM2014-118 |
高い電流駆動能力を有する低温（LT）多結晶Si（poly-Si）薄膜トランジスタ（TFT）の実現に向け，連続波レーザラテ... [more] | EID2014-23 SDM2014-118 pp.51-54 |
| SDM, OME (共催) |
2014-04-11 10:50 |
沖縄 | 沖縄県青年会館 | BLDAを用いた低温プロセスpoly-Si TFT ○下田清治・杉原弘也・井村公彦・岡田竜弥・野口 隆（琉球大） SDM2014-14 OME2014-14 |
低コストでの製造プロセスによるpoly-Si TFTは、ガラス上およびフレキシブルパネルに必要とされている。本研究では、... [more] | SDM2014-14 OME2014-14 pp.59-61 |
| SDM, OME (共催) |
2014-04-11 11:10 |
沖縄 | 沖縄県青年会館 | ブルーマルチレーザダイオードアニールを施したガラス上Si薄膜の光伝導特性 ○コスワッタゲー チャリット ジャヤナダ・知念 怜・杉原弘也・岡田竜弥・野口 隆（琉球大） SDM2014-15 OME2014-15 |
ガラス上のSi膜の機能光センサ応用をめざし、ブルーマルチレーザダイオードアニール（BLDA）を施したSi膜の光伝導性につ... [more] | SDM2014-15 OME2014-15 pp.63-65 |
| SDM | 2014-01-29 10:50 |
東京 | 機械振興会館 | ［招待講演］高信頼メタル/high-k CMOS SOI FinFETsのための高温イオン注入技術 ○水林 亘（産総研）・おの田 博・中島良樹（日新イオン機器）・石川由紀・松川 貴・遠藤和彦・Yongxun Liu・大内真一・塚田順一・山内洋美・右田真司・森田行則・太田裕之・昌原明植（産総研） SDM2013-138 |
高温イオン注入がメタルゲート/high-k CMOS SOI FinFETsの性能及び信頼性に及ぼす影響について調べた。... [more] | SDM2013-138 pp.13-16 |
| SDM | 2013-12-13 11:40 |
奈良 | 奈良先端科学技術大学院大学 | スパッタリングより形成したAl2O3膜をゲート絶縁膜とするCLC低温poly-Si TFT ○目黒達也・原 明人（東北学院大） SDM2013-124 |
高誘電率ゲート絶縁膜は，低温多結晶Si（poly-Si）薄膜トランジスタ（TFT）の性能向上のためのテクノロジ・ブースタ... [more] | SDM2013-124 pp.49-53 |
| SDM | 2013-12-13 13:30 |
奈良 | 奈良先端科学技術大学院大学 | 軟X線照射による半導体薄膜の低温結晶化 ～ 光子エネルギー依存性とSiGe多層膜のTEM観察 ～ ○草壁 史・丸山裕樹・部家 彰・松尾直人・神田一浩・望月孝晏（兵庫県立大）・伊藤和博・高橋 誠（阪大） SDM2013-126 |
a-Ge, a-SiGe 膜の軟 X線照射結晶化における照射光子エネルギー依存性を検討した。Ge 膜において蓄積リング電... [more] | SDM2013-126 pp.61-66 |
| SDM, OME (共催) |
2012-04-27 15:10 |
沖縄 | 沖縄県青年会館 | ［招待講演］連続発振レーザ横方向結晶化法によるガラス基板上SiとSiGe薄膜の成長 ○北原邦紀（島根大）・原 明人（東北学院大） SDM2012-5 OME2012-5 |
連続発振レーザ横方向結晶化（CLC）法によりガラス基板上にSiおよびSiGe薄膜のフロー状成長を実現した．CLCは薄膜ト... [more] | SDM2012-5 OME2012-5 pp.21-26 |
| SDM, OME (共催) |
2012-04-27 15:40 |
沖縄 | 沖縄県青年会館 | ［招待講演］ダブルラインビーム連続発振レーザラテラル結晶化によるシリコン薄膜の3軸結晶制御とTFT ○黒木伸一郎（東北大） SDM2012-6 OME2012-6 |
Gaussianレーザスポットをもつ連続発振レーザラテラル結晶化により平均20×2μm2の粒径をもつpoly-Si薄膜を... [more] | SDM2012-6 OME2012-6 pp.27-32 |
| US | 2011-12-22 14:15 |
神奈川 | 東京工業大学 すずかけ台キャンパス すずかけホール集会室１ | 超音波プラスチック接合の機構に関する仮説 ○足立和成（山形大） US2011-80 |
超音波プラスチック接合の技術は、自動車産業を中心とした幅広い産業分野において活用されている優れた加工技術である。しかし、... [more] | US2011-80 pp.19-24 |
| SDM | 2011-12-16 15:20 |
奈良 | 奈良先端科学技術大学院大学 | レーザー結晶化のプロセスシミュレータの開発 ～ 2次元および3次元シミュレータの開発 ～ ○木村 睦・松木邦晃・斎藤龍輔・塚本周史（龍谷大） SDM2011-143 |
レーザー結晶化のプロセスシミュレータを開発している．核生成確率・結晶成長速度・部分結晶化モデルを組み込んだ，2次元および... [more] | SDM2011-143 pp.59-64 |
| SDM | 2011-12-16 16:00 |
奈良 | 奈良先端科学技術大学院大学 | 軟X線源を用いた半導体薄膜の低温結晶化技術の開発 ○部家 彰・野々村勇希・木野翔太・松尾直人・天野 壮・宮本修治・神田一浩・望月孝晏（兵庫県立大）・都甲 薫・佐道泰造・宮尾正信（九大） SDM2011-145 |
結晶化が起こるには、結晶核形成と結晶粒成長の2つのプロセスを経る必要があるが、一般に結晶核形成には多くのエネルギーを必要... [more] | SDM2011-145 pp.71-76 |
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