10月4日(木) 午後  13:00 - 17:20
(1)	13:00-13:25	プラズマディスプレイ用MgO保護膜の構造破壊ダイナミクスと理論設計 SDM2007-170	○久保百司・芹澤和実・菊地宏美・鈴木　愛・Riadh Sahnoun・古山通久・坪井秀行・畠山　望・遠藤　明・高羽洋充・Carlos A. Del Carpio（東北大）・梶山博司・篠田　傅（広島大）・宮本　明（東北大）
(2)	13:25-13:50	分子動力学法によるMgOの力学的特性の予測 SDM2007-171	○大沼宏彰・芹澤和実・鈴木　愛・Riadh Sahnoun・古山通久・坪井秀行・畠山　望・遠藤　明・高羽洋充・久保百司・Carlos A. Del Carpio（東北大）・梶山博司・篠田　傅（広島大）・宮本　明（東北大）
(3)	13:50-14:15	計算化学によるプラズマディスプレイ用MgO保護膜の電子放出特性の評価 SDM2007-172	○芹澤和実・大沼宏彰・菊地宏美・鈴木　愛・Riadh Sahnoun・古山通久・坪井秀行・畠山　望・遠藤　明・高羽洋充・久保百司・Carlos A. Del Carpio（東北大）・梶山博司・篠田　傳（広島大）・宮本　明（東北大）
(4)	14:15-14:40	新規計算化学手法を用いたDLCの摩擦特性解析 SDM2007-173	○森田祐輔・敖敦其木格・鈴木　愛・Riadh Sahnoun・古山通久・坪井秀行・畠山　望・遠藤　明・高羽洋充・久保百司・Carlos A. Del Carpio・宮本　明（東北大）
(5)	14:40-15:05	Influence of Chemical Topology on the Electrical Properties of Carbon Black – A Theoretical Study SDM2007-174	○Arunabhiram Chutia・Zhigang Zhu・Ai Suzuki・Riadh Sahnoun・Michihisa Koyama・Hideyuki Tsuboi・Nozomu Hatakeyama・Akira Endou・Hiromitsu Takaba・Momoji Kubo・Carlos A. Del Carpio・Akira Miyamoto（Tohoku Univ.）
	15:05-15:15	休憩　（ 10分 ）
(6)	15:15-15:40	Nitrogen Profile Study for SiON Gate Dielectrics of Advanced DRAM SDM2007-175	○Shigemi Murakawa（Tokyo Electron/Tohoku Univ.）・Masashi Takeuchi・Minoru Honda・Shu-ichi Ishizuka・Toshio Nakanishi・Yoshihiro Hirota・Takuya Sugawara・Yoshitsugu Tanaka・Yasushi Akasaka（Tokyo Electron AT）・Akinobu Teramoto・Shigetoshi Sugawa・Tadahiro Ohmi（Tohoku Univ.）
(7)	15:40-16:05	マルチスケールトンネル電流シミュレータの開発 SDM2007-176	○坪井秀行・芹澤和実・鈴木　愛・サヌーン リアド・古山通久・畠山　望・遠藤　明・高羽洋充・久保百司・デルカルピオ カルロス（東北大）・梶山博司・篠田　傳（広島大）・宮本　明（東北大）
(8)	16:05-16:30	Development of Multi-Scale Electrical Conductivity Simulator with the Joule Heating Module and its Application to Polycrystalline SiO2 SDM2007-177	○John Paul Yacapin・Ai Suzuki・Riadh Sahnoun・Michihisa Koyama・Hideyuki Tsuboi・Nozomu Hatakeyama・Akira Endou・Hiromitsu Takaba・Momoji Kubo・Carlos A. Del Carpio・Akira Miyamoto（Tohoku Univ.）
(9)	16:30-16:55	ECRプラズマプロセスによるHfO2系絶縁膜の極薄膜化の検討 SDM2007-178	○仲野雄介・佐藤雅樹・大見俊一郎（東工大）
(10)	16:55-17:20	機械的歪み印加によるSrTiO3MIMキャパシタ誘電率変調 SDM2007-179	○黒木伸一郎・小谷光司・伊藤隆司（東北大）
10月5日(金) 午前  09:30 - 16:40
(11)	09:30-09:55	Theoretic Study of Electronic and Electrical Properties for Nano-Structural ZnO SDM2007-180	○Zhigang Zhu・Arunabhiram Chutia・Ai Suzuki・Riadh Sahnoun・Michihisa Koyama・Hideyuki Tsuboi・Nozomu Hatakeyama・Akira Endou・Hiromitsu Takaba・Carlos A. Del Carpio・Momoji Kubo・Akira Miyamoto（Tohoku Univ.）
(12)	09:55-10:20	Tight-Binding Quantum Chemical Molecular Dynamics Study on Interfacial Electron Transfer in Dye-Sensitized Anatase (001) Surface SDM2007-181	○Chen Lv・Agalya Govindasamy・Kei Ogiya・Ai Suzuki・Riadh Sahnoun・Michihisa Koyama・Hideyuki Tsuboi・Nozomu Hatakeyama・Akira Endou・Hiromitsu Takaba・Momoji Kubo・Carlos A. Del Carpio・Akira Miyamoto（Tohoku Univ.）
(13)	10:20-10:45	量子分子動力学法によるダイヤモンドライクカーボン膜生成過程の検討 SDM2007-182	○敖敦其木格・森田祐輔・鈴木　愛・Riadh Sahnoun・古山通久・坪井秀行・畠山　望・遠藤　明・高羽洋充・久保百司・Carlos A. Del Carpio・宮本　明（東北大）
	10:45-10:55	休憩　（ 10分 ）
(14)	10:55-11:20	低誘電率アモルファスハイドロカーボン（aCHx）膜の銅配線バリアー特性の検討 SDM2007-183	○石川　拓（東京エレクトロン技研/東北大）・野沢俊久・松岡孝明（東京エレクトロン技研）・寺本章伸・平山昌樹・伊藤隆司・大見忠弘（東北大）
(15)	11:20-11:45	減圧雰囲気下でプラズマとCa(OH)2/CaOを用いる高効率フロロカーボン除去システムの開発 SDM2007-184	○鈴木克昌・石原良夫・迫田　薫（大陽日酸）・白井泰雪・平山昌樹・寺本章伸・大見忠弘（東北大）・渡辺高行（宇部マテリアルズ）
(16)	11:45-12:10	色素増感型太陽電池のためのマルチスケールシミュレータの開発 SDM2007-185	○扇谷　恵・呂　晨・鈴木　愛・Riadh Sahnoun・古山通久・坪井秀行・畠山　望・遠藤　明・高羽洋充・久保百司・Carlos A. Del Carpio・宮本　明（東北大）
	12:10-13:10	昼食　（ 60分 ）
(17)	13:10-13:35	マイクロ波CVDを用いた高移動度ボトムゲート微結晶シリコンTFTの試作 SDM2007-186	○廣江昭彦・寺本章伸・大見忠弘（東北大）
(18)	13:35-14:00	High Performance Accumulation Mode FD-SOI MOSFETs on Si(100) and (110) Surfaces SDM2007-187	○Weitao Cheng・Akinobu Teramoto・Rihito Kuroda・Chingfoa Tye・Syunichi Watabe・Tomoyuki Suwa・Tetsuya Goto・Fuminobu Imaizumi・Shigetoshi Sugawa・Tadahiro Ohmi（Tohoku Univ.）
(19)	14:00-14:25	SBSI プロセスによるSOI/BOX 層の均一形成に関する検討 SDM2007-188	○野武幸輝・須田雄一郎・大見俊一郎（東工大）
(20)	14:25-14:50	Hfとの混晶化によるPtSiの仕事関数制御 SDM2007-189	○大見俊一郎・高　峻・仲野雄介（東工大）
	14:50-15:00	休憩　（ 10分 ）
(21)	15:00-15:25	シリコン表面の原子オーダー平坦化技術 SDM2007-190	○諏訪智之・黒田理人・寺本章伸・大見忠弘（東北大）
(22)	15:25-15:50	LSAとSpike-RTAの組合せによる極浅接合形成技術 SDM2007-191	○遠藤誠一・丸山祥輝・川崎洋司・山下朋弘・尾田秀一・井上靖朗（ルネサステクノロジ）
(23)	15:50-16:15	大規模アレイTEGを用いたランダム・テレグラフ・シグナルの統計的評価 SDM2007-192	○阿部健一・須川成利・黒田理人・渡部俊一・寺本章伸・大見忠弘（東北大）
(24)	16:15-16:40	プラズマプロセスによるMOSFET特性ばらつきの統計的評価 SDM2007-193	○渡部俊一・須川成利・阿部健一・藤澤孝文・宮本直人・寺本章伸・大見忠弘（東北大）

問合先と今後の予定
SDM	シリコン材料・デバイス研究会（SDM）   [今後の予定はこちら]
	問合先	西岡泰城（日本大学理工学部 精密機械工学科） TEL047-469-6482,FAX047-467-9504 E-:etn-u,acmsk

Last modified: 2007-08-12 14:46:13