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| 研究会 | 発表日時 | 開催地 | タイトル・著者 | 抄録 | 資料番号 | |
| SDM, CPM, ED (共催) |
2010-05-14 10:25 |
静岡 | 静岡大学（浜松キャンパス） | RFマグネトロンスパッタリング法によるLiMn2O4薄膜の生成条件の調査 ○中村光宏・以西雅章（静岡大）  ED2010-26 CPM2010-16 SDM2010-26 |
RFマグネトロンスパッタリング法により、Li二次電池正極用のLiMn2O4薄膜を生成している。本研究では、薄膜の生成条件... [more] | ED2010-26 CPM2010-16 SDM2010-26 pp.51-55 |
| SDM, CPM, ED (共催) |
2010-05-14 11:30 |
静岡 | 静岡大学（浜松キャンパス） | 白金担持TiO2薄膜の生成と光触媒特性 ○中村郁太・伊藤達也・以西雅章（静岡大）・星 陽一（東京工芸大） ED2010-28 CPM2010-18 SDM2010-28 |
本研究では, RFマグネトロンスパッタリング法により生成したTiO2薄膜に白金を担持することにより,光触媒特性の向上を図... [more] | ED2010-28 CPM2010-18 SDM2010-28 pp.61-64 |
| ITE-MMS, MRIS (共催) |
2010-03-12 14:30 |
愛知 | 名古屋大学 | Kr+イオン照射によるMnBi薄膜の構造変化と磁気特性制御 ○徐 倩茜・加藤剛志・岩田 聡・綱島 滋（名大） MR2009-62 |
マグネトロンスパッタ成膜と350˚Cの熱処理により作成したMnBi (15 nm)膜に30 keVのKr+イオ... [more] | MR2009-62 pp.21-26 |
| CPM | 2009-10-30 09:25 |
富山 | 富山県立大学 | タングステンメッシュにより生成した高密度水素ラジカルアニールによるZnO:Al薄膜の低抵抗化 大島 穣・田原将巳・モハマド ハニフ（長岡技科大）・片桐裕則・新保和夫（長岡高専）・黒木雄一郎・高田雅介・○安井寛治（長岡技科大） CPM2009-97 |
第三電極を有するrfマグネトロンスパッタ法を用いて堆積したAl ドープZnO（AZO）膜を水素プラズマアニール処 理す... [more] |
CPM2009-97 pp.37-41 |
| US | 2009-09-30 09:00 |
北海道 | 祝いの宿 登別グランドホテル 会議室 | c軸傾斜反転配向ZnO多層膜の作製と横波共振子への応用 ○守里直希・高柳真司（同志社大）・柳谷隆彦（名工大）・松川真美・渡辺好章（同志社大） US2009-47 |
本研究では，これまでに電界方向に対してc軸が23°傾いたZnO膜の作製に成功している．この薄膜を用いてc軸の傾斜方向を交... [more] | US2009-47 pp.53-58 |
| US | 2009-09-30 09:50 |
北海道 | 祝いの宿 登別グランドホテル 会議室 | 直線状エロージョンマグネトロンスパッタリングによる(11-20)配向ZnO圧電膜の大面積成膜 ○川本貴之（同志社大/オムロン）・柳谷隆彦（名工大）・松川真美・渡辺好章（同志社大）・森 嘉一・佐々木 昌・大場正利（オムロン） US2009-49 |
これまで，円形エロージョンを有したRFマグネトロンスパッ装置を用いた（11-20）ZnO圧電膜の作製の報告がなされている... [more] | US2009-49 pp.65-70 |
| US | 2009-09-30 11:45 |
北海道 | 祝いの宿 登別グランドホテル 会議室 | LFB超音波材料解析システムによる石英ガラス上のZnO多結晶薄膜の評価 ○近藤貴則・吉田 翔・高麗友輔・大橋雄二・荒川元孝・櫛引淳一（東北大）・藤井 知（セイコーエプソン） US2009-53 |
DCスパッタリング法およびRFマグネトロンスパッタリング法により合成石英ガラス基板上に作製した複数の異なる膜厚のZnO多... [more] | US2009-53 pp.89-94 |
| ED, CPM, SDM (共催) |
2009-05-14 14:20 |
愛知 | 豊橋技科大サテライトオフィス | RFマグネトロンスパッタリング法によるLiMn2O4薄膜生成における石英円筒の効果 ○細川貴之・関川智士・以西雅章（静岡大） ED2009-20 CPM2009-10 SDM2009-10 |
RFマグネトロンスパッタリング法により、Li二次電池正極用のLiMn2O4薄膜を生成している。ターゲットには、LiMn2... [more] | ED2009-20 CPM2009-10 SDM2009-10 pp.11-15 |
| ED, CPM, SDM (共催) |
2009-05-14 15:25 |
愛知 | 豊橋技科大サテライトオフィス | RFマグネトロンスパッタリング法によるTiO2薄膜の生成と光触媒特性 ○伊藤達也・遠藤立弥・以西雅章（静岡大）・境 哲也・星 陽一（東京工芸大） ED2009-22 CPM2009-12 SDM2009-12 |
本研究では,RFマグネトロンスパッタリング法によるTiO2薄膜の低温生成について検討した.RFマグネトロンスパッタリング... [more] | ED2009-22 CPM2009-12 SDM2009-12 pp.21-24 |
| CPM | 2008-10-30 14:30 |
新潟 | 新潟大学 | 第三電極を有するマグネトロンスパッタ法によるAlドープZnO膜の低抵抗化 ○大島 穣・牧野雄一郎（長岡技科大）・片桐裕則・新保和夫（長岡高専）・黒木雄一郎・安井寛治・高田雅介・赤羽正志（長岡技科大） CPM2008-78 |
Alドープ酸化亜鉛 （AZO）の堆積において第三電極を有するrfマグネトロンスパッタ法を用いることで従来のrfマグネトロ... [more] | CPM2008-78 pp.19-22 |
| CPM | 2008-10-31 09:50 |
新潟 | 新潟大学 | Arイオン衝撃によるITO薄膜への効果の検討 ○高橋沙季・二木雅斗・中村陽平・清水英彦・岩野春男・福嶋康夫・永田向太郎（新潟大）・星 陽一（東京工芸大） CPM2008-84 |
本研究では，RF-DC結合形スパッタ法に，基板バイアススパッタ法を組み合わせる方法を用いて，低温でITO膜を結晶化させる... [more] | CPM2008-84 pp.53-58 |
| CPM, ED, SDM (共催) |
2008-05-15 13:00 |
愛知 | 名古屋工業大学 | RFマグネトロンスパッタリング法によるLiMn2O4薄膜生成へのドーナツ円板の効果 ○細川貴之・中村功一・細江俊介・酒井 里・以西雅章（静岡大） ED2008-1 CPM2008-9 SDM2008-21 |
RFマグネトロンスパッタリング法により、Li二次電池正極用のLiMn2O4薄膜を生成している。ターゲットには、LiMn2... [more] | ED2008-1 CPM2008-9 SDM2008-21 pp.1-6 |
| CPM, ED, SDM (共催) |
2008-05-15 13:25 |
愛知 | 名古屋工業大学 | RFマグネトロンスパッタリング法によるLiMn2O4薄膜の生成 ○中村功一・細川貴之・酒井 里・細江俊介・以西雅章（静岡大） ED2008-2 CPM2008-10 SDM2008-22 |
Li二次電池の正極物質として、Mn酸化物が注目されている。この物質は材料費が安く、環境への影響も少ないという利点を持つ。... [more] | ED2008-2 CPM2008-10 SDM2008-22 pp.7-10 |
| CPM, ED, SDM (共催) |
2008-05-15 15:15 |
愛知 | 名古屋工業大学 | RFマグネトロンスパッタリング法によるTiO2薄膜の生成 ○遠藤立弥・水地裕一・以西雅章（静岡大） ED2008-6 CPM2008-14 SDM2008-26 |
TiO2薄膜は、近紫外光の照射により、有機物分解特性や親水特性を示すことから、光触媒材料として注目されている。近年、可視... [more] | ED2008-6 CPM2008-14 SDM2008-26 pp.23-28 |
| US | 2007-09-28 13:00 |
宮城 | 東北大学 | (1120)ZnO膜/石英基板構造のSH型SAW伝搬特性 ○田中厚志（同志社大）・柳谷隆彦（東北大）・松川真美・渡辺好章（同志社大） US2007-48 |
これまでに我々は非結晶基板上に(11-20)面配向ZnO膜を作製する技術を確立してきた．この膜にIDTを形成すると，SH... [more] | US2007-48 pp.31-36 |
| CPM | 2007-08-09 16:10 |
山形 | 山形大学 | 基板バイアススパッタ法によるITO薄膜の検討（II） ○梅津 岳・中田悠介・清水英彦・丸山武男・岩野春男（新潟大）・星 陽一（東京工芸大） CPM2007-42 |
本研究では，高エネルギー粒子を抑制できるRF-DC結合形スパッタ法に，基板バイアススパッタ法を組み合わせる方法を用いて，... [more] | CPM2007-42 pp.33-38 |
| CPM | 2005-11-12 12:35 |
福井 | 福井大学 | 低電圧スパッタ法によるYBCO薄膜の作製及び評価 ○岡田好正・清水英彦・森 貴志・岩野春男・川上貴浩（新潟大）・星 陽一（東京工芸大）・丸山武男（新潟大） |
本研究では，プラズマスパッタ法を用いて容易にYBCO薄膜の作製を実現できるようにするための基礎研究として，RF-DC結合... [more] | CPM2005-169 pp.39-42 |
| CPM | 2005-11-12 13:00 |
福井 | 福井大学 | 有機EL素子用ITO薄膜の作製と検討 ○槻尾浩一・竹内正樹・森下和哉・清水英彦・丸山武男・川上貴浩（新潟大）・星 陽一（東京工芸大） |
透明有機EL素子用のITO薄膜の低温作製を検討するために，RF-DC結合型スパッタ法を用いてITO薄膜を作製した。その結... [more] | CPM2005-170 pp.43-48 |
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