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研究会 発表日時 開催地 タイトル・著者 抄録 資料番号
CPM 2020-02-28
14:00
東京 東京工科大片研BF1プレゼン室
(開催中止,技報発行あり)
スパッタ法により低抵抗率AZO薄膜を得るためのZn添加方法の検討
神田琢哉清水英彦岩野春男川上貴浩福嶋康夫永田向太郎大河内康平五十嵐光希中野真聖新潟大CPM2019-93
 [more] CPM2019-93
pp.9-12
CPM 2019-08-26
14:20
北海道 北見工業大学 1号館2F A-207講義室 スパッタ法によるAZO膜堆積のための導電性酸化物焼結ターゲットの作製
清水英彦岩野春男川上貴浩福嶋康夫永田向太郎新潟大CPM2019-39
本検討では,1500℃及び1600℃にて焼結させたZnOに2wt.%のAl2O3を添加した導電性を有するAZO焼結体を作... [more] CPM2019-39
pp.9-12
CPM, IEE-MAG
(連催)
2018-11-01
14:50
新潟 まちなかキャンパス長岡 スパッタ法によるZnとAZOによる二層膜の検討
清水英彦岩野春男川上貴浩福嶋康夫永田向太郎坪井 望新潟大CPM2018-45
Ⅲ族元素をドープしたZnOの薄膜は,低抵抗の膜となることから,ITO薄膜に代わる透明導電膜用材料として注目されている。そ... [more] CPM2018-45
pp.21-24
CPM 2017-07-22
10:57
北海道 北見工業大学第一総合研究棟2F多目的講義室 Al添加ZnOターゲットとスパッタ法により作製される薄膜の関係性の検討
清水英彦岩野春男川上貴浩福嶋康夫永田向太郎新潟大CPM2017-36
 [more] CPM2017-36
pp.79-83
CPM 2016-11-19
10:40
石川 金沢工大 扇が丘キャンパス 希釈水素ガス雰囲気中におけるPd超薄膜を堆積したフタロシアニンマグネシウム薄膜の特性
清水英彦新保一成岩野春男川上貴浩福嶋康夫永田向太郎新潟大CPM2016-71
 [more] CPM2016-71
pp.49-53
CPM 2015-11-07
09:00
新潟 まちなかキャンパス長岡 スパッタ法によるエレクトロクロミック素子用水素添加Mg-Ni薄膜の作製
清水英彦岩野春男川上貴浩福嶋康夫永田向太郎新潟大CPM2015-93
 [more] CPM2015-93
pp.47-50
CPM 2012-10-26
14:15
新潟 まちなかキャンパス長岡 スパッタ法によるAZO薄膜の抵抗率の検討
名越克仁富口祐輔清水英彦岩野春男川上貴浩福嶋康夫永田向太郎坪井 望野本隆宏新潟大CPM2012-95
本研究では,市販ターゲットを用い,低電圧でのスパッタが可能なRF-DC結合形スパッタ法による膜堆積時の基板温度変化や堆積... [more] CPM2012-95
pp.13-16
CPM 2012-10-27
10:00
新潟 まちなかキャンパス長岡 プラスチック基板上に作製したITO膜及び有機EL素子の機械的特性
松井博章清水英彦岩野春男福嶋康夫永田向太郎坪井 望野本隆宏新潟大CPM2012-106
本研究では,PEN基板上に様々な条件で作製したITO膜や有機EL素子を用いて機械的特性の検討を行った。その結果,ITO膜... [more] CPM2012-106
pp.71-76
CPM 2011-10-26
13:25
福井 福井大学 産学官連携本部研修室 低電圧駆動フレキシブル有機EL素子のためのITO薄膜の検討
劉 暢松井博章木伏貴映清水英彦岩野春男福嶋康夫永田向太郎坪井 望野本隆宏新潟大CPM2011-110
本研究では,PENやアクリルなどのプラスチック基板上に,様々な条件でITO膜を作製するとともに,有機EL素子に及ぼす影響... [more] CPM2011-110
pp.5-9
CPM 2011-10-26
13:50
福井 福井大学 産学官連携本部研修室 RF-DC結合形スパッタ法による室温成膜AZO薄膜の特性
樫出 淳名越克仁富口祐輔清水英彦岩野春男川上貴浩永田向太郎福嶋康夫坪井 望野本隆宏新潟大CPM2011-111
本研究では,低電圧でのスパッタが可能なRF-DC結合形スパッタ法(低電圧スパッタ法)に注目し,この方法により室温にてAZ... [more] CPM2011-111
pp.11-15
EMD, CPM, OME
(共催)
2011-06-30
16:55
東京 機械振興会館 低電圧スパッタ法を用いた室温成膜AZO薄膜の特性
樫出 淳名越克仁清水英彦岩野春男川上貴浩永田向太郎福嶋康夫坪井 望野本隆宏新潟大EMD2011-18 CPM2011-54 OME2011-32
本研究では,低電圧でのスパッタが可能なRF-DC結合形スパッタ法と,ターゲットの焼結温度に注目し,高エネルギー粒子が膜に... [more] EMD2011-18 CPM2011-54 OME2011-32
pp.59-63
CPM 2010-10-28
17:05
長野 信州大学 工学部 地域共同研究センター3階研修室 FTS法にUBMS法を組み合わせた方法によるSrAl2O4:Eu, Dy薄膜の作製
久野敬史齋藤 稔小林和晃清水英彦岩野春男川上貴浩福嶋康夫永田向太郎新潟大CPM2010-97
本研究では,通常の対向ターゲット式スパッタ(FTS)法及びFTS法にアンバランスドマグネトロンスパッタ(UBMS)法を組... [more] CPM2010-97
pp.33-37
CPM 2010-10-29
11:50
長野 信州大学 工学部 地域共同研究センター3階研修室 スパッタ法を用いた有機EL素子用低温堆積ITO薄膜の検討
中村陽平劉 暢清水英彦岩野春男福嶋康夫永田向太郎新潟大)・星 陽一東京工芸大CPM2010-105
本研究では,低温成膜したITO薄膜のデバイス応用への有効性を検討するため,アンバランスドマグネトロンスパッタ法に基板バイ... [more] CPM2010-105
pp.71-75
CPM 2010-07-29
14:20
北海道 道の駅しゃり 会議室 室温にてスパッタ法により作製したAZO薄膜の特性の検討
清水英彦樫出 淳岩野春男川上貴浩福嶋康夫永田向太郎新潟大)・星 陽一東京工芸大CPM2010-32
 [more] CPM2010-32
pp.5-9
CPM 2009-10-30
10:50
富山 富山県立大学 スパッタ法によるSrAl2O4薄膜の高速堆積法の検討
纐纈正和久野敬史齋藤 稔清水英彦岩野春男川上貴浩福嶋康夫永田向太郎新潟大CPM2009-100
 [more] CPM2009-100
pp.53-57
CPM 2009-10-30
11:15
富山 富山県立大学 スパッタ法によるMg系合金薄膜の特性の検討
岡田智弘清水健児丹内俊郎清水英彦岩野春男川上貴浩福嶋康夫永田向太郎新潟大CPM2009-101
 [more] CPM2009-101
pp.59-63
CPM 2008-10-31
09:50
新潟 新潟大学 Arイオン衝撃によるITO薄膜への効果の検討
高橋沙季二木雅斗中村陽平清水英彦岩野春男福嶋康夫永田向太郎新潟大)・星 陽一東京工芸大CPM2008-84
本研究では,RF-DC結合形スパッタ法に,基板バイアススパッタ法を組み合わせる方法を用いて,低温でITO膜を結晶化させる... [more] CPM2008-84
pp.53-58
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